本实用新型专利技术公开了基于半导体晶圆清洗用夹持装置，涉及半导体夹持装置技术领域，解决了现有夹持装置大都需为拦截组件额外配套开关或者松紧的驱动马达，不利于装置整体减重并减低造价的问题。基于半导体晶圆清洗用夹持装置，包括安装架；所述安装架整体由左右两处竖撑吊杆、焊接固定于两处竖撑吊杆顶端的固定板以及对称焊接于两处竖撑吊杆底部的定位框共同组成，其中两处竖撑吊杆上滑动安装有一处滑动杆，且固定板的中间段底部锁紧吊装有一处气缸，气缸伸缩杆的底部段与滑动杆的中间段贯穿锁紧连接。本实用的两处拦杆可对向内滑挡栏于被夹持晶圆的底部对在转移过程中滑落掉出的晶圆片进行拦截，对晶圆片进行较好的防坠落保护。护。护。
【技术实现步骤摘要】
基于半导体晶圆清洗用夹持装置
[0001]本技术涉及半导体夹持装置
，具体为基于半导体晶圆清洗用夹持装置。
技术介绍
[0002]在半导体制造工艺中，通常需要对晶圆表面进行清洗，以去除晶圆表面上的杂质(例如有机物或颗粒物)，在清洗过程中需要用到对晶圆片进行转移的夹持装置。
[0003]现有的夹持装置大多缺少对晶圆的辅助拦截组件，造成晶圆在转移过程中不慎掉落时直接撞击于设备或者地面上易被损毁，致使对晶圆的防坠保护效果较差，且虽然有些装置配备有防坠拦截组件，但是大都需为拦截组件额外配套开关或者松紧的驱动马达，不利于装置整体减重并减低造价。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供基于半导体晶圆清洗用夹持装置，以解决上述
技术介绍
中提出大都需为拦截组件额外配套开关或者松紧的驱动马达，不利于装置整体减重并减低造价的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：基于半导体晶圆清洗用夹持装置，包括安装架；所述安装架包括固定板和定位框，所述安装架整体由左右两处竖撑吊杆、焊接固定于两处竖撑吊杆顶端的固定板以及对称焊接于两处竖撑吊杆底部的定位框共同组成，其中两处竖撑吊杆上滑动安装有一处滑动杆，且固定板的中间段底部锁紧吊装有一处气缸，气缸伸缩杆的底部段与滑动杆的中间段贯穿锁紧连接；两处所述定位框整体由三处纵向轨道轴和左右两处竖撑支杆共同焊接组成，且两处定位框最底侧的两处纵向轨道轴上对称滑动套装有两处拦杆。
[0006]优选的，所述滑动杆的左右两端对向转动连接有四处连杆，四处连杆呈左右两两一组，且两组连杆均呈人字形支撑布设。
[0007]优选的，四处所述连杆的尾端段之间对称转动连接有两处夹板，两处夹板的左右两端均焊接有一处耳板，四处耳板对应与两处定位框的中间纵向轨道轴滑动配合。
[0008]优选的，两处所述定位框底部纵向轨道轴的中间段上对称转动安装有两处驱动部件，两处驱动部件由一大一小两处齿轮共同焊接组成。
[0009]优选的，所述滑动杆的左右两端对称焊接有两处L状齿条，两处L状齿条对应与两处驱动部件上的小直径齿轮啮合传动。
[0010]优选的，两处所述拦杆的左右两端对称向上焊接有两处竖向滑杆，四处竖向滑杆上呈上下对应水平焊接有四处纵向齿条。
[0011]优选的，所述驱动部件上两处齿轮的直径比为3∶1，且两处驱动部件的两处大直径齿轮对应与四处纵向齿条啮合传动。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本实用，通过两处L状齿条，滑动杆在上下滑动驱使两处夹板对向滑移松紧时还可联动啮合驱使两处驱动部件正反旋转为两处拦杆提供内外滑移的驱动力，这省去额外为两处拦杆配套内外滑移开关的驱动马达，有助于夹持装置整体减重并降低造价和功耗；
[0014]2、本实用，两处拦杆可对向内滑挡栏于被夹持晶圆的底部对在转移过程中滑落掉出的晶圆片进行拦截，避免不慎掉落的晶圆直接于摔落于地面或者设备上被撞击损毁，能够对晶圆片进行较好的防坠落保护；
[0015]3、本实用，由于驱动部件上两处齿轮的直径比为：，进而L状齿条通过与两处小直径齿轮啮合传动可有效对两处大直径齿轮进行提速，增大两处大直径齿轮的摆转幅度，增大四处纵向齿条以及两处拦杆的滑动行程，使L状齿条能够以较小的滑动幅度驱使两处拦杆进行大行程滑动，相较于直接将两处拦杆与两处夹板连接传动可有效缩减两处夹板的滑动行程，有助于缩减整个装置的体积。
附图说明
[0016]图1为本技术使用状态示意图；
[0017]图2为本技术整体结构示意图；
[0018]图3为本技术安装架结构示意图；
[0019]图4为本技术滑动杆结构示意图；
[0020]图5为本技术驱动部件结构示意图。
[0021]图中：1、安装架；101、固定板；102、定位框；2、气缸；3、滑动杆；301、连杆；302、L状齿条；303、夹板；4、拦杆；401、纵向齿条；5、驱动部件。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0023]请参阅图1至图5，本技术提供的一种实施例：基于半导体晶圆清洗用夹持装置，包括安装架1；安装架1包括固定板101和定位框102，安装架1整体由左右两处竖撑吊杆、焊接固定于两处竖撑吊杆顶端的固定板101以及对称焊接于两处竖撑吊杆底部的定位框102共同组成，其中两处竖撑吊杆上滑动安装有一处滑动杆3，且固定板101的中间段底部锁紧吊装有一处气缸2，气缸2伸缩杆的底部段与滑动杆3的中间段贯穿锁紧连接；两处定位框102整体由三处纵向轨道轴和左右两处竖撑支杆共同焊接组成，且两处定位框102最底侧的两处纵向轨道轴上对称滑动套装有两处拦杆4；四处连杆301的尾端段之间对称转动连接有两处夹板303，两处夹板303的左右两端均焊接有一处耳板，四处耳板对应与两处定位框102的中间纵向轨道轴滑动配合；滑动杆3的左右两端对向转动连接有四处连杆301，四处连杆301呈左右两两一组，且两组连杆301均呈人字形支撑布设，滑动杆3、四处连杆301以及两处夹板303共同连接组成了一处曲柄滑块机构，通过此机构上下滑移滑动杆3可驱使两处夹板303对向滑动对待加工的晶圆片进行压紧夹持或卸力松脱。
[0024]进一步，两处定位框102底部纵向轨道轴的中间段上对称转动安装有两处驱动部件5，两处驱动部件5由一大一小两处齿轮共同焊接组成，两处驱动部件5可正反转动啮合驱
使四处纵向齿条401以及两处拦杆4对向滑移开关；滑动杆3的左右两端对称焊接有两处L状齿条302，两处L状齿条302对应与两处驱动部件5上的小直径齿轮啮合传动，通过两处L状齿条302，滑动杆3在上下滑动驱使两处夹板303对向滑移松紧时还可联动啮合驱使两处驱动部件5正反旋转为两处拦杆4提供内外滑移的驱动力，这省去额外为两处拦杆4配套内外滑移开关的驱动马达，有助于夹持装置整体减重并降低造价和功耗。
[0025]进一步，两处拦杆4的左右两端对称向上焊接有两处竖向滑杆，四处竖向滑杆上呈上下对应水平焊接有四处纵向齿条401，两处拦杆4可对向内滑挡栏于被夹持晶圆的底部对在转移过程中滑落掉出的晶圆片进行拦截，避免不慎掉落的晶圆直接于摔落于地面或者设备上被撞击损毁，能够对晶圆片进行较好的防坠落保护。
[0026]进一步，驱动部件5上两处齿轮的直径比为3∶1，且两处驱动部件5的两处大直径齿轮对应与四处纵向齿条401啮合传动，由于驱动部件5上两处齿轮的直径比为3∶1，进而L状齿条302通过与两处小直径齿轮啮合传动可有效对两处大直径齿轮进行提速，增大两处大直径齿轮的摆转幅度，增大四处纵向齿条401以及两处拦杆4的滑动行程，使L状齿条302能够以较小的滑动幅度驱使两处拦杆4进行大行程滑动，相较于直接将两处拦杆4与两处夹板3本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.基于半导体晶圆清洗用夹持装置，其特征在于：清洗用夹持装置，包括安装架(1)；所述安装架(1)包括固定板(101)和定位框(102)，所述安装架(1)整体由左右两处竖撑吊杆、焊接固定于两处竖撑吊杆顶端的固定板(101)以及对称焊接于两处竖撑吊杆底部的定位框(102)共同组成，其中两处竖撑吊杆上滑动安装有一处滑动杆(3)，且固定板(101)的中间段底部锁紧吊装有一处气缸(2)，气缸(2)伸缩杆的底部段与滑动杆(3)的中间段贯穿锁紧连接；两处所述定位框(102)整体由三处纵向轨道轴和左右两处竖撑支杆共同焊接组成，且两处定位框(102)最底侧的两处纵向轨道轴上对称滑动套装有两处拦杆(4)。2.根据权利要求1所述的基于半导体晶圆清洗用夹持装置，其特征在于：所述滑动杆(3)的左右两端对向转动连接有四处连杆(301)，四处连杆(301)呈左右两两一组，且两组连杆(301)均呈人字形支撑布设。3.根据权利要求2所述的基于半导体晶圆清洗用夹持装置，其特征在于：四处所述连杆(301)的尾端段之间对称转动连...
【专利技术属性】
技术研发人员：程玉学，杨雪梅，
申请(专利权)人：三河市致欣科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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