一种掩膜版检查搬运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种掩膜版检查搬运装置，包括支撑台主体、滚轮和把手，还包括设置在所述支撑台主体上的直线导轨、滑动设置在所述直线导轨上的夹持机构、用于驱动所述夹持机构在所述直线导轨上滑动的驱动机构，以及固定设置在所述支撑台主体上的用于支撑掩膜版的支撑机构；所述夹持机构包括两相对设置的夹持臂，所述夹持臂上设置有用于夹持掩膜版侧边的夹持块，所述支撑机构位于两所述夹持臂之间。通过夹持机构和支撑机构实现掩膜版的支撑和固定，保证固定的牢固性。夹持固定后的掩膜版呈竖直设置，方便后期进行射灯目视检查。方便后期进行射灯目视检查。方便后期进行射灯目视检查。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版检查搬运装置


[0001]本技术掩膜版加工
，更具体地说，涉及一种掩膜版检查搬运装置。

技术介绍

[0002]光刻掩膜版(Photomask)也称光罩或MASK，是一种用于微电子制造过程中的图形转移工具或模版。通过曝光、显影以及蚀刻等工序，在玻璃铬版上制作需要的微观图形，主要应用于微电子平版印刷。制作掩膜版所使用的原材料为铬版，其是一种硬面掩膜版材料，即掩膜版基版，它是在平整的、高光洁度的玻璃基版上通过直流磁控溅射沉积上铬
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氧化铬薄膜而形成铬膜基版，再在其上涂敷一层光致抗蚀剂(又称光刻胶)制成铬版原料。
[0003]近年来，随着对半导体产业的投入加大，光刻掩膜版是整个半导体产业较关键的一个环节，随着半导体产业的大力发展，光刻掩膜版的需求也随之爆发式的增长。
[0004]在整个光刻掩膜版的制作流程大致分为铬版清洗，光刻胶涂布，烘烤，膜厚测量，光刻，显影，蚀刻，脱膜清洗，镜面清洗，缺陷检查，CD测量，TP测量，缺陷修补等环节。其中在铬版清洗，膜厚测量后，显影，蚀刻和清洗等各环节都需要对MASK进行检查MURA，图形完整性，particle等。同时在掩膜版制作的自动化产线中，如何将原材料(玻璃基版)精准的搬运到各生产工序，方法不一，大部分都是采用AGV/RGV或者直接采用人工手动搬运。在使用机器人搬运时成本较高，如果采用人工手动搬运则没有办法控制人员自身带来的particle等对掩膜版的污染，从而造成产品良率下降。然而即使能够不计成本采用机器人搬运，那么在原材料投入以及在生产过程中如何对产品的MURA,图形完整性以及Particle进行目视射灯检查也成难点。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种掩膜版检查搬运装置，既能够满足掩膜版在所有生产过程中的射灯目视检查，又能够很好的传递搬运掩膜版，用以解决上述
技术介绍
中存在的技术问题。
[0006]本技术技术方案一种掩膜版检查搬运装置，包括支撑台主体、滚轮和把手，还包括设置在所述支撑台主体上的直线导轨、滑动设置在所述直线导轨上的夹持机构、用于驱动所述夹持机构在所述直线导轨上滑动的驱动机构，以及固定设置在所述支撑台主体上的用于支撑掩膜版的支撑机构；
[0007]所述夹持机构包括两相对设置的夹持臂，所述夹持臂上设置有用于夹持掩膜版侧边的夹持块，所述支撑机构位于两所述夹持臂之间。
[0008]在一个优选地实施例中，所述夹持块沿所述夹持臂长度方向由上至下设置若干个，且所述夹持块上设置有夹持槽，所述夹持槽侧向开口，两个所述夹持臂上的夹持块位置一一对应。
[0009]在一个优选地实施例中，所述夹持机构还包括基座，所述基座与所述直线导轨滑动连接、且通过所述驱动机构驱动，所述基座上设置有用固定所述夹持臂的固定座，所述夹
持臂上设置有插接在所述基座上的限位销钉。
[0010]在一个优选地实施例中，所述驱动机构包括电动丝杆和用于开启或关闭所述电动丝杆的脚踏开关，所述基座与所述电动丝杆连接。
[0011]在一个优选地实施例中，所述支撑机构包括支撑座和设置在所述支撑座上的支撑轮，所述支撑轮上设置用于卡住掩膜版的卡槽，所述支撑座设置为两个，每个所述支撑座上设置有两个所述支撑轮。
[0012]在一个优选地实施例中，夹持块内设置有夹紧传感器，所述支撑台主体上设置有夹持臂到位传感器。
[0013]在一个优选地实施例中，所述支撑台主体两侧对称设置有锁定机构，所述锁定机构包括与所述支撑台主体固定的安装板、固定所述安装板上的插筒、设置在所述插筒内的锁定杆，以及用于限制所述锁定杆位置的限位弹簧。
[0014]本技术技术方案的有益效果是：
[0015]1.通过夹持机构和支撑机构实现掩膜版的支撑和固定，保证固定的牢固性，夹持固定后的掩膜版呈竖直设置，方便后期进行射灯目视检查。
[0016]2.两侧的夹持块分别夹住掩膜版的两侧，通过夹持块上的夹持槽完成掩膜版的夹持，由上至下设置的三个夹持槽保证夹持稳定性。
[0017]3.在夹持块内设置有夹紧传感器，从而避免了夹持臂一直用力夹紧对掩膜版造成崩边等损伤；在支撑台主体上设置有夹持臂到位传感器，以免在人为操作失误时造成夹持臂与支撑轮基座发生碰撞，从而造成位置精度的丢失。
附图说明
[0018]图1为本技术正视图，
[0019]图2为本技术夹持臂结构示意图，
[0020]图3为本技术支撑机构侧视图，
[0021]图4为本技术图1中A处放大图，
[0022]图5为本技术图1中B处放大图。
[0023]附图标记说明：1支撑台主体、2把手、3滚轮、4直线导轨、5驱动机构、51电动丝杆、52脚踏开关、6夹持机构、61基座、62夹持臂、63夹持块、64限位销钉、65固定座、7支撑机构、71支撑座、72支撑轮、8锁定机构、81安装板、82插筒、83锁定杆、84限位弹簧、9夹紧传感器、10夹持臂到位传感器、11掩膜版。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。本技术的实施例是为了示例和描述方便起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本技术限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本技术的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本技术从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
[0025]参照图1
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图5，本技术技术方案公开了一种掩膜版检查搬运装置，包括支撑台主体1、滚轮3和把手2，支撑台主体1可以通过滚轮3实现移动，把手2方便人工进行支撑台主
体1的移动操作。
[0026]本装置还包括设置在支撑台主体1上的直线导轨4、滑动设置在直线导轨4上的夹持机构6、用于驱动夹持机构6在直线导轨4上滑动的驱动机构5，以及固定设置在支撑台主体1上的用于支撑掩膜版11的支撑机构7。掩膜版11搬运时，人工将掩膜版11放置到支撑机构7上，然后通过驱动机构5驱动夹持机构6在直线导轨4上滑动，进而将掩膜版11夹住，通过夹持机构6和支撑机构7实现掩膜版11的支撑和固定，保证固定的牢固性。夹持固定后的掩膜版11呈竖直设置，方便后期进行射灯目视检查。
[0027]夹持机构6包括两相对设置的夹持臂62，夹持臂62上设置有用于夹持掩膜版11侧边的夹持块63，支撑机构7位于两夹持臂62之间。支撑机构7到两夹持臂62之间的距离相同，两个夹持臂62分别作用在掩膜版11的两侧。夹持块63沿夹持臂62长度方向由上至下设置若干个，且夹持块63上设置有夹持槽，夹持槽侧向开口，两个夹持臂62上的夹持块63位置一一对应。两侧的夹持块63分别夹住掩膜版11的两侧，通过夹持块63上的夹持槽完成掩膜版11的夹持，由上至下设置的三个夹持块63保证夹持稳定性。
[0028]夹持机构6还包括基座61，基座61与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版检查搬运装置，包括支撑台主体、滚轮和把手，其特征在于：还包括设置在所述支撑台主体上的直线导轨、滑动设置在所述直线导轨上的夹持机构、用于驱动所述夹持机构在所述直线导轨上滑动的驱动机构，以及固定设置在所述支撑台主体上的用于支撑掩膜版的支撑机构；所述夹持机构包括两相对设置的夹持臂，所述夹持臂上设置有用于夹持掩膜版侧边的夹持块，所述支撑机构位于两所述夹持臂之间。2.根据权利要求1所述的一种掩膜版检查搬运装置，其特征在于：所述夹持块沿所述夹持臂长度方向由上至下设置若干个，且所述夹持块上设置有夹持槽，所述夹持槽侧向开口，两个所述夹持臂上的夹持块位置一一对应。3.根据权利要求1所述的一种掩膜版检查搬运装置，其特征在于：所述夹持机构还包括基座，所述基座与所述直线导轨滑动连接、且通过所述驱动机构驱动，所述基座上设置有用固定所述夹持臂的固定座，所述夹持臂上设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏晖，
申请(专利权)人：合肥清溢光电有限公司，
类型：新型
国别省市：