一种万向球式的高端型膜片减振装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种万向球式的高端型膜片减振装置，将支撑板、圆盖片、橡胶圈、固定器相互配合锁紧；外锁紧圈、隔膜、上底板相互配合锁紧；内锁紧圈、隔膜、中间固定座相互配合锁紧；支撑杆、橡胶导套的一端固定在中间固定座上；上底板、中间套管、隔板、主体、下底板焊接成一体；隔板将气室腔体分隔为上气室和空气阻尼室；空气阻尼室与进气节流装置连通，上气室与所述阻尼腔体连通，空气阻尼室通过空气阻尼室至气室节流装置与上气室连通；支撑杆和橡胶导套的另一端、万向球活动装置设置在阻尼腔体内。本实用新型专利技术固有频率相较于普通型减振装置更低，水平和垂直方向的减振效果更好，可以达到固有频率为1.5

A universal ball type high-end diaphragm damping device

【技术实现步骤摘要】
一种万向球式的高端型膜片减振装置


[0001]本技术涉及减振装置领域，尤其涉及的是一种万向球式的高端型膜片减振装置。

技术介绍

[0002]现有技术，各种的精密加工设备、高精度机床、超精密运动平台、高端检测设备、光学平台设备、半导体设备、例如光刻机、晶圆检测设备等；在设置的时候均要用到减振器，减振器对各设备的使用和运行起到减振的作用；减振的目的是控制干扰振动，将干扰振动的不利影响控制在可接受的范围内。减振器被设计来为不同型号的设备提供振动和冲击的保护。如果需要减振的设备本身就是振源(例如：冲击和振动试验台)，减振的目的就是减少振动从振源到支撑结构的传播。
[0003]现有技术中的减振器，一般都采用一室结构，运动平台所需稳定时间长，固有频率高。
[0004]因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题是：提供一种能够有效衰减传递到设备的振动，使运动平台所需稳定时间降低，并且，固有频率更低的万向球式的高端型膜片减振装置。
[0006]本技术的技术方案如下：一种万向球式的高端型膜片减振装置，包括支撑板1、圆盖片2、橡胶圈3、固定器4、外锁紧圈5、内锁紧圈6、支撑杆7、隔膜8、橡胶导套9、中间固定座10、上底板11、中间套管12、隔板13、主体14、空气阻尼室至气室节流装置16、万向球活动装置17、底部垫片18、下底板19、进气节流装置21、阻尼腔体22和气室腔体；其中，支撑板1、圆盖片2、橡胶圈3、固定器4相互配合锁紧；外锁紧圈5、隔膜8、上底板11相互配合锁紧；内锁紧圈6、隔膜8、中间固定座10相互配合锁紧；支撑杆7、橡胶导套9的一端固定在中间固定座10上；上底板11、中间套管12、隔板13、主体14、下底板19焊接成一体；进气节流装置21设置在主体14上；所述隔板13将气室腔体分隔为上气室和空气阻尼室；所述上气室与所述阻尼腔体22连通，所述空气阻尼室通过空气阻尼室至气室节流装置16与上气室连通，所述空气阻尼室与所述进气节流装置21连通；并且，所述支撑杆7的另一端、橡胶导套9的另一端、以及所述万向球活动装置17还设置在所述阻尼腔体内。
[0007]应用于上述技术方案，所述的高端型膜片减振装置中，还包括安全高度限位板15，所述安全高度限位板15与上底板11、中间套管12、隔板13、主体14、下底板19焊接成一体。
[0008]应用于上述各个技术方案，所述的高端型膜片减振装置中，所述万向球活动装置17和底部垫片18同轴心弧面接触。
[0009]应用于上述各个技术方案，所述的高端型膜片减振装置中，还包括搬运锁紧件20，用于锁紧搬运所述高端型膜片减振装置。
[0010]本技术的有益效果为：
[0011]本技术通过采用万向球式设计，万向球活动装置在运动的过程，可以抵消一部分水平和垂直的振动力；能够使得固有频率更低，水平和垂直方向的减振效果更好，可以达到固有频率的垂直和水平为1.5
‑
2HZ；减振率达到90
‑
99％。
附图说明
[0012]图1为本技术的示意图；
[0013]图2位本技术的剖面结构示意图。
具体实施方式
[0014]以下结合附图和具体实施例，对本技术进行详细说明。
[0015]本实施例提供了一种万向球式的高端型膜片减振装置，如图1和2所述，所述高端型膜片减振装置包括产品支撑板1、圆盖片2、橡胶圈3、固定器4、外锁紧圈5、内锁紧圈6、支撑杆7、隔膜8、橡胶导套9、中间固定座10、上底板11、中间套管12、隔板13、主体14、安全高度限位板15、空气阻尼室至气室节流装置16、万向球活动装置17、底部垫片18、下底板19、搬运锁紧件20、进气节流装置21、阻尼腔体22和气室腔体。
[0016]其中，支撑板1、圆盖片2、橡胶圈3、固定器4配合锁紧，外锁紧圈5、隔膜8、上底板11配合锁紧外圈，内锁紧圈6、隔膜8、中间固定座10、配合锁紧内圈；支撑杆7、橡胶导套9、万向球活动装置17组装在中间固定座10里面，其中，支撑杆7的一端、橡胶导套9的一端分别固定在中间固定座10上；上底板11、中间套管12、隔板13、主体14、安全高度限位板15、下底板19焊接成一体且密封性好。
[0017]空气阻尼室至气室节流装置16、进气节流装置21锁附在主体14上，万向球活动装置17、底部垫片18同轴心弧面接触。搬运锁紧件20用于在高端型膜片减振装置不使用时，锁紧支撑板1与上底板11、中间套管12、隔板13、主体14、安全高度限位板15、下底板19焊接件，以方便高端型膜片减振装置的搬运和移动。
[0018]所述隔板13将气室腔体分隔为上气室和空气阻尼室；所述空气阻尼室与所述进气节流装置21连通，所述上气室与所述阻尼腔体22连通，所述空气阻尼室通过空气阻尼室至气室节流装置16与上气室连通；并且，所述支撑杆7的另一端、橡胶导套9的另一端、以及所述万向球活动装置17还设置在所述阻尼腔体内。
[0019]本技术的整体动作流程：当一套减振仪器(4个或4个以上)有承受负载时，进气管接入调平装置的进气，再由调平装置的出气管接到进气节流装置21进行实时充气，充气通过进气节流装置21进入到主体14内，所述上气室与所述阻尼腔体连通，所述空气阻尼室通过空气阻尼室至气室节流装置与上气室连通，上气室为空气弹簧主气室，空气阻尼室为辅气室，空气阻尼室加节流装置与上气室连通，可提供空气阻尼，气压进入到空气阻尼室，通过空气阻尼室至气室节流装置进入到上气室，从而进入到阻尼腔体内，进入到阻尼腔体内的气压，将万向球活动装置17顶起，万向球活动装置17推动支撑杆7往上移动，并带动橡胶导套9；如此，顶起支撑板1、圆盖片2、橡胶圈3、固定器4、内锁紧圈6、支撑杆7、隔膜8、橡胶导套9、中间固定座10、万向球活动装置17、底部垫片18等部分零件。
[0020]安全高度限位板15安装在阻尼腔体的上部，与上底板11、中间套管12、隔板13、主体14、下底板19焊接成一体，橡胶导套9向上移动时候，当移动到一设定高度时，橡胶导套9
的下端卡固在安全高度限位板15上，从而达到限制中间固定座10高度，不让支撑板1、圆盖片2、橡胶圈3、固定器4、内锁紧圈6、支撑杆7、隔膜8、橡胶导套9、中间固定座10、万向球活动装置17、底部垫片18等组件无限制的往上升高，防止破坏隔膜8。
[0021]搬运锁紧件20用于在不使用时，锁紧支撑板1和上底板11，方便产品的搬运和移动。
[0022]本技术通过采用万向球式设计，万向球活动装置在运动的过程，可以抵消一部分水平和垂直的振动力；能够使得固有频率更低，水平和垂直方向的减振效果更好，可以达到固有频率的垂直和水平为1.5
‑
2HZ；减振率达到90
‑
99％。
[0023]以上仅为本技术的较佳实施例而已，并不用于限制本技术，凡在本技术的精神和原则本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种万向球式的高端型膜片减振装置，其特征在于，包括支撑板(1)、圆盖片(2)、橡胶圈(3)、固定器(4)、外锁紧圈(5)、内锁紧圈(6)、支撑杆(7)、隔膜(8)、橡胶导套(9)、中间固定座(10)、上底板(11)、中间套管(12)、隔板(13)、主体(14)、空气阻尼室至气室节流装置(16)、万向球活动装置(17)、底部垫片(18)、下底板(19)、进气节流装置(21)、阻尼腔体(22)和气室腔体；其中，支撑板(1)、圆盖片(2)、橡胶圈(3)、固定器(4)相互配合锁紧；外锁紧圈(5)、隔膜(8)、上底板(11)相互配合锁紧；内锁紧圈(6)、隔膜(8)、中间固定座(10)相互配合锁紧；支撑杆(7)、橡胶导套(9)的一端固定在中间固定座(10)上；上底板(11)、中间套管(12)、隔板(13)、主体(14)、下底板(19)焊接成一体；进气节流装置(21)设置在主体(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：程亮，周小利，雷丽萍，伍军，朱艺光，
申请(专利权)人：深圳市三思减振技术有限公司，
类型：新型
国别省市：