转轮的隔间密封装置制造方法及图纸

一种转轮的隔间密封装置，主要包括有一转轮装置及两个隔间密封装置，该转轮装置由一框体及一转轮所组成，而该两个隔间密封装置分别装设于该框体一面的脱附区进入隔间内及该框体另一面的脱附区脱出隔间内，且通过将轮面隔间密封结构及隔间密封结构各自分为多段，以方便通过维修孔来送入该脱附区进入隔间内或该脱附区脱出隔间内进行组装，并于每段的轮面隔间密封结构上结合一高温轮面密封结构，及每段周边隔间密封结构上结合一高温周边密封结构，使其具有能进行高温脱附的功能。使其具有能进行高温脱附的功能。使其具有能进行高温脱附的功能。

Compartment sealing device of runner

【技术实现步骤摘要】
转轮的隔间密封装置


[0001]本技术涉及一种转轮的隔间密封装置，特别涉及一种具有能进行高温脱附的效果，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的转轮装置或是类似设备。

技术介绍

[0002]现有在半导体产业、光电产业或化学相关产业中所使用的转轮装置大部份都设有两个隔间区域或是三个隔间区域，而不管是两个隔间区域或是三个隔间区域的设计，其中一个隔间区域必是用来进行脱附使用，且用来进行脱附使用的温度大都是介于正常的180℃至220℃之间。
[0003]而转轮装置在使用一段时间后，常有高沸点物质不易脱附而残留于转轮上，使得转轮的使用效能降低，因此，就需要提高脱附的温度来达到将高沸点物质进行脱除。
[0004]但是，现用的转轮装置的隔间区域的密封结构设计无法耐受超过240℃以上的温度，尤其是如果该隔间区域的脱附温度要提升到240℃至300℃之间的话，该隔间区域内的密封结构就容易出现毁损或是破损，使得无法进行高温脱附。
[0005]因此，有鉴于上述缺失，希望能提出一种具有能进行高温脱附效果的转轮的隔间密封装置，令使用者可轻易操作组装，潜心研思、设计组制，以提供使用者便利性，为本技术所欲研发的创作动机。

技术实现思路

[0006]本技术的主要目的，在于提供一种转轮的隔间密封装置，主要包括有一转轮装置及两个隔间密封装置，该转轮装置由一框体及一转轮所组成，而该两个隔间密封装置分别装设于该框体一面的脱附区进入隔间内及该框体另一面的脱附区脱出隔间内，且通过将该轮面隔间密封结构及该隔间密封结构各自分为多段，以方便通过维修孔来送入该脱附区进入隔间内或该脱附区脱出隔间内进行组装，并于每段轮面隔间密封结构上结合一高温轮面密封结构，及每段周边隔间密封结构上结合一高温周边密封结构，使具有能进行高温脱附的效果，进而增加整体的实用性。
[0007]本技术的另一目的，在于提供一种转轮的隔间密封装置，其中每段轮面隔间密封结构上所结合的高温轮面密封结构在组装时，能让每段轮面隔间密封结构的高温轮面密封结构互相紧靠以形成密封状态，而该高温轮面密封结构由一第一板体、一第一固定框、一第一片体、一第二片体及至少两个轮面螺件所组成，该第一片体设于该第一板体与该第一固定框之间，而该第二片体设于该第一固定框的另一侧，且该轮面螺件分别穿设该第一板体、第一片体、第一固定框及第二片体后，锁合固定于每段轮面隔间密封结构的第一固定板上，而该第一固定板紧靠于每段轮面隔间密封结构的壳板的一侧上，并通过该高温轮面密封结构的第一片体及第二片体来抵向该转轮的轮面处，并留有微小间隙但不接触该转轮的轮面，让每段轮面隔间密封结构能通过该高温轮面密封结构来具有耐受高温的能力，进而增加整体的保护性。
[0008]本技术的另一目的，在于提供一种转轮的隔间密封装置，其中每段周边隔间密封结构上所结合的高温周边密封结构在组装时，能让每段周边隔间密封结构的高温周边密封结构互相紧靠以形成密封状态，而该高温周边密封结构由一板体、一固定框、一第一夹板、一第二夹板、一第一片体、一第三夹板、一第四夹板、一第二片体及至少两个周边螺件所组成，该第一片体设于该第一夹板与第二夹板之间，而该第二片体设于该第三夹板及第四夹板之间，且该板体设于该第一夹板的一侧，另该固定框设于该第二夹板与该第三夹板之间，且该周边螺件分别穿设该板体、第一夹板、第一片体、第二夹板、固定框、第三夹板、第二片体及第四夹板后，锁合固定于每段周边隔间密封结构的第三固定板上，而该第三固定板紧靠于每段周边隔间密封结构的外壳板的一侧上，并通过该高温周边密封结构的第一片体及第二片体来抵向该转轮的轮面处，并留有微小间隙但不接触该转轮的轮面，让每段周边隔间密封结构能通过该高温周边密封结构来具有耐受高温的能力，进而增加整体的使用性。
[0009]为了能够更进一步了解本技术的特征、特点和
技术实现思路
，请参阅以下有关本技术的详细说明与附图，附图仅提供参考与说明，非用于限制本技术。
附图说明
[0010]图1为本技术转轮装置的立体示意图；
[0011]图2为本技术框体的另一面具有脱附区脱出隔间的平面示意图；
[0012]图3为本技术框体的一面具有脱附区进入隔间的平面示意图；
[0013]图4为本技术隔间密封装置的轮面隔间密封结构的立体示意图；
[0014]图5为本技术隔间密封装置的轮面隔间密封结构的侧面示意图；
[0015]图6为本技术隔间密封装置的周边隔间密封结构的立体示意图；
[0016]图7为本技术隔间密封装置的周边隔间密封结构的侧面示意图。
[0017]【附图标记】
[0018]10：转轮装置；11：框体；12：转轮；121：轮面；131：脱附区进入隔间；132：脱附区脱出隔间；141：冷却区输出隔间；142：冷却区进入隔间；20：隔间密封装置；21：轮面隔间密封结构；211：壳板；212：第一夹固板；213：第一固定板；214：第二夹固板；215：第二固定板；216：第二固定框；217：轮面橡胶体；218：第二贴板；22：周边隔间密封结构； 221：外壳板；222：第三固定板；223：第三夹固板；224：内壳板；225：第四固定板；226：第四夹固板；227：周边橡胶体；30：高温轮面密封结构；31：第一板体；32：第一固定框；33：第一片体；34：第二片体；40：高温周边密封结构；41：板体；42：固定框；43：第一夹板；44：第二夹板；45：第三片体；46：第三夹板；47：第四夹板；48：第四片体；501：第一夹固螺件；502：第二夹固螺件；503：第三夹固螺件；504：第四夹固螺件；505：第五夹固螺件；61：轮面螺件；62：周边螺件；70：角钢。
具体实施方式
[0019]请参阅图1至图7，为本技术实施例的示意图。而本技术的转轮的隔间密封装置的最佳实施方式是运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的转轮装置10或是类似设备，以具有能进行高温脱附的效果。
[0020]而本技术的转轮的隔间密封装置，主要包括有一转轮装置10及两个隔间密封
装置20(如图1至图3所示)，该转轮装置10由一框体11 及一转轮12所组成，其中该转轮12为沸石转轮或是其他材质的转轮。另该转轮12设于该框体11内，该框体11设有两面，且该框体11的两面分别各设有上半框体及下半框体(图未示)，而该框体11的一面设有一脱附区进入隔间131(如图3所示)，其中该脱附区进入隔间131位于上半框体，另该框体11的另一面设有一脱附区脱出隔间132(如图1及图2所示)，其中该脱附区脱出隔间132位于上半框体。而上述框体11的一面除了脱附区进入隔间131外，还设有一冷却区输出隔间141(如图3所示)及一吸附区输出隔间，其中该吸附区输出隔间位于该下板框体(图未示)，且该框体11的另一面除了脱附区脱出隔间132外，还设有一冷却区进入隔间142(如图1及图2所示)及一吸附区进入隔间，其中该吸附区进入隔间位于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种转轮的隔间密封装置，其特征在于，其包括：转轮装置，该转轮装置由框体及转轮所组成，该转轮设于该框体内，该框体设有两面，该框体的一面设有脱附区进入隔间，该框体的另一面设有脱附区脱出隔间；以及两个隔间密封装置，该两个隔间密封装置分别装设于该框体一面的脱附区进入隔间内及该框体另一面的脱附区脱出隔间内，该隔间密封装置由轮面隔间密封结构及周边隔间密封结构所组合而成，该轮面隔间密封结构及该周边隔间密封结构各自分为多段，而每段轮面隔间密封结构结合高温轮面密封结构，及每段周边隔间密封结构结合高温周边密封结构。2.根据权利要求1所述的转轮的隔间密封装置，其特征在于，每段轮面隔间密封结构进一步由壳板、第一夹固板、第一固定板、第二夹固板、第二固定板、第二固定框、轮面橡胶体、第二贴板、至少两个第一夹固螺件及至少两个第二夹固螺件所组成，该第一固定板及第一夹固板设于该壳板的一侧，该第一夹固板的一侧压合该第一固定板的一侧，该第一夹固板的另一侧弯折抵靠于该壳板的一侧上，该第一夹固螺件穿设过第一夹固板与壳板的一侧，以进行锁合固定，该第二固定板及第二夹固板设于该壳板的另一侧，该第二夹固板的一侧压合该第二固定板的一侧，该第二夹固板的另一侧弯折抵靠于该壳板的另一侧上，该第二夹固螺件穿设过第二夹固板与壳板的另一侧，以进行锁合固定，该第二固定框由该轮面橡胶体包覆其三面，该第二固定框一侧的轮面橡胶体贴附于该第二固定板上，该第二固定框另一侧的轮面橡胶体贴附于该第二贴板上。3.根据权利要求1所述的转轮的隔间密封装置，其特征在于，该高温轮面密封结构进一步由第一板体、第一固定框、第一片体、第二片体及至少两个轮面螺件所组成，该第一片体设于该第一板体与该第一固定框之间，该第二片体设于该第一固定框的另一侧，该螺件分别穿设该第一板体、第一片体、第一固定框及第二片体，以进行锁合固定。4.根据权利要求3所述的转轮的隔间密封装置，其特征在于，该高温...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑石治，扶亚民，林义洋，
申请(专利权)人：华懋科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：