声表面波谐振器及声表面波滤波器制造技术

本申请提供一种声表面波谐振器及声表面波滤波器，该声表面波谐振器包括叉指电极，叉指电极包括相对设置的第一汇流条和第二汇流条，第一汇流条连接有沿第一方向交替排布的多个第一指条和多个第二假指；第二汇流条连接有沿第一方向交替排布的多个第一假指和多个第二指条；多个第一指条与多个第一假指一一对应；多个第二指条与多个第二假指一一对应；在任意相邻的第一指条和第二指条中，第一指条远离第一汇流条的一端与第二指条远离第二汇流条的一端之间的间距为指条孔径，多个相邻的第一指条和第二指条形成多个指条孔径，在多个指条孔径中至少部分指条孔径不同。该声表面波谐振器能够减小横向谐振模，达到抑制横向谐振模的效果。的效果。的效果。

SAW resonator and saw filter

【技术实现步骤摘要】
声表面波谐振器及声表面波滤波器


[0001]本申请实施例涉及声表面波滤波器
，尤其涉及一种声表面波谐振器及声表面波滤波器。

技术介绍

[0002]声表面波滤波器是利用压电效应和声表面波传播的物理特性制成的一种无源带通滤波器。其作用是对电信号进行滤波、延时等处理。它具有体积小、性能稳定、过载能力强、相位失真小、无需调整等优点，广泛应用于电视机、录像机、无线数据传输系统等领域中。
[0003]声表面波滤波器包括依次层叠设置的支撑衬底、温度补偿层和压电衬底，以及设置于压电衬底上的声表面波谐振器。声表面波谐振器的主要作用原理是利用压电衬底的压电特性，向声表面波谐振器输入电信号，输入的电信号在声表面波谐振器内完成电信号
‑
声波信号
‑
电信号的转换，以达到过滤不必要的讯号及杂讯，提升收讯品质的目标。在相关技术中，为了降低声表面波谐振器的温度系数，通常在压电衬底下沉积一层和压电衬底温度系数相反的温度补偿层，为了使声表面波谐振器达到良好的温度补偿效果，需要对压电衬底进行减薄。
[0004]然而，当压电衬底的厚度与在声表面波谐振器中传播的声波波长λ接近(即压电衬底的厚度小于10λ)时，声表面波谐振器会产生横向谐振模，横向谐振模会导致声表面波滤波器的通带中出现尖锐的传输零点，进而降低声表面波滤波器的性能。

技术实现思路

[0005]本申请提实施例供一种声表面波谐振器及声表面波滤波器，用以解决声表面波谐振器会产生横向谐振模的技术问题。
[0006]本申请实施例为解决上述技术问题提供如下技术方案：
[0007]本申请实施例提供了一种声表面波谐振器，包括叉指电极，所述叉指电极包括相对设置的第一汇流条和第二汇流条，所述第一汇流条连接有沿第一方向交替排布的多个第一指条和多个第二假指；所述第二汇流条连接有沿第一方向交替排布的多个第一假指和多个第二指条；
[0008]多个所述第一指条与多个所述第一假指一一对应，相对应的所述第一指条与所述第一假指位于同一直线上，且所述第一指条和所述第一假指之间具有第一间隙；
[0009]多个所述第二指条与多个所述第二假指一一对应，相对应的所述第二指条与所述第二假指位于同一直线上，且所述第二指条和所述第二假指之间具有第二间隙；
[0010]在任意相邻的所述第一指条和所述第二指条中，所述第一指条远离所述第一汇流条的一端与所述第二指条远离所述第二汇流条的一端之间的间距为指条孔径，多个所述第一指条和多个所述第二指条形成多个所述指条孔径，且多个所述指条孔径中至少部分所述指条孔径不相等。
[0011]本申请实施例的有益效果是：本申请实施例的声表面波谐振器通过改变叉指电极中的至少部分指条孔径，以使多个所述指条孔径中至少部分指条孔径不同，声表面波谐振器上不同的指条孔径的存在能够减小横向谐振模，从而实现声表面波谐振器抑制横向谐振模的效果。
[0012]在一种可能的实施方式中，所述第一方向与所述第一指条的长度方向垂直，沿第一方向交替排布的多个所述第一指条和多个所述第二指条形成的多个所述指条孔径呈先增大后减小的趋势或呈波浪形增减趋势。
[0013]在一种可能的实施方式中，所述第一汇流条和所述第二汇流条中的至少一个为n阶分形结构，所述n阶分形结构包括依次连接的2
n
‑1个一阶分形结构，n为正整数；
[0014]所述一阶分形结构包括相连接的第一连接条和第二连接条，所述第一连接条远离所述第二连接条的一端和所述第二连接条远离所述第一连接条的一端的连线位于所述第一汇流条和所述第二汇流条之间；
[0015]所述第一连接条与第一直线的夹角为第一偏向角，所述第二连接条与所述第一直线的夹角为第二偏向角，所述第一直线垂直于所述第一指条，所述第一偏向角和所述第二偏向角均为锐角；
[0016]所述n阶分形结构中的2
n
‑1个一阶分形结构形成2
n
‑1个第一偏向角和2
n
‑1个第二偏向角，2
n
‑1个所述第一偏向角中至少部分所述第一偏向角的角度范围为2
°‑
16
°
，2
n
‑1个所述第二偏向角中至少部分所述第二偏向角的角度范围为2
°‑
16
°
。
[0017]在一种可能的实施方式中，所述第一汇流条和所述第二汇流条中的一个为所述n阶分形结构，另一个为直线型结构。
[0018]在一种可能的实施方式中，所述第一汇流条为所述n阶分形结构，所述第二汇流条为所述直线型结构；
[0019]所述声表面波谐振器包括呈级联结构的两个所述叉指电极，两个所述叉指电极共用一个第二汇流条，两个所述叉指电极各包括一个所述第一汇流条，且两个所述叉指电极的所述第一汇流条位于所述第二汇流条的两侧。
[0020]在一种可能的实施方式中，所述第一汇流条和所述第二汇流条均为n阶分形结构，所述第一汇流条和所述第二汇流条沿第一中心线对称，所述第一中心线垂直于所述第一指条且经过所述叉指电极的中心。
[0021]在一种可能的实施方式中，各所述第一假指的长度相同，多个所述第一指条中至少部分所述第一指条的长度不相等；
[0022]各所述第二假指的长度相同，多个所述第二指条中至少部分所述第二指条的长度不相等。
[0023]在一种可能的实施方式中，还包括两个反射栅，两个所述反射栅沿垂直于所述第一指条的方向设置于所述叉指电极的两端，且两个所述反射栅与所述叉指电极之间均具有间隔空间，两个所述反射栅用于将泄露到叉指电极的两端的声波信号反射回所述叉指电极。
[0024]在一种可能的实施方式中，所述叉指电极的数量为多个，多个所述叉指电极沿垂直于所述第一指条的方向依次串联设置，两个所述反射栅沿垂直于所述第一指条的方向设置于多个依次串联的叉指电极的两端，且两个所述反射栅与多个依次串联的叉指电极之间
均具有间隔空间。
[0025]本申请实施例还提供了一种声表面波滤波器，该声表面波滤波器包括依次层叠设置的支撑衬底、温度补偿层和压电衬底，以及设置于所述压电衬底上的声表面波谐振器，所述声表面波谐振器为上述任一方案所述的声表面波谐振器。
[0026]本申请实施例的声表面波滤波器的有益效果与上述声表面波谐振器的有益效果相同，在此不再赘述。
[0027]除了上面所描述的本申请解决的技术问题、构成技术方案的技术特征以及由这些技术方案的技术特征所带来的有益效果外，本申请提供的声表面波谐振器及声表面波滤波器所能解决的其他技术问题、技术方案中包含的其他技术特征以及这些技术特征带来的有益效果，将在具体实施方式中作出进一步详细的说明。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对本申请实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一部分实施例，这些附图和文字描述并本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括叉指电极，所述叉指电极包括相对设置的第一汇流条和第二汇流条，所述第一汇流条连接有沿第一方向交替排布的多个第一指条和多个第二假指；所述第二汇流条连接有沿所述第一方向交替排布的多个第一假指和多个第二指条；多个所述第一指条与多个所述第一假指一一对应，相对应的所述第一指条与所述第一假指位于同一直线上，且所述第一指条和所述第一假指之间具有第一间隙；多个所述第二指条与多个所述第二假指一一对应，相对应的所述第二指条与所述第二假指位于同一直线上，且所述第二指条和所述第二假指之间具有第二间隙；在任意相邻的所述第一指条和所述第二指条中，所述第一指条远离所述第一汇流条的一端与所述第二指条远离所述第二汇流条的一端之间的间距为指条孔径，多个所述第一指条和多个所述第二指条形成多个所述指条孔径，且多个所述指条孔径中至少部分所述指条孔径不相等。2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一方向与所述第一指条的长度方向垂直，沿所述第一方向交替排布的多个所述第一指条和多个所述第二指条形成的多个所述指条孔径呈先增大后减小的趋势或呈波浪形增减趋势。3.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一汇流条和所述第二汇流条中的至少一个为n阶分形结构，所述n阶分形结构包括2
n
‑1个一阶分形结构依次连接形成，n为正整数；所述一阶分形结构包括相连接的第一连接条和第二连接条，所述第一连接条远离所述第二连接条的一端和所述第二连接条远离所述第一连接条的一端的连线位于所述第一汇流条和所述第二汇流条之间；所述第一连接条与第一直线的夹角为第一偏向角，所述第二连接条与所述第一直线的夹角为第二偏向角，所述第一直线垂直于所述第一指条，所述第一偏向角和所述第二偏向角均为锐角；所述n阶分形结构中的2
n
‑1个一阶分形结构形成2
n
‑1个第一偏向角和2
n
‑1个第二偏向角，2
n
‑1个所述第一偏向角中至少部分所述第一偏向角的角度范围为2
°‑
...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘贤栋，高安明，姜伟，张海力，
申请(专利权)人：浙江星曜半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：