化学制剂自动供应装置的公接头保持部制造方法及图纸

本发明专利技术涉及化学制剂自动供应装置的公接头保持部，在供应化学制剂之前通过夹持保持器及支撑片加压公接头的颈部区域，以对准公接头(Alignment)，进而可与母接头准确紧固。进而可与母接头准确紧固。进而可与母接头准确紧固。

【技术实现步骤摘要】
化学制剂自动供应装置的公接头保持部


[0001]本专利技术涉及化学制剂自动供应装置的公接头保持部，尤其是，涉及对准(Alignment)公接头以与母接头准确且精确地安装的化学制剂自动供应装置的公接头保持部。

技术介绍

[0002]通常，制造半导体、半导体装置、LCD、OLED的公司、制药公司及油漆公司等，使用有害化学物质的所有公司正在使用各种种类的化学制剂，而且安全供应这种化学制剂的方式也正在变得多种多样。
[0003]这种化学制剂通过如下的方式输送：从停在建筑外部的液罐车(tank lorry)的化学制剂槽罐向设置在建筑内部的化学制剂储罐(chemical storage tank)输送化学制剂，之后从化学制剂储罐向进行单位工艺的腔室输送。另外，与此相反地，也存在从化学制剂槽罐向液罐车输送化学制剂的情况。
[0004]目前，名为ACQC单元(Automatic Clean Quick Coupler Unit)的化学制剂自动供应装置已经上市并且正在使用。在此，化学制剂储罐通常放在建筑物内部，ACQC单元在位于建筑物外部的液罐车的化学制剂槽罐和位于建筑物内部的化学制剂储罐之间起到中继作用。具体地说，ACQC单元包括化学制剂用公接头保持部和化学制剂用母接头，通过运送工具(Transfer means)将化学制剂用公接头保持部移动至化学制剂用母接头，以使化学制剂用公接头可自动插入并紧固于母接头。因此，工作人员不会暴露在化学制剂中，可安全地供应化学制剂。
[0005]图1是说明通常的ACQC单元的侧面的图。图1说明了韩国专利公报(授权公报号：10
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1779493，化学制剂自动供应装置)。如图所示，化学制剂自动供应装置1000(ACQC单元)可包括：保持部100
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、外壳主体200、运送用外壳300、运送单元400及母接头500。
[0006]运送单元400的一侧端部可插入于形成在壁体600的开放部601。壁体600是指构成建筑物的墙壁，开放部601可构成为穿孔的形状，以使建筑物的外部和内部连通。
[0007]若工作人员将连接化学制剂用软管700的公接头20安装及固定在保持部100
’
，则通过运送单元400的驱动保持部100
’
向前方(Forward)移动，进而公接头20插入于母接头500。运送单元400由一个以上的平台(Stage)及驱动部(Driver)构成，可在平台上以前后方滑动保持部。
[0008]通常，氮气用软管800也与化学制剂用软管700一同连接于化学制剂自动供应装置1000，将氮气(N2)供应于液罐车，进而通过加压可加速化学制剂的供应。
[0009]图2是说明公接头及周边零部件的剖面的图。如图所示，公接头20可区分为插入于母接头的公接头的头部区域20
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1和通过缓冲凸缘(Buffer flange)紧固的公接头的颈部区域20
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2。缓冲凸缘30通过多个螺栓及螺母与软管凸缘40紧固，以使化学制剂通过与软管凸缘40连接的软管(未示出)及公接头的喷嘴向公接头外部排出。
[0010]然而，因为公接头本身的问题或者缓冲凸缘和软管凸缘之间的紧固上的问题，可
出现公接头的中心轴A(实线)和软管凸缘的中心轴B(虚线)不能保持一致的情况，因此公接头的中心轴和母接头的中心轴之间也不一致，导致公接头无法准确插入于母接头，不能顺利供应化学制剂，而且也可在公接头和母接头之间发生碰撞造成损坏，因此也可发生大型事故。如果，出现多个螺栓/螺母的紧固问题，则缓冲凸缘和软管凸缘之间的间隔距离(d、d')可发生变化(d≠d')。
[0011]图3是说明公接头的中心轴和软管凸缘的中心轴不一致的状态的图。图3的(a)部分是公接头向下侧下降的图；图3的(b)部分是公接头向上侧上升的图。如图3的(a)部分所示，公接头向下方下降(下沉)，公接头的中心轴A(实线)相比于软管凸缘的中心轴B(虚线)位于更下侧，并且公接头的中心轴(A)和软管凸缘的中心轴(B)形成θ程度的角度。
[0012]另一方面，为了防止化学制剂投放错误，在缓冲凸缘30的下部可具有第一键码块31，第一键码块31也可以是凸出的形状，如图所示也可以是凹陷的形状。第一键码块31可具有第一键码(未示出)。
[0013]另外，如图3的(b)部分所示，公接头向上方上升，进而公接头的中心轴A(实线)相比于软管凸缘的中心轴B(虚线)位于更上侧，并且公接头的中心轴(A)和软管凸缘的中心轴(B)形成ф程度的角度。
[0014]如此公接头的中心轴和软管凸缘的中心轴不一致的理由是因为公接头通常由容易变形的特氟龙(Teflon)材料构成。但是，公接头的一部分头部区域由不锈钢(Sus)材料覆盖，强度比较大，而颈部区域为特氟龙材料并且暴露在外部，因此在颈部区域经常发生弯曲。
[0015]另外，颈部区域比头部区域更细，因此也可存在因为长时间使用导致在颈部区域因为负载而发生变形的情况。另外，也存在因为掉落公接头或者受到外部冲击出现公接头本身形状变形的情况，以及在将缓冲凸缘与软管凸缘紧固时螺栓/螺母的螺纹紧固不良导致软管凸缘和缓冲凸缘之间的间隔无法保持水平也可出现该问题。除此之外，在紧固缓冲凸缘和软管凸缘时，用过大的力紧固某一侧的情况下，也可出现一侧特氟龙面受到挤压出现该颈部区域被拉伸变形的情况。从而，有必要导入解决这种问题的单独的结构。

技术实现思路

[0016](要解决的问题)
[0017]本专利技术的目的在于，对准公接头，使公接头的中心轴和软管凸缘的中心轴保持一致，最终使公接头和母接头准确紧固。
[0018](解决问题的手段)
[0019]一种化学制剂自动供应装置的公接头保持部，为了连接化学制剂槽罐和化学制剂储罐之间以从某一侧向另一侧供应化学制剂，在安装与缓冲凸缘结合的公接头的状态下通过运送单元以前后方向运送公接头，以使公接头与化学制剂储罐侧的母接头连接，包括：
[0020]支撑板；
[0021]下部夹持保持器，固定在支撑板；及
[0022]下部支撑片，上侧端部接触公接头的颈部区域的下部支撑片；
[0023]进而，可对准公接头。
[0024]另外，在所述化学制剂自动供应装置的公接头保持部中，还包括：
[0025]支撑板；
[0026]下部支撑片，上侧端部接触公接头；及
[0027]下部缓冲部件，连接支撑板和下部支撑片以缓冲前方碰撞，
[0028]进而可对准公接头。
[0029](专利技术的效果)
[0030]为使本专利技术的公接头的中心轴和软管凸缘的中心轴保持一致，可对准公接头，因此最终可使公接头和母接头准确紧固，进而可顺利执行化学制剂的供应。另外，可防止化学制剂自动供应装置故障，并谋求工作人员的安全。
[0031]另外，一同达成公接头保持部的前方缓冲和公接头的颈部区域的对准，因此在防止化学制剂自动供应装置故障的同时可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学制剂自动供应装置的公接头保持部，为了连接化学制剂槽罐和化学制剂储罐之间以从某一侧向另一侧供应化学制剂，在安装与缓冲凸缘结合的公接头的状态下通过运送单元以前后方向运送公接头，以使公接头与母接头连接，所述化学制剂自动供应装置的公接头保持部包括：支撑板；下部夹持保持器，固定在支撑板；及下部支撑片，上侧端部接触公接头的颈部区域。2.根据权利要求1所述的化学制剂自动供应装置的公接头保持部，其特征在于，还包括：上部夹持保持器，配置在下部夹持保持器上；及上部支撑片，配置在下部支撑片的上部，并且固定并紧固于上部夹持保持器，以接触并加压公接头的颈部区域。3.根据权利要求1所述的化学制剂自动供应装置的公接头保持部，其特征在于，下部夹持保持器区分为下侧端部分别固定并紧固于支撑板的两侧面区域的第一下部夹持保持器及第二下部夹持保持器。4.根据权利要求1所述的化学制剂自动供应装置的公接头保持部，其特征在于，上部夹持保持器的一侧端部铰链紧固于第一下部夹持保持器的另一侧端部，而另一侧端部拆装于第二下部夹持保持器。5.根据权利要求1所述的化学制剂自动供应装置的公接头保持部，其特征在于，为了防止化学制剂错误投放，与配置在所述缓冲凸缘下部的第一键码相对应的第二键码配置在支撑板的上部。6.根据权利要求5所述的化学制剂自动供应装置的公接头保持部，其特征在于，在所述第二键码与第一键码紧固的情况下，具有在第一键码及第二键码的前方及后方之间形成空白的空间的结构。7.根据权利要求2所述的化学制剂自动供应装置的公接头保持部，其特征在于，公接头的颈部区域区分为位于前方的公接头的前方颈部区域和位于后方的公接头的后方颈部区域；所述下部支撑片及上部支撑片接触于公接头的前方颈部区域。8.一种化学制剂自动供应装置的公接头保持部，为了连接化学制剂槽罐和化学制剂储罐之间以从某一侧向另一侧供应化学制剂，在安装与缓冲凸缘结合的公接头的状态下通过运送单元以前后方向运送公接头，以使公接头与母接头连接，所述化学制剂自动供应装置的公接头保持部包括：支撑板；下部支撑片，固定在支...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋勇益，李俊雨，李晋宇，
申请(专利权)人：系统科枝公司，
类型：发明
国别省市：