一种撕、贴膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于半导体加工设备技术领域，具体涉及一种撕、贴膜装置，包括机架，以及设于机架上的以下模组：入料翻转模组，用于上料；撕残胶模组，用于将来自入料翻转模组的工件表面上的残留胶膜去除；清洁模组，用于清洁来自撕残胶模组的工件表面的粘胶；贴膜模组，用于在来自清洁模组的工件表面贴膜；撕膜模组，用于撕掉来自贴膜模组的工件表面的离型膜；出料翻转模组，用于收集来自撕膜模组的工件并传送至下一工序。采用上述结构，同现有同类技术相比，本发明专利技术在同一设备上集成了撕残胶、清洁、贴膜及撕膜功能，有利于减小安装空间，便于使用者控制和维护设备，降低使用成本及采购成本；而且简化了本装置的结构设计，有利于进一步降低成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
一种撕、贴膜装置


[0001]本专利技术涉及半导体加工设备
，具体是指一种用于印制板加工上且集成了撕除工件表面残胶、工件表面贴膜功能的设备。

技术介绍

[0002]在印制板加工过程中，包括撕除来料工件上的残胶的工序，该残胶为胶膜，为该工序前方工序粘贴在印制板表面或者来自上游厂家出厂时所粘贴，而在此处的加工过程中，需要撕除该残胶，以便后续工序的顺利进行；因此，不仅需要撕除该胶膜，还需要清洁附着在印制板表面的固体胶，以便后续的贴膜工序在印制板表面进行贴膜，此处所贴膜具有一定功能，该贴膜出厂时呈卷状，在其其中一个表面上具有离型膜，当贴膜工序完成时，该离型膜同样需要撕除；目前，为了完成上述工序，需要采用多台不同的设备，从而需要较大的安装空间，每台设备需要单独控制、维护，增加了使用者的使用成本，而且采购成本高。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术的不足之处，本专利技术目的在于提供一种撕、贴膜装置，其集成多种功能，旨在解决现有技术存在的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案为：一种撕、贴膜装置，包括机架，以及：
[0005]入料翻转模组，其设于机架上，用于上料；
[0006]撕残胶模组，其设于机架上，用于将来自入料翻转模组的工件表面上的残留胶膜去除；
[0007]清洁模组，其设于机架上，用于清洁来自撕残胶模组的工件表面的粘胶；
[0008]贴膜模组，其设于机架上，用于在来自清洁模组的工件表面贴膜；
[0009]撕膜模组，其设于机架上，用于撕掉来自贴膜模组的工件表面的离型膜；
[0010]出料翻转模组，其设于机架上，用于收集来自撕膜模组的工件并传送至下一工序。
[0011]优选地，还包括六个设于机架上的在Y向往复运动的Y向传送模组，其分别为用于与入料翻转模组、撕残胶模组、清洁模组、贴膜模组、撕膜模组及出料翻转模组对接的第一、二、三、四、五及六Y向传送模组；所述第一Y向传送模组与将来自入料翻转模组的工件沿Y向送出；所述第二、三、四、五Y向传送模组分别将来自上一工位的工件沿Y向送至撕残胶模组、清洁模组、贴膜模组、撕膜模组并将完成该工位加工的工件分别沿Y向送出；所述第六Y向传送模组与将来自撕膜模组的工件沿Y向送至出料翻转模组。
[0012]优选地，还包括，用于将来自入料翻转模组的工件沿X向向第二Y向传送模组搬送的第一X向搬送模组；用于在第二、三、四、五Y向传送模组之间沿X向搬送工件的第二X向搬送模组；用于将来自撕膜模组的工件沿X向向第六Y向传送模组搬送的第三X向搬送模组。
[0013]优选地，所述入料翻转模组包括，设于机架上表面的入料底座，设于入料底座上的入料升降气缸，设于入料升降气缸的气缸轴上的入料升降支架，设于入料升降支架上入料翻转电机，与入料翻转电机输出轴相连接的用于吸取放置工件的玻璃盘的入料翻转吸盘。
[0014]优选地，所述撕残胶模组包括，设于机架上表面的撕残胶底座，设于撕残胶底座上的撕残胶Y向组件，设于撕残胶Y向组件上且可在Y向往复运动的撕残胶X向组件，设于撕残胶X向组件上且可在X向往复运动的撕残胶Z向组件，设于撕残胶Z向组件上且可在Z向往复运动的Z向缓冲组件，设于Z向缓冲组件下端的撕残胶组件。
[0015]优选地，所述撕残胶Y向组件、撕残胶X向组件及撕残胶Z向组件均采用标准丝杆直线模组；所述Z向缓冲组件包括，设于撕残胶Z向组件上的缓冲安装板，设于缓冲安装板上的缓冲气缸，设于缓冲气缸输出轴上的活动接头，与活动接头下端相连接的缓冲底座；所述撕残胶组件包括，设于缓冲底座上且位于其下方的夹头气缸安装座，与夹头气缸安装座下端相连接的夹头气缸底座，设于夹头气缸安装座内的夹头气缸，与夹头气缸输出轴相连接的夹头，设于夹头气缸底座前表面上用于铲起工件上残留的胶膜并与夹头相配合夹紧该胶膜的铲胶头。
[0016]优选地，所述清洁模组包括，设于机架上表面的清洁底板，垂直设于清洁底板上表面的安装立板，设于安装立板上且位于其前侧的料带放料卷及料带收料卷、若干料带张紧辊、料带收料电机及料带收料主动辊，设于清洁底板上表面用于与料带收料主动辊配合夹紧料带收料卷收取的废弃料带的料带从动辊组件，设于安装立板前方的且与料带放料卷上的清洁料带相连接的清洁辊组件。
[0017]优选地，分别与料带收料电机输出轴、料带收料主动辊及料带收料卷相连接的三个第一皮带轮位于安装立板背面后侧，三个第一皮带轮通过同步带连接；来自料带放料卷的清洁料带依次经过料带张紧辊、清洁辊组件、料带张紧辊、料带收料主动辊后到达料带收料卷。
[0018]优选地，所述料带从动辊组件包括，设于清洁底板上的料带从动辊气缸，下端与料带从动辊气缸输出轴转动连接的料带从动辊连杆，垂直设于安装立板前表面且与料带从动辊连杆活动连接的料带连杆转轴，设于料带从动辊连杆上端且与料带收料主动辊平行的料带收料从动辊；所述清洁辊组件包括，设于安装立板其中一侧边缘的安装侧板，设于安装侧板上的下压气缸，设于安装侧板上且与下压气缸输出轴相连接的下压滑块，固设于安装侧板上且与下压滑块活动连接的下压滑轨，与下压滑块固定连接的清洁辊支架，设于清洁辊下端的清洁辊。
[0019]优选地，还包括张紧调节辊组件，其包括，设于安装立板背面的调节辊气缸，与调节辊气缸输出轴相连接的调节板，设于安装立板背面的相互配合的调节滑轨及调节滑块，后端与调节板垂直连接且前端垂直穿过安装立板并位于其前侧的调节辊；所述调节板与调节滑块固定连接；所述清洁料带经过调节辊。
[0020]优选地，所述贴膜模组包括，贴膜底座，设于贴膜底座上的贴膜安装立板，离型膜剥离及收集机构、贴膜机构；所述离型膜剥离及收集机构包括，设于贴膜安装立板前表面的放料辊、若干张紧辊、收料组件，设于贴膜底座上的剥离板及与收料组件相配合的从动辊组件；所述贴膜机构包括，设于贴膜安装立板前表面的贴膜X向组件，与其活动连接的贴膜Z向组件，设于贴膜Z向组件上的贴膜旋转组件，设于贴膜旋转组件上的滚轮下压组件。
[0021]优选地，所述收料组件包括，设于贴膜安装立板上且位于其前侧的收料电机、收料主动辊及收料辊，三个分别设于收料电机输出轴、收料主动辊输入端及收料辊输入端的第二皮带轮，所述第二皮带轮位于贴膜安装立板背面的后侧，三个第二皮带轮通过第二同步
带连接；所述从动辊组件包括，设于贴膜底座上的从动辊气缸，下端与从动辊气缸输出轴转动连接的从动辊连杆，垂直设于贴膜安装立板前表面且与从动辊连杆活动连接的连杆转轴，设于从动辊连杆上端且与收料主动辊平行的收料从动辊；所述X向组件包括，设于贴膜安装立板背面的X向电机，两根相互平行的X向滑轨，活动设于两根X向滑轨上的X向滑块，与X向电机输出轴相连接的X向固定块，与X向固定块及X向滑块固定连接X向安装底板；所述Z向组件包括，设于X向安装底板前表面的Z向气缸、两根相互平行的Z向滑轨，活动设于两根Z向滑轨上的Z向滑块，与Z向气缸输出轴及Z向滑块固定连接的Z向固定块，与Z向固定块固定连接的Z向安装底板；贴膜旋转组件包括，与Z向安装底本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种撕、贴膜装置，其特征在于，包括机架，以及：入料翻转模组，其设于机架上，用于上料；撕残胶模组，其设于机架上，用于将来自入料翻转模组的工件表面上的残留胶膜去除；清洁模组，其设于机架上，用于清洁来自撕残胶模组的工件表面的粘胶；贴膜模组，其设于机架上，用于在来自清洁模组的工件表面贴膜；撕膜模组，其设于机架上，用于撕掉来自贴膜模组的工件表面的离型膜；出料翻转模组，其设于机架上，用于收集来自撕膜模组的工件并传送至下一工序。2.如权利要求1所述的一种撕、贴膜装置，其特征在于，还包括六个设于机架上的在Y向往复运动的Y向传送模组，其分别为用于与入料翻转模组、撕残胶模组、清洁模组、贴膜模组、撕膜模组及出料翻转模组对接的第一、二、三、四、五及六Y向传送模组；所述第一Y向传送模组与将来自入料翻转模组的工件沿Y向送出；所述第二、三、四、五Y向传送模组分别将来自上一工位的工件沿Y向送至撕残胶模组、清洁模组、贴膜模组、撕膜模组并将完成该工位加工的工件分别沿Y向送出；所述第六Y向传送模组与将来自撕膜模组的工件沿Y向送至出料翻转模组。3.如权利要求2所述的一种撕、贴膜装置，其特征在于，还包括，用于将来自入料翻转模组的工件沿X向向第二Y向传送模组搬送的第一X向搬送模组；用于在第二、三、四、五Y向传送模组之间沿X向搬送工件的第二X向搬送模组；用于将来自撕膜模组的工件沿X向向第六Y向传送模组搬送的第三X向搬送模组。4.如权利要求3所述的一种撕、贴膜装置，其特征在于，所述入料翻转模组包括，设于机架上表面的入料底座，设于入料底座上的入料升降气缸，设于入料升降气缸的气缸轴上的入料升降支架，设于入料升降支架上入料翻转电机，与入料翻转电机输出轴相连接的用于吸取放置工件的玻璃盘的入料翻转吸盘。5.如权利要求3所述的一种撕、贴膜装置，其特征在于，所述撕残胶模组包括，设于机架上表面的撕残胶底座，设于撕残胶底座上的撕残胶Y向组件，设于撕残胶Y向组件上且可在Y向往复运动的撕残胶X向组件，设于撕残胶X向组件上且可在X向往复运动的撕残胶Z向组件，设于撕残胶Z向组件上且可在Z向往复运动的Z向缓冲组件，设于Z向缓冲组件下端的撕残胶组件。6.如权利要求5所述的一种撕、贴膜装置，其特征在于，所述撕残胶Y向组件、撕残胶X向组件及撕残胶Z向组件均采用标准丝杆直线模组；所述Z向缓冲组件包括，设于撕残胶Z向组件上的缓冲安装板，设于缓冲安装板上的缓冲气缸，设于缓冲气缸输出轴上的活动接头，与活动接头下端相连接的缓冲底座；所述撕残胶组件包括，设于缓冲底座上且位于其下方的夹头气缸安装座，与夹头气缸安装座下端相连接的夹头气缸底座，设于夹头气缸安装座内的夹头气缸，与夹头气缸输出轴相连接的夹头，设于夹头气缸底座前表面上用于铲起工件上残留的胶膜并与夹头相配合夹紧该胶膜的铲胶头。7.如权利要求3所述的一种撕、贴膜装置，其特征在于，所述清洁模组包括，设于机架上表面的清洁底板，垂直设于清洁底板上表面的安装立板，设于安装立板上且位于其前侧的料带放料卷及料带收料卷、若干料带张紧辊、料带收料电机及料带收料主动辊，设于清洁底板上表面用于与料带收料主动辊配合夹紧料带收料卷收取的废弃料带的料带从动辊组件，设于安装立板前方的且与料带放料卷上的清洁料带相连接的清洁辊组件。
8.如权利要求7所述的一种撕、贴膜装置，其特征在于，分别与料带收料电机输出轴、料带收料主动辊及料带收料卷相连接的三个第一皮带轮位于安装立板背面后侧，三个第一皮带轮通过同步带连接；来自料带放料卷的清洁料带依次经过料带张紧辊、清洁辊组件、料带张紧辊、料带收料主动辊后到达料带收料卷。9.如权利要求7所述的一种撕、贴膜装置，其特征在于，所述料带从动辊组件包括，设于清洁底板上的料带从动辊气缸，下端与料带从动辊气缸输出轴转动连接的料带从动辊连杆，垂直设于安装立板前表面且与料带从动辊连杆活动连接的料带连杆转轴，设于料带从动辊连杆上端且与料带收料主动辊平行的料带收料从动辊；所述清洁辊组件包括，设于安装立板其中一侧边缘的安装侧板，设于安装侧板上的下压气缸，设于安装侧板上且与下压气缸输出轴相连接的下压滑块，固设于安装侧板上且与下压滑块活动连接的下压滑轨，与下压滑块固定连接的清洁辊支架，设于清洁辊下端的清洁辊。10.如权利要求7所述的一种撕、贴膜装置，其特征在于，还包括张紧调...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄招凤，陈罡彪，王永义，
申请(专利权)人：深圳市易天半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：