一种精密按压调平装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种精密按压调平装置，包括球头螺母、调节螺杆、调平杠杆、调平转轴、杠杆固定座、主体、上压杆、封气滚珠、下压杆、下压杆外密封、支撑套、支撑套外部密封圈、垫圈、压缩弹簧、底部螺丝、进气接头、出气接头；其中，球头螺母、调节螺杆用于调节调平杠杆的上下高度；调平杠杆以调平转轴为支点转动；上压杆与调平杠杆相切；下压杆通过下压杆外密封、支撑套、支撑套外部密封圈密封设置；进气接头连接外部进气源；出气接头连接减振器腔体；主体与进气接头通过支撑套的过气通道连通；下压杆设置与出气接头连通的腔体，腔体设置与所述支撑套连通的通孔。本实用新型专利技术安装在减振器上，可以缩短设备的稳定时间，保持运动设备的水平性。性。性。

A precise press leveling device

【技术实现步骤摘要】
一种精密按压调平装置


[0001]本技术涉及精密机械领域，尤其涉及的是一种精密按压调平装置。

技术介绍

[0002]现有技术，各种的精密加工设备、高精度机床、超精密运动平台、高端检测设备、光学平台设备、半导体设备、例如光刻机、晶圆检测设备等；在设置的时候均要用到减振器，减振器对各设备的使用和运行起到减振的作用；减振的目的是控制干扰振动，将干扰振动的不利影响控制在可接受的范围内。减振器被设计来为不同型号的设备提供振动和冲击的保护。如果需要减振的设备本身就是振源(例如：冲击和振动试验台)，减振的目的就是减少振动从振源到支撑结构的传播。
[0003]现有技术中，各设备在运行时，由于振动的关系，其稳定性和水平性均会发生变化，因此，在进行减振的同时，也需要对运行设备进行稳定性和水平线进行调整。
[0004]因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题是：提供一种安装在减振器上，可以缩短设备的稳定时间，保持运动设备的水平性的精密按压调平装置。
[0006]本技术的技术方案如下：一种精密按压调平装置，包括球头螺母1、调节螺杆2、调平杠杆3、调平转轴4、杠杆固定座6、主体9、上压杆10、封气滚珠13、下压杆15、下压杆外密封16、支撑套17、支撑套外部密封圈18、垫圈19、压缩弹簧20、底部螺丝21、进气接头23、出气接头24；其中，球头螺母1、调节螺杆2固定于调平杠杆3上，用于调节调平杠杆3的上下高度；调平转轴4固定在杠杆固定座6上，调平杠杆3以调平转轴4为支点转动；上压杆10与调平杠杆3相切；封气滚珠13顶在上压杆10与下压杆15之间；下压杆15通过下压杆外密封16、支撑套17、支撑套外部密封圈18密封设置；支撑套17、垫圈19、底部螺丝21相互顶紧设置；并且，进气接头23连接外部进气源；出气接头24连接减振器腔体；所述主体9与所述进气接头23通过支撑套17的过气通道连通；所述下压杆15设置有一与所述出气接头24连通的腔体，并且，所述腔体还设置一与所述支撑套17连通的通孔。
[0007]应用于上述技术方案，所述的精密按压调平装置中：还包括挡片5，所述挡片5固定在杠杆固定座6上；用于阻挡调平杠杆3与杠杆固定座6的摩擦。
[0008]应用于上述各个技术方案，所述的精密按压调平装置中：还包括有上连接螺母7、M30细牙螺母8，其中，上连接螺母7与主体9紧固连接，M30细牙螺母8用于与外部零部件锁紧。
[0009]应用于上述各个技术方案，所述的精密按压调平装置中：还包括有尼龙密封圈11、双边密封圈12，其中，尼龙密封圈11、双边密封圈12设置在所述上压杆10上，与所述上压杆10组装密封设置。
[0010]应用于上述各个技术方案，所述的精密按压调平装置中：还设置一辅助顶升弹簧
14；辅助顶升弹簧14装配在主体9内并与上压杆10接触设置。
[0011]应用于上述各个技术方案，所述的精密按压调平装置中：还包括一消声器22；所述消声器22与所述主体9连通。
[0012]本技术的有益效果为：
[0013]本技术可以通过安装在减振器上，可以缩短设备的稳定时间，保持运动设备的水平性。
附图说明
[0014]图1为本技术的整体示意图；
[0015]图2为本技术的剖面结构图。
具体实施方式
[0016]以下结合附图和具体实施例，对本技术进行详细说明。
[0017]本实施例提供了一种精密按压调平装置，如图1和图2所示，精密按压调平装置包括产品的球头螺母1、调节螺杆2、调平杠杆3、调平转轴4、挡片5、杠杆固定座6、上连接螺母7、M30细牙螺母8、主体9、上压杆10、尼龙密封圈11、双边密封圈12、封气滚珠13、辅助顶升弹簧14、下压杆15、下压杆外密封16、支撑套17、支撑套外部密封圈18、垫圈19、压缩弹簧20、底部螺丝21、消声器22、进气接头23、出气接头24。
[0018]其中，球头螺母1、调节螺杆2固定于调平杠杆3上，并可调节调平杠杆3的上下高度。调平转轴4、挡片5固定在杠杆固定座6上，调平杠杆3以调平转轴4为支点可转动，挡片5用于阻挡调平杠杆3与杠杆固定座6的摩擦，避免摩擦产生的损坏；其中，挡片5可以更换设置。
[0019]上连接螺母7、主体9紧固连接，M30细牙螺母8用于与外界结构零件锁紧作用。上压杆10、调平杠杆3相切，上压杆10、尼龙密封圈11、双边密封圈12需组装在一起，封气滚珠13顶在上压杆10与下压杆15之间，并且，由压缩弹簧20顶住，辅助顶升弹簧14装配在主体9里面与上压杆10自然接触。下压杆15、下压杆外密封16、支撑套17、支撑套外部密封圈18为相互密封配合关系，支撑套17、垫圈19、底部螺丝21为顶紧关系，压缩弹簧20顶住下压杆15与支撑套17的预紧关系，进气接头23连接外部进气源；出气接头24连接减振器腔体；所述主体9与所述进气接头23通过支撑套17的过气通道连通；所述下压杆15设置有一与所述出气接头24连通的腔体，并且，所述腔体顶部通过所述封气滚珠13顶压，下压杆15还设置一与所述支撑套17连通的通孔。
[0020]本技术的整体动作流程：当球头螺母1、接收到振动源时，会联动调平杠杆3，调平杠杆3以调平转轴4为支点转动。调平杠杆3的转动从而触发上压杆10、尼龙密封圈11、双边密封圈12、封气滚珠13、辅助顶升弹簧14、下压杆15往下移动，进气源通过进气接头13进入到支撑套17内，并通过下压杆15的通孔进入到其腔体内，上压杆10往下移动的过程中，压紧封气滚珠13，并且，下压杆15还与下压杆外密封16、支撑套17产生摩擦密封气压的作用，下压的过程中压缩空气，如此，从而迫使下压杆15腔体内的气体通过出气接头24出气进入减振器腔体，从而使减振器腔体上升高度。
[0021]当调整高度到达时，将不再对球头螺母1施压，上压杆10、尼龙密封圈11、双边密封
圈12、封气滚珠13、辅助顶升弹簧14、下压杆15往上移动。压缩弹簧20推动下压杆15与支撑套17的过气通道完全相切堵住进气，其中，下压杆15上端设置为体积较小，下端设置为体积较大，从而使得下压杆15往下移动时与支撑套17存在过气通道，并且，在往上移动时与支撑套17相切，从而堵住支撑套17与进气接头13的过气通道，并且，残留过甚的气体会通过下压杆15、封气滚珠13到主体9里面，从消声器22排出，反复几次上下微动控制气流量，达到调平的效果。
[0022]本技术可以通过安装在减振器上，可以缩短设备的稳定时间，保持运动设备的水平性。
[0023]以上仅为本技术的较佳实施例而已，并不用于限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所做的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种精密按压调平装置，其特征在于，包括球头螺母(1)、调节螺杆(2)、调平杠杆(3)、调平转轴(4)、杠杆固定座(6)、主体(9)、上压杆(10)、封气滚珠(13)、下压杆(15)、下压杆外密封(16)、支撑套(17)、支撑套外部密封圈(18)、垫圈(19)、压缩弹簧(20)、底部螺丝(21)、进气接头(23)、出气接头(24)；其中，球头螺母(1)、调节螺杆(2)固定于调平杠杆(3)上，用于调节调平杠杆(3)的上下高度；调平转轴(4)固定在杠杆固定座(6)上，调平杠杆(3)以调平转轴(4)为支点转动；上压杆(10)与调平杠杆(3)相切；封气滚珠(13)顶在上压杆(10)与下压杆(15)之间；下压杆(15)通过下压杆外密封(16)、支撑套(17)、支撑套外部密封圈(18)密封设置；支撑套(17)、垫圈(19)、底部螺丝(21)相互顶紧设置；并且，进气接头(23)连接外部进气源；出气接头(24)连接减振器腔体；所述主体(9)与所述进气接头(23)通过支撑套(17)的过气通道连通；所述下压杆(15)设置有一与所述出气接头(24...

【专利技术属性】
技术研发人员：程亮，周小利，雷丽萍，伍军，朱艺光，
申请(专利权)人：深圳市三思减振技术有限公司，
类型：新型
国别省市：