液晶半导体成膜装置用密封型冷却背板制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了半导体生产技术领域的液晶半导体成膜装置用密封型冷却背板，包括：冷却背板本体与盖板，所述冷却背板本体内腔底部安装有冷却管，所述冷却背板本体内腔顶部安装有支架，所述盖板安装在支架的上方，且盖板处于冷却背板本体的内腔中，所述支架顶部的左右两侧壁均安装有插杆，所述盖板外壁安装有密封垫，且密封垫外壁与冷却背板本体的内壁相贴合，装置中将固定块移到安装槽中，使盖板与支架的连接断开，使冷却背板本体内部可以打开，从而方便对冷却背板本体内部的部件进行更换或检修，并且通过密封垫作用，既保证盖板与冷却背板本体之间的密封性，也使冷却背板可以打开。开。开。

【技术实现步骤摘要】
液晶半导体成膜装置用密封型冷却背板


[0001]本技术涉及半导体生产
，具体为液晶半导体成膜装置用密封型冷却背板。

技术介绍

[0002]在液晶半导体成膜过程中，需要使用到冷却背板对靶材进行冷却降温。
[0003]申请号为CN201820937559.0的一种液晶半导体成膜装置用冷却背板的公开文件中公开了一种冷却背板，为防止发生渗漏，公开文件中冷却背板的本体与盖板通过搅拌摩擦焊的方式焊接连接，焊接后为一体式结构；
[0004]然而在冷却背板本体内部的冷却管或其它设施损坏时，会导致难以对冷却背板本体内部的部件进行更换，具有一定的局限性，为此，我们提出液晶半导体成膜装置用密封型冷却背板。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供液晶半导体成膜装置用密封型冷却背板，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：液晶半导体成膜装置用密封型冷却背板，包括：冷却背板本体与盖板；
[0007]所述冷却背板本体内腔底部安装有冷却管，所述冷却背板本体内腔顶部安装有支架，所述盖板安装在支架的上方，且盖板处于冷却背板本体的内腔中；
[0008]所述支架顶部的左右两侧壁均安装有插杆，且插杆顶端贯穿盖板，且插杆后侧壁开设有安装槽，且安装槽内腔通过弹性件滑动安装有固定块，且固定块壁与盖板顶部壁相贴合，所述盖板外壁安装有密封垫，且密封垫外壁与冷却背板本体的内壁相贴合。
[0009]作为优选，所述盖板与插杆的连接部位开设有插孔，且插孔内壁开设有安装孔，且安装孔通过弹性元件滑动安装有移动杆，所述移动杆靠近插孔的一侧壁与插杆外壁相贴合。
[0010]作为优选，所述盖板与密封垫的连接部位开设有安放槽，所述密封垫靠近盖板的一侧壁安装有移动块，且移动块滑动插在安放槽的内腔中，所述移动杆远离插杆的一端延伸至安放槽的内腔中并与推板固定连接，且推板与移动块之间填充有空气。
[0011]作为优选，所述插杆包括与支架顶部壁连接的插块，所述插块顶部壁安装有连杆，所述连杆横截面的直径小于插块横截面的直径，且插块横截面的直径等于插孔横截面的直径，且固定块安装在连杆外壁上。
[0012]作为优选，所述移动杆靠近连杆的一端安装有弹性块，且弹性块远离移动杆的一侧壁与连杆外壁相贴合，且弹性块远离移动杆的一侧壁竖截面呈弧形。
[0013]作为优选，所述连杆包括安装在插块顶端的杆体，所述杆体外壁顶端通过弹簧滑动套设有活动杆，且固定块安装在活动杆外壁上。
[0014]作为优选，所述杆体后侧顶部壁开设有限位槽，且固定块前端延伸至限位槽的内腔中。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果是：装置中将固定块移到安装槽中，使盖板与支架的连接断开，使冷却背板本体内部可以打开，从而方便对冷却背板本体内部的部件进行更换或检修，并且通过密封垫作用，既保证盖板与冷却背板本体之间的密封性，也使冷却背板可以打开。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为本技术盖板与支架连接结构示意图；
[0018]图3为本技术A处结构放大示意图。
[0019]图中：1、冷却背板本体；2、盖板；3、密封垫；4、冷却管；5、支架；6、插块；7、连杆；71、杆体；72、活动杆；8、移动杆；9、移动块；10、推板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例1：
[0022]本技术提供一种技术方案：液晶半导体成膜装置用密封型冷却背板，请参阅图1和图2，包括：冷却背板本体1与盖板2；
[0023]冷却背板本体1内腔底部安装有冷却管4，冷却背板本体1内腔顶部安装有支架5，盖板2安装在支架5的上方，且盖板2处于冷却背板本体1的内腔中，冷却背板本体1上安装有芯片，带有温度测试单元和计数单元功能，与申请号为CN201820937559.0的一种液晶半导体成膜装置用冷却背板的公开文件中的功能相同；
[0024]请参阅图2和图3，支架5顶部的左右两侧壁均安装有插杆，且插杆顶端贯穿盖板2，且插杆后侧壁开设有安装槽，且安装槽内腔通过弹性件滑动安装有固定块，且固定块壁与盖板2顶部壁相贴合，盖板2外壁安装有密封垫3，且密封垫3外壁与冷却背板本体1的内壁相贴合，将固定块移到安装槽中，使盖板2与支架5的连接断开，将盖板2从冷却背板本体1上取下来，使冷却背板本体1内部可以打开，从而方便对冷却背板本体1内部的部件进行更换或检修，通过密封垫3作用，保证盖板2与冷却背板本体1之间的密封性；
[0025]请参阅图3，盖板2与插杆的连接部位开设有插孔，且插孔内壁开设有安装孔，且安装孔通过弹性元件滑动安装有移动杆8，移动杆8靠近插孔的一侧壁与插杆外壁相贴合，盖板2与密封垫3的连接部位开设有安放槽，密封垫3靠近盖板2的一侧壁安装有移动块9，移动块9与密封垫材质一致，且是一体成型的，且移动块9滑动插在安放槽的内腔中，移动杆8远离插杆的一端延伸至安放槽的内腔中并与推板10固定连接，且推板10与移动块9之间填充有空气，盖板2安装在支架5的上方，使插杆穿过插孔时，会推动移动杆8，使推板10在安放槽的内腔中移动，使安放槽内腔的气压增大，将移动块9向外侧推动，使密封垫与冷却背板本
体1贴合更加紧密，保证盖板2冷却背板本体1之间的密封性；
[0026]请参阅图3，插杆包括与支架5顶部壁连接的插块6，插块6顶部壁安装有连杆7，连杆7横截面的直径小于插块6横截面的直径，且插块6横截面的直径等于插孔横截面的直径，且固定块安装在连杆7外壁上，使插块6可以将插孔堵住，使插孔处密封性；
[0027]请参阅图3，移动杆8靠近连杆7的一端安装有弹性块，且弹性块远离移动杆8的一侧壁与连杆7外壁相贴合，且弹性块远离移动杆8的一侧壁竖截面呈弧形，使插杆方便插到插孔中，将移动杆8向外侧推动。
[0028]实施例2：
[0029]请参阅图3，在实施例1的基础上，连杆7包括安装在插块6顶端的杆体71，杆体71外壁顶端通过弹簧滑动套设有活动杆72，且固定块安装在活动杆72外壁上，固定块后端从安装槽的内腔中移出与盖板2顶部壁贴合时，固定块也会从限位槽的内腔中移出，使杆体71受到限制力消失，由弹簧作用，将活动杆72向下拉动，使固定块将盖板2向下推动，使盖板2与支架5贴合更加紧密，杆体71后侧顶部壁开设有限位槽，且固定块前端延伸至限位槽的内腔中；
[0030]相对于实施例1增加了活动杆72等部件，由弹簧作用，将活动杆72向下拉动，使固定块将盖板2向下推动，使盖板2与支架5贴合更加紧密，保证盖板2与冷却背板本体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.液晶半导体成膜装置用密封型冷却背板，其特征在于：包括：冷却背板本体(1)与盖板(2)；所述冷却背板本体(1)内腔底部安装有冷却管(4)，所述冷却背板本体(1)内腔顶部安装有支架(5)，所述盖板(2)安装在支架(5)的上方，且盖板(2)处于冷却背板本体(1)的内腔中；所述支架(5)顶部的左右两侧壁均安装有插杆，且插杆顶端贯穿盖板(2)，且插杆后侧壁开设有安装槽，且安装槽内腔通过弹性件滑动安装有固定块，且固定块壁与盖板(2)顶部壁相贴合，所述盖板(2)外壁安装有密封垫(3)，且密封垫(3)外壁与冷却背板本体(1)的内壁相贴合。2.根据权利要求1所述的液晶半导体成膜装置用密封型冷却背板，其特征在于：所述盖板(2)与插杆的连接部位开设有插孔，且插孔内壁开设有安装孔，且安装孔通过弹性元件滑动安装有移动杆(8)，所述移动杆(8)靠近插孔的一侧壁与插杆外壁相贴合。3.根据权利要求2所述的液晶半导体成膜装置用密封型冷却背板，其特征在于：所述盖板(2)与密封垫(3)的连接部位开设有安放槽，所述密封垫(3)靠近盖板(2)的一侧壁安装有移动块(9)，且移动块(9)滑动插在安放槽的内腔中，所述移动杆(8...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本光裕，
申请(专利权)人：京浜乐梦金属科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：