复眼主动对焦匀光系统技术方案

本发明专利技术公开了一种复眼主动对焦匀光系统，涉及光刻直写曝光机及投影显示技术领域。本发明专利技术包括基板，基板的上侧设有第三镜片、滑动配合有两个矩形框，矩形框内滑动配合有固定框、一侧固定有固定板，固定框的一侧固定有连接板，连接板的上侧转动配合有第一螺纹杆，且第一螺纹杆贯穿固定板并螺纹配合在固定板内，两个固定框内分别装设有第一镜片和第二镜片。本发明专利技术通过伺服电机的作用方便带动第二螺纹杆进行转动，进而方便让第二螺纹杆带动矩形框在基板和支撑架之间进行滑动，通过转动转把方便带动第一螺纹杆进行转动，进而带动固定框在矩形框的内部进行滑动，进而方便调节固定框内第一镜片或第二镜片的高度。一镜片或第二镜片的高度。一镜片或第二镜片的高度。

Compound eye active focusing and homogenizing system

【技术实现步骤摘要】
复眼主动对焦匀光系统


[0001]本专利技术属于光刻直写曝光机及投影显示
，特别是涉及一种复眼主动对焦匀光系统。

技术介绍

[0002]光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征构图的技术。这样的基底可用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等。由于市面上大多数的印刷电路板(Printed Circuit Board，简称PCB板)都为精密线路，普遍的解析能力达到
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μm量级，因此激光直接成像(Laser Direct Image，简称LDI)能量的均匀性是影响曝光质量的主要因素。
[0003]但是，现有技术中的复眼匀光系统存在不方便对镜片进行对焦调节的操作，导致LDI曝光时激光器能量分布不均匀，进而导致PCB板报废的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种复眼主动对焦匀光系统，解决了现有复眼匀光系统不方便对镜片进行对焦调节的技术问题。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术是通过以下技术方案实现的：
[0006]一种复眼主动对焦匀光系统，包括基板，基板的上侧设有第三镜片、滑动配合有两个矩形框，矩形框内滑动配合有固定框、一侧固定有固定板，固定框的一侧固定有连接板，连接板的上侧转动配合有第一螺纹杆，且第一螺纹杆贯穿固定板并螺纹配合在固定板内，固定框的上侧和固定框的下侧均设有两个弹簧滑杆，弹簧滑杆的一端均活动配合有压板，两个固定框内分别装设有第一镜片和第二镜片；r/>[0007]基板的下侧装设有两个用于驱动矩形框滑动的驱动机构。
[0008]可选的，驱动机构包括装设在基板下侧的安装板，安装板的一侧装设有伺服电机，伺服电机的输出端装设有第二螺纹杆。
[0009]可选的，基板上开设有通槽，矩形框的下侧固定有支撑板，支撑板位于通槽内，第二螺纹杆螺纹配合在支撑板内。
[0010]可选的，基板的上侧固定有两个支撑架，矩形框滑动配合在基板与支撑架之间。
[0011]可选的，基板的上侧固定有限位框，限位框内装设有第三镜片，第三镜片和第一镜片的一侧均设有复眼透镜阵列。
[0012]可选的，基板的上侧还装设有准直透镜、滑动配合有激光器，准直透镜位于激光器和限位框之间。
[0013]可选的，基板的上侧滑动配合有电动推杆，电动推杆的输出端装设有托板，激光器装设在托板的上侧。
[0014]可选的，第一螺纹杆的上端固定有转盘，转盘的上侧转动配合有转把。
[0015]可选的，第二螺纹杆的一端固定有封堵板，且封堵板位于通槽的下方。
[0016]可选的，基板的下侧固定有四个支撑腿，且四个支撑腿分别位于基板下侧的四个转角处。
[0017]本专利技术的实施例具有以下有益效果：
[0018]本专利技术的一个实施例通过伺服电机的作用方便带动第二螺纹杆进行转动，通过第二螺纹杆螺纹配合在支撑板内的作用，在第二螺纹杆转动的过程中能够带动支撑板在第二螺纹杆上进行移动，进而方便让第二螺纹杆带动矩形框在基板和支撑架之间进行滑动，通过转动转把方便带动第一螺纹杆进行转动，通过第一螺纹杆螺纹配合在固定板内并转动配合在连接板上侧的作用，方便在第一螺纹杆转动的过程中，第一螺纹杆能够在固定板内进行移动，进而带动固定框在矩形框的内部进行滑动，进而方便调节固定框内第一镜片或第二镜片的高度，通过弹簧滑杆的作用方便在调节固定框高度的过程中对固定框的上侧或固定框的下侧进行缓冲，减小固定框在使用过程中与矩形框发生碰撞产生形变的可能，进而对固定框内的第一镜片和第二镜片产生保护，减小第一镜片或第二镜片产生损坏的可能。
[0019]当然，实施本专利技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本专利技术一实施例的主视立体结构示意图；
[0022]图2为本专利技术一实施例的俯视立体结构示意图；
[0023]图3为本专利技术一实施例的仰视立体结构示意图；
[0024]图4为本专利技术一实施例的剖面结构示意图。
[0025]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0026]基板1，支撑架2，矩形框3，固定框4，固定板5，连接板6，第一螺纹杆7，转盘8，弹簧滑杆9，压板10，支撑板11，安装板12，伺服电机13，第二螺纹杆14，第一镜片15，第二镜片16，限位框17，第三镜片18，复眼透镜阵列19，准直透镜20，电动推杆21，托板22，激光器23。
具体实施方式
[0027]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本专利技术及其应用或使用的任何限制。
[0028]为了保持本专利技术实施例的以下说明清楚且简明，本专利技术省略了已知功能和已知部件的详细说明。
[0029]请参阅图1
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4所示，在本实施例中提供了一种复眼主动对焦匀光系统，包括基板1，基板1的上侧设有第三镜片18、滑动配合有两个矩形框3，具体的，基板1的上侧开设有两个第一滑槽，第一滑槽的内部均滑动配合有两个第一滑块，矩形框3装设在相对的两个第一滑块的上侧，矩形框3内滑动配合有固定框4、一侧固定有固定板5，具体的，矩形框3的相对两
内侧均开设有第二滑槽，第二滑槽的内部均滑动配合有两个第二滑块，固定框4装设在四个第二滑块之间，固定框4的一侧固定有连接板6，连接板6的上侧转动配合有第一螺纹杆7，具体的，连接板6的上侧装设有轴承，第一螺纹杆7的一端装设在轴承的内部，且第一螺纹杆7贯穿固定板5并螺纹配合在固定板5内，固定框4的上侧和固定框4的下侧均设有两个弹簧滑杆9，弹簧滑杆9的一端均活动配合有压板10，两个固定框4内分别装设有第一镜片15和第二镜片16；
[0030]基板1的下侧装设有两个用于驱动矩形框3滑动的驱动机构。
[0031]本实施例一个方面的应用为：在进行主动对焦的过程中，先通过伺服电机13带动第二螺纹杆14进行转动，进而带动矩形框3在基板1和支撑架2之间进行滑动，调节第一镜片15、第二镜片16和第三镜片18之间的距离，然后转动转把，使转把带动第一螺纹杆7进行转动连接板6上下移动，进而调节固定框4在矩形框3内的位置，从而产生调节固定框4高度的作用，然后弹簧滑杆9会对固定框4的上侧或固定框4的下侧进行缓冲，最后滑动电动推杆21调节激光器23在基板1上方位置，然后通过电动推杆21调节激光器23的高度，使激光器23发出的光线能够正对准直透镜20的中部，准直透镜20会让激光器23发出的光线形成平行线，并让平行光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复眼主动对焦匀光系统，其特征在于，包括：基板(1)，基板(1)的上侧设有第三镜片(18)、滑动配合有两个矩形框(3)，矩形框(3)内滑动配合有固定框(4)、一侧固定有固定板(5)，固定框(4)的一侧固定有连接板(6)，连接板(6)的上侧转动配合有第一螺纹杆(7)，且第一螺纹杆(7)贯穿固定板(5)并螺纹配合在固定板(5)内，固定框(4)的上侧和固定框(4)的下侧均设有两个弹簧滑杆(9)，弹簧滑杆(9)的一端均活动配合有压板(10)，两个固定框(4)内分别装设有第一镜片(15)和第二镜片(16)；基板(1)的下侧装设有两个用于驱动矩形框(3)滑动的驱动机构。2.如权利要求1所述的一种复眼主动对焦匀光系统，其特征在于，驱动机构包括装设在基板(1)下侧的安装板(12)，安装板(12)的一侧装设有伺服电机(13)，伺服电机(13)的输出端装设有第二螺纹杆(14)。3.如权利要求2所述的一种复眼主动对焦匀光系统，其特征在于，基板(1)上开设有通槽，矩形框(3)的下侧固定有支撑板(11)，支撑板(11)位于通槽内，第二螺纹杆(14)螺纹配合在支撑板(11)内。4.如权利要求1所述的一种复眼主动对焦匀光系统，其特征在于，基板(1)的上侧固定有两个...

【专利技术属性】
技术研发人员：张昌清，张立，刘涛，
申请(专利权)人：浙江津芯微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：