一种新型VTM真空腔体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型VTM真空腔体，涉及VTM技术领域，包括VTM腔体主体，所述VTM腔体主体内开设有多个方孔，所述VTM腔体主体内开设有多个对接孔，所述VTM腔体主体内开设有多个配对孔，所述配对孔内设置有孔径调节组件，所述孔径调节组件包括设置在配对孔内部的多个孔环，所述孔环内开设有定位槽，所述定位槽内开设有多个卡槽，所述卡槽内固定连接有定位弹簧。本实用新型专利技术中通过孔径调节组件中孔环、卡块、紧固垫、铁皮条、导向块、定位弹簧和绕条辊之间的配合，利用对铁皮条的收紧将卡块从卡口内取出，从而根据零件的尺寸对配对孔的孔径进行调整，使VTM腔体主体可适用于大部分的零件安装，有助于VTM腔体的零件安装。有助于VTM腔体的零件安装。有助于VTM腔体的零件安装。

A new VTM vacuum chamber

【技术实现步骤摘要】
一种新型VTM真空腔体


[0001]本技术涉及VTM腔体
，特别是一种新型VTM真空腔体。

技术介绍

[0002]离子注入机的作业平台，其包括多个纵向串列式分布的大气腔室和真空腔室，分别为大气硅片传输模块(EFEM)、与EFEM相连的两个预抽真空装置(Loadlock)、与两个与抽真空装置相连的真空硅片传输模块(VTM)以及与VTM相连的工艺处理模块(PTM)，其中在硅片加工过程中用到的VTM腔体是一种真空输运腔室，用于真空状态下硅片的传输。
[0003]在该VTM腔体实际安装时，其腔体上的孔径大小是定值，需选取与其配套的零件才能配对安装，但零件的型号不同，当需要更换尺寸较小的零件时，需将经过较为复杂的改孔加工处理才能配对安装，这将导致VTM腔体并不能适用于大部分的零件安装，造成了VTM腔体的零件安装麻烦的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决上述问题，设计了一种新型VTM真空腔体。
[0005]实现上述目的本技术的技术方案为，一种新型VTM真空腔体，包括VTM腔体主体，所述VTM腔体主体内开设有多个方孔，所述VTM腔体主体内开设有多个对接孔，所述VTM腔体主体内开设有多个配对孔，所述配对孔内设置有孔径调节组件。
[0006]作为本技术方案的进一步补充，所述孔径调节组件包括设置在配对孔内部的多个孔环，所述孔环内开设有定位槽，所述定位槽内开设有多个卡槽，所述卡槽内固定连接有定位弹簧，所述定位弹簧的一端固定连接有卡块，所述VTM腔体主体和多个孔环内均开设有多个与卡块相适配的卡口，所述定位槽内设置有铁皮条，所述卡块内贯穿开设有与铁皮条相适配的穿插槽，所述定位槽内转动连接有转动杆，所述转动杆上固定连接有绕条辊，所述铁皮条的两端均与绕条辊缠绕连接。
[0007]作为本技术方案的进一步补充，所述穿插槽内固定连接有紧固垫，所述紧固垫的一侧与铁皮条紧贴，提高了铁皮条与卡块之间的连接稳定。
[0008]作为本技术方案的进一步补充，所述卡块的两侧均固定连接有导向块，所述孔环内开设有与导向块相适配的导向槽，可对卡块的移动导向。
[0009]作为本技术方案的进一步补充，所述转动杆的一端固定连接有旋钮，所述孔环内开设有多个与旋钮相适配的施力槽，便于对绕条辊的转动控制。
[0010]作为本技术方案的进一步补充，所述施力槽上盖设有装饰盖，所述装饰盖的一侧与施力槽内壁紧贴，可防止人员误触旋钮。
[0011]作为本技术方案的进一步补充，所述旋钮上印制有防滑纹，所述防滑纹设置在旋钮的边缘处，增大了旋钮的表面摩擦力，有助于对旋钮施力。
[0012]作为本技术方案的进一步补充，所述装饰盖上设有凸点，所述凸点设置在装饰盖的中部，便于将装饰盖取出。
[0013]其有益效果在于，本技术通过孔径调节组件中孔环、卡块、紧固垫、铁皮条、导向块、定位弹簧和绕条辊之间的配合，利用对铁皮条的收紧将卡块从卡口内取出，从而根据零件的尺寸对配对孔的孔径进行调整，使VTM腔体主体可适用于大部分的零件安装，有助于VTM腔体的零件安装。
附图说明
[0014]图1是本技术的结构示意图；
[0015]图2是本技术另一视角的结构示意图；
[0016]图3是本技术中孔环的结构示意图；
[0017]图4是图3中A处的结构放大图；
[0018]图5是图3中B处的结构放大图。
[0019]图中，1、VTM腔体主体；2、孔环；3、卡块；4、紧固垫；5、铁皮条；6、导向块；7、定位弹簧；8、绕条辊。
具体实施方式
[0020]首先说明一下本技术的设计初衷，VTM腔体一般用于真空状态下硅片的运输，目前的VTM腔体在安装时需要选取配套的零件才能配对安装，特别是柱体零件，型号尺寸不同，在更换不同尺寸的零件时需要对VTM腔体进行复杂的改孔工艺处理，不适用于大部分零件的安装，而且会增加额外的成本，为了解决上述问题，本技术提供了一种新型VTM真空腔体。
[0021]下面结合附图对本技术进行具体描述，如图1
‑
图5所示，该VTM真空腔体主要包括VTM腔体主体1，在VTM腔体主体1内开设有多个方孔、多个对接孔和多个配对孔，其中方孔和对接孔用于和其他配套设备对接，在配对孔内设置有孔径调节组件，用于调节孔径，便于安装不同尺寸的零件。
[0022]上述的孔径调节组件包括设置在配对孔内部的多个孔环2，孔环2内开设有定位槽，定位槽内开设有多个卡槽，卡槽内固定连接有定位弹簧7，定位弹簧7的一端固定连接有卡块3，VTM腔体主体1和多个孔环2内均开设有多个与卡块3相适配的卡口，卡块3的两侧均固定连接有导向块6，孔环2内开设有与导向块6相适配的导向槽，可对卡块3的移动导向；在定位槽内还设置有铁皮条5，卡块3内贯穿开设有与铁皮条5相适配的穿插槽，穿插槽内固定连接有紧固垫4，在紧固垫4的一侧与铁皮条5紧贴，提高了铁皮条5与卡块3之间的连接稳定；紧固垫4的材质为橡胶，橡胶有很多种，它在室温下富有弹性，在很小的外力作用下能产生较大形变，除去外力后能恢复原状，具有弹性好，强度高，综合性能好等优点，主要分为：天然橡胶，异戊橡胶，丁苯橡胶，顺丁橡胶等等，这里紧固垫4采用的橡胶为硫化后的顺丁橡胶，顺丁橡胶由丁二烯聚合制得，与其他通用型橡胶比，硫化后的顺丁橡胶的耐寒性、耐磨性和弹性特别优异，动负荷下发热少，耐老化性能好，易与天然橡胶、氯丁橡胶、丁腈橡胶等并用，十分适合应用在本技术中。
[0023]定位槽内转动连接有转动杆，转动杆上固定连接有绕条辊8，铁皮条5的两端均与绕条辊8缠绕连接，通过孔径调节组件中孔环2、卡块3、紧固垫4、铁皮条5、导向块6、定位弹簧7和绕条辊8之间的配合，利用对铁皮条5的收紧将卡块3从卡口内取出，从而根据零件的
尺寸对配对孔的孔径进行调整，使VTM腔体主体1可适用于大部分的零件安装，有助于VTM腔体的零件安装。
[0024]上述的转动杆的一端固定连接有旋钮，旋钮是用手控转的手动元件，根据功能要求分为连续多次旋转，旋转角度可达到360
°
，孔环2内开设有多个与旋钮相适配的施力槽，便于对绕条辊8的转动控制，施力槽上盖设有装饰盖，装饰盖的一侧与施力槽内壁紧贴，可防止人员误触旋钮，旋钮上印制有防滑纹，防滑纹设置在旋钮的边缘处，增大了旋钮的表面摩擦力，有助于对旋钮施力，装饰盖上设有凸点，凸点设置在装饰盖的中部，便于将装饰盖取出。
[0025]孔径调节组件在实施时，首先根据安装的零件尺寸选取合适的孔环2，将孔环2上的装饰盖取出，再转动旋钮，使与其依次连接的转动杆和绕条辊8转动，利用绕条辊8收卷铁皮条5，使铁皮条5收紧，并利用铁皮条5牵引卡块3移动并从卡口内部取出，然后对孔环2施力将其从VTM腔体主体1内抽出，此时VTM腔体主体1上保留的孔环2的口径将与零件尺寸配对，通过孔径调节组件中孔环2、卡块3、紧固垫4、铁皮条5、导向块6、定位弹簧7和绕条辊8之间的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型VTM真空腔体，其特征在于，包括VTM腔体主体(1)，所述VTM腔体主体(1)内开设有多个方孔，所述VTM腔体主体(1)内开设有多个对接孔，所述VTM腔体主体(1)内开设有多个配对孔，所述配对孔内设置有孔径调节组件。2.根据权利要求1所述的一种新型VTM真空腔体，其特征在于，所述孔径调节组件包括设置在配对孔内部的多个孔环(2)，所述孔环(2)内开设有定位槽，所述定位槽内开设有多个卡槽，所述卡槽内固定连接有定位弹簧(7)，所述定位弹簧(7)的一端固定连接有卡块(3)，所述VTM腔体主体(1)和多个孔环(2)内均开设有多个与卡块(3)相适配的卡口，所述定位槽内设置有铁皮条(5)，所述卡块(3)内贯穿开设有与铁皮条(5)相适配的穿插槽，所述定位槽内转动连接有转动杆，所述转动杆上固定连接有绕条辊(8)，所述铁皮条(5)的两端均与绕条辊(8)缠绕连接。3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：桑春峰，
申请(专利权)人：兆默真空设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：