本实用新型专利技术公开了一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，包括溅射靶材安装定位装置，溅射靶材安装定位装置包括底座、升降机构、靶材提放螺栓和靶材定位插销，底座的拐角处均匀安装有四组滚轮，升降机构内置底座的内部且由驱动电机、皮带、丝杠、滑块和升降杆组成，驱动电机垂直安装于底座上且动力输出端通过皮带与丝杠相连接，丝杠垂直安装于底座内且底端与底座转动连接，滑块螺纹穿插于丝杠上且外端与升降杆相连接，升降杆的下端固定于底座上且外端连接有交叉式支撑机构。本实用新型专利技术设计了一种专门用于物理气相沉积装备溅射靶材进行拆装和定位的装置，该装置在靶材移出与安装时，采用机械机构操作，避免人员受伤，避免靶材和设备受损。材和设备受损。材和设备受损。
【技术实现步骤摘要】
一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置
[0001]本技术涉及半导体制造物理气相沉积设备
，具体为一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置。
技术介绍
[0002]物理气相沉积技术表示在真空条件下，采用物理方法，将靶材表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。靶材是物理气相沉积设所用的材料源，靶材在使用过程中不断消耗，消耗到一定数量后需要更换靶材。不同的工艺所用的靶材也不相同，不同工艺之间转换时需要更换靶材。常用的靶材如：铝铜，铜，钛，等，更换靶材的主要步骤：将原来设备上的旧靶材拆下，安装新的靶材。
[0003]然而，现有的物理气相沉积装备溅射靶材拆装方式存在以下的问题：(1)多采用人工操作的方式，靶材较重，人工移出与安装不便，易造成人员受伤并且容易对靶材造成碰撞，造成靶材和设备受损；(2)安装时无对位装置，凭肉眼对位，造成对位不准，重复操作，浪费时间。为此，需要设计相应的技术方案解决存在的技术问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，解决了多采用人工操作的方式，靶材较重，人工移出与安装不便，易造成人员受伤并且容易对靶材造成碰撞，造成靶材和设备受损，这一技术问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，包括溅射靶材安装定位装置，所述溅射靶材安装定位装置包括底座、升降机构、靶材提放螺栓和靶材定位插销，所述底座的拐角处均匀安装有四组滚轮，所述升降机构内置底座的内部且由驱动电机、皮带、丝杠、滑块和升降杆组成，所述驱动电机垂直安装于底座上且动力输出端通过皮带与丝杠相连接，所述丝杠垂直安装于底座内且底端与底座转动连接，所述滑块螺纹穿插于丝杠上且外端与升降杆相连接，所述升降杆的下端固定于底座上且外端连接有交叉式支撑机构，所述交叉式支撑机构的下端连接有两组支架，所述靶材提放螺栓分设有若干组且螺纹固定于支架上，若干组所述靶材提放螺栓的下端螺纹连接有靶材本体，所述靶材定位插销分设有若干组且螺纹穿插于交叉式支撑机构上。
[0006]作为本技术的一种优选方式，所述底座的外围垂直安装有四组侧板且内部形成有安装槽，所述侧板上安装有调节按钮，所述调节按钮通过线路与驱动电机相连接。
[0007]作为本技术的一种优选方式，所述交叉式支撑机构由主筒、提升杆、支撑板、交叉杆和连接块组成，所述主筒的底部固定于底座上，所述提升杆活动穿插于主筒且外端与滑块相连接，所述支撑板水平安装于提升杆的顶部，所述交叉杆安装有支撑板的外端且下方与连接块相连接，所述连接块分设有两组且对称安装于支架的上方。
[0008]作为本技术的一种优选方式，所述交叉杆由两组横杆组成，两组所述横杆呈
交叉状设置且连接的中心位置与支撑板的外端相连接。
[0009]作为本技术的一种优选方式，所述支架和连接块上均开设有若干组定位孔，若干组所述定位孔包括四组定位孔一和四组定位孔二，所述定位孔一距离支架的中心位置为八寸，所述定位孔二距离支架的中心位置为十二寸。
[0010]作为本技术的一种优选方式，所述靶材提放螺栓包括手动提升手柄和垂直固定于手动提升手柄下方的螺杆，所述螺杆螺纹穿插于靶材本体。
[0011]作为本技术的一种优选方式，所述靶材本体的外围开设有螺纹孔，所述螺杆的下端螺纹穿插于螺纹孔内。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0013]1.本技术设计了一种专门用于物理气相沉积装备溅射靶材进行拆装和定位的装置，该装置在靶材移出与安装时，采用机械机构操作，避免人员受伤，避免靶材和设备受损。
[0014]2.本技术在靶材安装时有定位装置，便于精准定位，一次安装成功，靶材安装时精准定位，节约安装时间，兼容8寸与12寸靶材使用，降低单独购买特定尺寸装置的成本，节约装置摆放空间。
附图说明
[0015]图1为本技术为溅射靶材安装定位装置示意图；
[0016]图2为本技术所述靶材本体与靶材提放螺栓连接结构图；
[0017]图3为本技术的溅射靶材安装流程图。
[0018]图中:1、底座；2、升降机构；3、靶材提放螺栓；4、靶材定位插销；5、滚轮；6、驱动电机；7、皮带；8、丝杠；9、滑块；10、升降杆；11、交叉式支撑机构；12、支架；13、靶材本体；14、侧板；15、安装槽；16、调节按钮；17、主筒；18、提升杆；19、支撑板；20、交叉杆；21、连接块；22、横杆；23、定位孔一；24、定位孔二；25、手动提升手柄；26、螺杆；27、螺纹孔。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，包括溅射靶材安装定位装置，其特征在于：溅射靶材安装定位装置包括底座1、升降机构2、靶材提放螺栓3和靶材定位插销4，底座1的拐角处均匀安装有四组滚轮5，升降机构2内置底座1的内部且由驱动电机6、皮带7、丝杠8、滑块9和升降杆10组成，驱动电机6垂直安装于底座1上且动力输出端通过皮带7与丝杠8相连接，丝杠8垂直安装于底座1内且底端与底座1转动连接，滑块9螺纹穿插于丝杠8上且外端与升降杆10相连接，升降杆10的下端固定于底座1上且外端连接有交叉式支撑机构11，交叉式支撑机构11的下端连接有两组支架12，靶材提放螺栓3分设有若干组且螺纹固定于支架12上，若干组靶材提放螺栓3的下端螺纹连接有靶材本体13，靶材定位插销4分设有若干组且螺纹穿插于交叉式支撑机构11上。
[0021]靶材本体13上有若干螺纹孔27，靶材通过螺栓与机台固定，拆卸靶材时，先将靶材上的螺栓拆除，升降机构2固定于底座1内，底座1四角上设置四个轮子，每个轮子带有刹车，轮子的作用是移动便于移动装置，以电机作为动力带动升降为例，电机固定于底座1上，电机与丝杠8通过皮带7相连，丝杠8与升降杆10通过滑块9相连接，电机正反转，带动升降机构2上升或下降，升降机构2外壳上设置三个按钮，分别为上升，下降，停止，为交错安装的两根横杆22，升降杆10固定在横杆22上，靶材提放螺栓3与支架12通过螺纹连接，靶材提放螺栓3前端通过螺纹与靶材连接，靶材定位插销4前端为锥形，插销与靶材上的定位孔相连，实现定位。
[0022]进一步改进地，如图1所示：底座1的外围垂直安装有四组侧板14且内部形成有安装槽15，侧板14上安装有调节按钮16，调节按钮16通过线路与驱动电机6相连接，设置三个本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，包括溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述溅射靶材安装定位装置包括底座(1)、升降机构(2)、靶材提放螺栓(3)和靶材定位插销(4)，所述底座(1)的拐角处均匀安装有四组滚轮(5)，所述升降机构(2)内置底座(1)的内部且由驱动电机(6)、皮带(7)、丝杠(8)、滑块(9)和升降杆(10)组成，所述驱动电机(6)垂直安装于底座(1)上且动力输出端通过皮带(7)与丝杠(8)相连接，所述丝杠(8)垂直安装于底座(1)内且底端与底座(1)转动连接，所述滑块(9)螺纹穿插于丝杠(8)上且外端与升降杆(10)相连接，所述升降杆(10)的下端固定于底座(1)上且外端连接有交叉式支撑机构(11)，所述交叉式支撑机构(11)的下端连接有两组支架(12)，所述靶材提放螺栓(3)分设有若干组且螺纹固定于支架(12)上，若干组所述靶材提放螺栓(3)的下端螺纹连接有靶材本体(13)，所述靶材定位插销(4)分设有若干组且螺纹穿插于交叉式支撑机构(11)上。2.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述底座(1)的外围垂直安装有四组侧板(14)且内部形成有安装槽(15)，所述侧板(14)上安装有调节按钮(16)，所述调节按钮(16)通过线路与驱动电机(6)相连接。3.根据权利要求2所述的一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述交叉式支撑机构(11)由主筒(17)、提升杆(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗正勇，金補哲，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。