【技术实现步骤摘要】
一种半导体刻蚀腔内衬整平模具
[0001]本技术涉及半导体设备
,具体涉及一种半导体刻蚀腔内衬整平模具。
技术介绍
[0002]进行刻蚀的设备腔需要较高的密封性,ETCH制程所使用的刻蚀腔内衬在设备整体密封性起关键的作用,其母材为阳极氧化铝,密封面大且易变形,在拆卸作业以及设备清洗过程易发生应力作用而导致密封面不平整。密封面不平整将会影响机台的运行时间,在刻蚀腔内衬安装之前需要对其进行密封性检测,如果密封性不合格则进行整平修复,而传统的垫片达不到理想效果。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种专用于刻蚀腔内衬的整平修复模具及模具的使用方法。
[0004]为实现上述目的,本技术提供了以下技术方案:
[0005]一种半导体刻蚀腔内衬整平模具,包括下工装,下工装的模腔折边上形成有安装密封圈的凹槽,密封圈外靠近模腔的折边上设置有若干个弧形柱体,每个柱体两侧设置有0.2
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0.6mm的高度差,弧形柱体的高出部分用于吻合待刻蚀腔内衬的凹陷处。
[0006]可以制备多套弧形柱体,根据需要进行选择,单次整平时,弧形柱体的个数为4个,由与下工装同心的环状柱体等分而成。
[0007]进一步的,弧形柱体上设置有螺栓孔,所述螺栓孔个数为2个。弧形柱体通过螺栓和下工装组装固定。
[0008]优选的,弧形柱体的材质均为不锈钢材质,处理时不易回弹,整形时效果好。
[0009]有益效果在于:通过该整平模具可以使报废的刻蚀腔内衬能达到恢复使用条件,提高利 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体刻蚀腔内衬整平模具,其特征在于:包括下工装,下工装的模腔折边上形成有安装密封圈的凹槽,密封圈外靠近模腔的折边上设置有若干个弧形柱体,每个柱体两侧设置有0.2
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0.6mm的高度差,弧形柱体的高出部分用于吻合刻蚀腔内衬的凹陷处。2.如权利要求1所述的半导体刻蚀腔内衬整平模具,其特征在于,弧形柱体的个数为4...
【专利技术属性】
技术研发人员:薛弘宇,顾仁宝,李伟东,朱文健,余箫伟,魏韶华,
申请(专利权)人:江苏凯威特斯半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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