一种分子泵的动叶列组及分子泵制造技术

本实用新型专利技术提供的一种分子泵的动叶列组及分子泵，属于分子泵技术领域，分子泵的动叶列组包括：第一叶列，至少具有一层；所述第一叶列包括第一中心圆盘和多个围绕所述第一中心圆盘周向设置的第一叶齿；所述第一叶齿的齿面为扭曲面；第二叶列，至少具有一层；所述第二叶齿的齿面为直面；本实用新型专利技术的分子泵的动叶列组，通过将第一叶列的齿面设置为扭曲面，可以实现增加沿第一圆盘中心的周向设置第一叶齿的数量，加大叶齿的倾角，加大节弦比，增加叶齿的表面积，达到提高叶列组的抽速；同时，所述第二叶列的第二叶齿的齿面仍设置为直面，有效的保证了加工制造成本。保证了加工制造成本。保证了加工制造成本。

【技术实现步骤摘要】
一种分子泵的动叶列组及分子泵


[0001]本技术涉及分子泵
，具体涉及一种分子泵的动叶列组及分子泵。

技术介绍

[0002]分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
[0003]其中，动叶列组是分子泵最核心的部件，动叶列组是由多层叶列组成；在现有技术中，每组动叶列的结构基本不相同，从而前段获得较大的抽速和后端获得较大的压缩比。

技术实现思路

[0004]因此，本技术提供了一种提高分子泵整体前段获得较大抽速和后端获得较大的压缩比的分子泵的动叶列组。
[0005]本技术还提供一种分子泵。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供的一种分子泵的动叶列组，包括：
[0007]第一叶列，至少具有一层；所述第一叶列包括第一中心圆盘和多个围绕所述第一中心圆盘周向设置的第一叶齿；所述第一叶齿的齿面为扭曲面；
[0008]第二叶列，至少具有一层；包括第二中心圆盘和围绕所述第二中心圆盘周向设置的第二叶齿；所述第二叶齿的齿面为直面。
[0009]作为优选方案，所述第一叶齿的齿顶的中心线与水平面所成的锐角夹角为α，α的范围为25
°‑
35
°
；所述第一叶齿的齿根的中心线与水平面所成的锐角夹角为β，β的范围为45
°‑
55
°
。
[0010]作为优选方案，所述第一叶齿的齿顶的中心线与水平面所成的锐角夹角为α，α为30/>°
；所述第一叶齿的齿根的中心线与水平面所成的锐角夹角为β，β为50
°
。
[0011]作为优选方案，所述第二叶齿的齿顶的中心线和水平面所成的锐角夹角与齿根的中心线和水平面所成的锐角夹角均为γ，γ的范围为30
°‑
40
°
。
[0012]作为优选方案，所述第一中心圆盘与所述第一叶齿一体成型。
[0013]作为优选方案，所述第二中心圆盘与所述第二叶齿一体成型。
[0014]作为优选方案，所述第一叶列具有一层，所述第二叶列具有多层。
[0015]本技术还提供一种分子泵，包括上述中任一项所述的分子泵的动叶列组。
[0016]本技术技术方案，具有如下优点：
[0017]1.本技术提供的分子泵的动叶列组，包括第一叶列和第二叶列；通过将第一叶列的齿面设置为扭曲面，可以实现增加沿第一圆盘中心的周向设置第一叶齿的数量，加大叶齿的倾角，加大节弦比，增加叶齿的表面积，达到提高叶列组的抽速；同时，所述第二叶列的第二叶齿的齿面仍设置为直面，有效的保证了加工制造成本；
[0018]综上所述，将第一叶列和第二叶列配合安装，在保证加工成本的同时保证了加大抽速。
[0019]2.本技术提供的分子泵的动叶列组，第一中心圆盘与所述第一叶齿、第二中心圆盘与第二叶齿均为一体成型生产，避免了装配的问题。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术的分子泵的动叶列组的第一角度的立体结构示意图。
[0022]图2为本技术的第一叶列的立体结构示意图。
[0023]图3为本技术的分子泵的动叶列组的第二角度的立体结构示意图。
[0024]图4为本技术的第一叶齿的立体结构示意图。
[0025]图5为本技术的第一叶齿的齿跟、齿顶与水平线的角度结构示意图。
[0026]图6为本技术的第二叶齿的齿跟、齿顶与水平线的角度结构示意图。
[0027]附图标记说明：
[0028]1、第一叶列；2、第二叶列；3、第一叶齿；4、第一中心圆盘；5、第二叶齿；6、第二中心圆盘；7、齿根；8、齿顶；9、齿面。
具体实施方式
[0029]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0031]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0032]此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0033]实施例1
[0034]本实施例提供的一种分子泵的动叶列组，如图1所示，包括第一叶列1和第二叶列2；所述第一叶列1设置在泵入口的一端，第二叶列2设置在远离所述泵入口的一端；所述第一叶列1至少具有一层；如图2所示，所述第一叶列1包括第一中心圆盘4和围绕所述第一中心圆盘4周向设置的第一叶齿3，所述第一叶齿3的齿面9为扭曲面；
[0035]如图3所示，所述第二叶列2至少具有一层，所述第二叶列2包括第二中心圆盘6和围绕所述第二中心圆盘6周向设置的第二叶齿5，所述第二叶齿5的齿面9为直面。
[0036]通过将第一叶齿3的齿面9设置为扭曲面，可以增多第一叶齿3的设置数量，加大叶齿的倾角，加大节弦比，增加叶齿的表面积，达到提高叶列组的抽速；而将第二叶齿5的齿面9仍设置为直面，可以有效的保证了加工制造成本。综上所述，将第一叶列1和第二叶列2配合安装，在保证加工成本的同时保证了加大抽速。
[0037]如图4所示，叶齿一般为矩形块，一个端面与中心圆盘连接，称为齿根7，远离中心圆盘的端面称为齿顶8，齿根7和齿顶8之间的面积最大的面称为齿面9。
[0038]如图5所示，我们将第一叶列1的第一叶齿3的齿面9设置成扭曲面，即第一叶齿3的齿顶8的中心线与水平面所成的锐角夹角α，第一叶齿3的齿根7的中心线与水平面所成的锐角夹角为β，α和β的数值不同；在本方案中，α的范围为25
°‑
35
°
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分子泵的动叶列组，其特征在于，包括：第一叶列(1)，至少具有一层；所述第一叶列(1)包括第一中心圆盘(4)和多个围绕所述第一中心圆盘(4)周向设置的第一叶齿(3)；所述第一叶齿(3)的齿面(9)为扭曲面；第二叶列(2)，至少具有一层；包括第二中心圆盘(6)和围绕所述第二中心圆盘(6)周向设置的第二叶齿(5)；所述第二叶齿(5)的齿面(9)为直面。2.根据权利要求1所述的分子泵的动叶列组，其特征在于，所述第一叶齿(3)的齿顶(8)的中心线与水平面所成的锐角夹角为α，α的范围为25
°‑
35
°
；所述第一叶齿(3)的齿根(7)的中心线与水平面所成的锐角夹角为β，β的范围为45
°‑
55
°
。3.根据权利要求2所述的分子泵的动叶列组，其特征在于，所述第一叶齿(3)的齿顶(8)的中心线与水平面所成的锐角夹角为α，α为30
°
；所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓高飞，张鹏，王浩为，罗守庚，
申请(专利权)人：北京中科九微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：