【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片退火冷却车
[0001]本技术涉及一种退火冷却装置，更具体的说涉及一种单晶硅片退火冷却车，属于单晶炉所用配件
技术介绍
[0002]目前，单晶硅片高温退货的目的是显示真实的电阻，这就要求硅片在高温状态下迅速降温冷却，直拉单晶硅中的导带电子和价带空穴从高能态向低能态跃迁，同时释放出一定能量，使漂移的载流子进行复合；同时直拉单晶硅中的氧会转化为氧施主，这个迅速降温的过程可以使氧施主返回到间隙氧的状态，消除氧施主对电阻率测试的不良影响，对电阻率测量的正确性有着极其重要的作用，快速降温是直拉单晶硅退火最重要的步骤之一。在高温退货状态，硅片表面热量难以在较短时间内冷却，需要对硅片进行降温。传统设备中，多由人工取出载有硅片的载具并将之送风冷却，由效率低下、操作较难、降温慢、安全性差。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于针对现有技术中存在的上述问题，提供一种单晶硅片退火冷却车。
[0004]为实现上述目的，本技术的技术解决方案是：一种单晶硅片退火冷却车，包括车体，所述的车体上设置有若干硅片放置层，所述的硅片放置层高度与单晶硅片炉体的炉管高度一致，所述的硅片放置层上设置有与炉管对应的凹槽。
[0005]所述的车体顶部安装有风扇。
[0006]所述的车体底部安装有脚轮。
[0007]与现有技术相比较，本技术的有益效果是：
[0008]本技术方便出炉硅片拖拽至凹槽中，降温迅速，且待单晶硅片冷却后可随时运走物料；操作方便、简单，保证人员的安全和退火质量。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片退火冷却车，其特征在于：包括车体（1），所述的车体（1）上设置有若干硅片放置层（2），所述的硅片放置层（2）高度与单晶硅片炉体的炉管高度一致，所述的硅片放置层（2）上设置有与炉管对应的凹槽（3）...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛佳伟，王海军，薛佳勇，
申请(专利权)人：天津众晶半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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