高架搬运系统及其水平度校准的方法技术方案

提供一种能够吸收异常振动并确定异常振动的来源的高架搬运系统。根据本公开各种实施例的高架搬运系统包括：处理器；高架轨道；多个吊架，支撑高架轨道；振动计，测量来自高架轨道的振动；以及阻尼器，包括在吊架中的每一者中。所述处理器被配置成响应于判定振动计所量测到的振动指示是异常振动而改变阻尼器的特性。到的振动指示是异常振动而改变阻尼器的特性。到的振动指示是异常振动而改变阻尼器的特性。

Overhead handling system and its levelness calibration method

【技术实现步骤摘要】
高架搬运系统及其水平度校准的方法


[0001]本公开的实施例是有关于一种高架搬运系统及其水平度校准的方法。

技术介绍

[0002]为生产半导体装置，作为半导体装置的原材料的半导体衬底(例如硅晶圆)必须经过一系列复杂而精确的工艺步骤。通常，为完成所述系列工艺步骤，必须将晶圆从一个制造设备在实体上输送到另一制造设备。在这些制造设备内，对半导体衬底施行各种工艺，例如扩散、离子植入、化学气相沉积、光刻、刻蚀、物理气相沉积及化学机械抛光。
[0003]为使半导体衬底高效地移动经过所述系列且在半导体制造工厂中的不同制造设备之间高效地移动，将多个半导体衬底容置在便携式容器(例如被配置成由高架搬运载具载送的前开式晶圆传送盒(front opening unified pod，FOUP))中。高架搬运载具被配置成在安置在制造设备上方的高架轨道总成(rail track)上行进。一般来说，自动化材料搬运系统(automated material handling system，AMHS)中所包括的高架无人搬运(overhead hoist transport，OHT)系统对前往制造工厂中的各种制造设备的多个高架搬运载具进行控制。

技术实现思路

[0004]本公开的实施例提供一种对用于输送晶圆盒的高架轨道结构进行水平度校准的方法包括：确定被配置成支撑所述高架轨道结构的多个吊架中的每一者的长度。所述方法还包括通过调整所述吊架的所述长度对所述轨道结构的水平度进行校准且确定所述吊架中的至少一对吊架的对齐情况。
[0005]本公开的实施例提供一种确定来自高架搬运系统的异常振动的来源的方法，所述高架搬运系统包括高架轨道及在所述高架轨道上输送晶圆盒的高架载具，所述方法包括在不同的位置处测量来自所述高架轨道的振动。所述方法还包括确定测量到所述异常振动的所述高架轨道的位置以及对所述异常振动进行抑制。
[0006]本公开的实施例提供一种高架轨道系统包括：处理器；高架轨道；多个吊架，支撑所述高架轨道；振动计，被配置成测量来自所述高架轨道的振动；以及阻尼器，包括在所述吊架中的每一者中。所述处理器被配置成响应于确定由所述振动计测量到的所述振动指示是异常振动而改变所述阻尼器的特性。
附图说明
[0007]结合附图阅读以下详细说明，会最好地理解本公开的各个方面。应注意，根据本行业中的标准惯例，各种特征并未按比例绘制。事实上，为使论述清晰起见，可任意增大或减小各种特征的尺寸。
[0008]图1是根据本公开一个或多个实施例的包括在高架搬运系统中的若干轨道结构中的单个轨道结构的示意图，所述高架搬运系统配置有高架轨道系统及高架轨道监测系统的
各种组件。
[0009]图2是根据本公开中的一个或多个实施例的包括在吊架中的可调整连杆构件(adjustable link member)的侧视分解图。
[0010]图3及图4是根据本公开中的一个或多个实施例的包括在吊架中的可调整连杆构件的侧视图。
[0011]图5是示出根据本公开一个或多个实施例的控制器的方块图。
[0012]图6是示出根据本公开一个或多个实施例的维护由高架搬运系统实施的测量数据库的方法的流程图。
[0013]图7是示出根据本公开一个或多个实施例的由高架搬运系统实施的确定异常振动的来源的方法的流程图。
[0014]图8是示出根据本公开一个或多个实施例的由高架搬运系统实施的轨道结构水平度校准工艺的方法的流程图。
[0015]图9是根据本公开一个或多个实施例的多个轨道结构的局部示意图，所述多个轨道结构串联对齐以形成高架搬运载具的轨线(track)。
[0016]图10是示出根据本公开一个或多个实施例的由高架搬运系统实施的用于多个轨道结构的轨道结构水平度校准工艺的方法的流程图。
具体实施方式
[0017]以下公开内容提供用于实施所提供主题的不同特征的许多不同的实施例或实例。以下阐述组件及排列的具体实例以简化本公开。当然，这些仅为实例而非旨在进行限制。举例来说，在以下说明中，在第二特征之上或第二特征上形成第一特征可包括其中第一特征与第二特征被形成为直接接触的实施例，且也可包括其中在第一特征与第二特征之间可形成附加特征从而使得第一特征与第二特征可不直接接触的实施例。另外，本公开可在各种实例中重复使用参考编号和/或字母。此种重复使用是为了简明及清晰起见，且自身并不表示所论述的各种实施例和/或配置之间的关系。
[0018]此外，为易于说明，本文中可能使用例如“在
…
之下(beneath)”、“在
…
下方(below)”、“下部的(lower)”、“在
…
上方(above)”、“上部的(upper)”等空间相对性用语来阐述图中所示一个元件或特征与另一(其他)元件或特征的关系。除了图中所绘示的取向以外，所述空间相对性用语还旨在囊括装置在使用或操作中的不同取向。装备可具有其他取向(旋转90度或处于其他取向)，且本文中所使用的空间相对性描述语可同样相应地作出解释。
[0019]在现代大规模半导体制造工厂中，当半导体衬底(在下文中为“晶圆”)在一个制造设备与另一制造设备之间输送时，所述半导体衬底容纳在被称为FOUP(晶圆盒)的物品批次中，所述FOUP通常一次储存25个晶圆。所述物品批次由高架无人搬运(OHT)系统输送，所述OHT系统包括在悬置在内顶板上的高架轨道系统上高速移动的多个高架载具。高架无人搬运(OHT)系统是半导体制造工厂中的自动化材料搬运系统(AMHS)的主要部分。
[0020]根据本文中所阐述主题的实施例包括智能高架无人搬运(OHT)系统(在下文中为“高架搬运系统”)，所述OHT系统能够通过以下方式在不使物品批次中的晶圆经受非预期冲击或振动(在下文中也被称为“异常振动”)的情况下安全地输送所述物品批次：对来自高架
搬运系统中所包括的高架轨道系统的各种组件(及位置)的数个监测参数进行测量；以及基于从监测过程收集的测量值分析异常振动的来源，以快速(例如，在后续物品批次经受过度振动或异常振动之前)进行适当的修整。此种高架搬运系统的实施例包括能够提供各种监测测量数据(例如，振动测量数据、水平度测量数据、距离测量数据、对齐情况测量数据及辅助对齐情况测量数据)的高架轨道监测系统。举例来说，根据本文中阐述的实施例的高架轨道系统包括用于测量并产生振动测量数据、水平度测量数据及其他测量数据的一个或多个传感器，所述数据可用于在高架搬运系统的操作期间对非预期冲击或振动的来源进行实时识别。根据本公开的实施例还包括控制器，所述控制器能够处理并分析由传感器提供的测量数据且确定造成非预期冲击或振动的来源。根据本文中阐述的一些实施例的高架轨道系统包括多个吊架，所述多个吊架能够将高架轨道的轨道结构的水平度调整到适当的水平度或斜度(例如，介于
‑6°
与6
°
之间)。当高架轨道的多个轨道结构由于自然事件(例如，地震)而不能被同时本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种对高架轨道结构进行水平度校准的方法，包括：确定被配置成支撑所述高架轨道结构的多个吊架中的每一者的长度；通过调整所述多个吊架的所述长度对所述高架轨道结构进行水平度校准；以及确定所述多个吊架中的至少一对吊架的对齐情况。2.根据权利要求1所述的方法，还包括：在不同的位置处测量来自所述高架轨道结构的振动。3.根据权利要求1所述的方法，其中所述确定所述多个吊架中的至少一者的所述长度包括：由测距仪测量所述高架轨道结构与滚道之间的距离。4.根据权利要求1所述的方法，其中所述对所述高架轨道结构进行水平度校准包括：将所述多个吊架的所述长度调整到不同的调整后的长度。5.一种确定来自高架搬运系统的异常振动的来源的方法，所述高架搬运系统包括高架轨道及在所述高架轨道上输送晶圆盒的高架输送载具，所述方法包括：在不同的位置处测量来自所述高架轨道的振动；确定测量到所述异常振动的所述高架轨道的位置；以及对所述异常振动进行抑制。6.根据权利要求5所述的方法，其中所述测量数据库包括振动测量数据、水平度测量数据、对齐情况测量数...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐婕，李冠群，张庆荣，董启峰，沈香吟，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：