适用于晶圆储存盒自动化存取的仓储柜制造技术

本实用新型专利技术公开了适用于晶圆储存盒自动化存取的仓储柜，包括主体支架，所述主体支架被多个分隔板上下分割成多层，在每层所述分隔板上均匀设置多个承载平台，所述承载平台包括支撑板、信息采集装置以及对位柱，所述支撑板上设有视觉标靶区、信息采集区以及至少三个对位柱安装孔，所述视觉标靶区与对位柱安装孔的相对位置不变，所述对位柱固定在所述对位柱安装孔上，所述信息采集装置安装在所述信息采集区；每个所述承载平台对应的分隔板上设有信息显示区，所述信息显示区显示信息由所述信息采集装置提供。本申请可同时实现对多个晶圆储存盒的存储，且固定稳定，便于取放，通过设置信息采集区和信息展示屏，可直观看到仓储柜各层的情况。情况。情况。

【技术实现步骤摘要】
适用于晶圆储存盒自动化存取的仓储柜


[0001]本技术涉及晶圆储存
，具体为适用于晶圆储存盒自动化存取的仓储柜。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，为了确保晶圆的安全储存、运输、搬运，广泛运用晶圆储存盒作为晶圆的承载工具，当晶圆储存盒需要集中存储时，需要可以同时放置多个晶圆存储盒的仓储柜，现有的仓储柜都是人工将晶圆存储盒进行取放，由于人为原因导致放置的高度以及数量有限，且自动化程度不高。

技术实现思路

[0003]为解决现有技术的不足，本申请提供了适用于晶圆储存盒自动化存取的仓储柜，包括主体支架，所述主体支架被多个分隔板上下分割成多层，在每层所述分隔板上均匀设置多个承载平台，所述承载平台包括支撑板、信息采集装置以及对位柱，所述支撑板上设有视觉标靶区、信息采集区以及至少三个对位柱安装孔，所述视觉标靶区与对位柱安装孔的相对位置不变，所述对位柱固定在所述对位柱安装孔上，所述信息采集装置安装在所述信息采集区；每个所述承载平台对应的分隔板上设有信息显示区，所述信息显示区显示信息由所述信息采集装置提供。
[0004]进一步的，所述信息采集装置为条码扫描器或RFID读取器，所述条码扫描器或RFID读取器均安装在所述支撑板下方，透过所述信息采集区读取货物信息。
[0005]进一步的，所述支撑板的每个所述对位柱安装孔一侧设有位置检测探头，用于检测晶圆储存盒是否放置到位。
[0006]进一步的，所述支撑板的中心位置设有红外检测探头，所述红外检测探头与所述信息显示区通信联动。
[0007]进一步的，所述主体支架顶部设有信息展示屏，所述信息展示屏与主体支架各层的所述信息采集装置通信相连。
[0008]进一步的，所述主体支架每层的两端以及其中一侧均设置档杆，防止物品脱落的同时减轻仓储柜整体重量。
[0009]进一步的，所述主体支架的底部设置多个支撑柱，所述支撑柱与所述主体支架活动连接以调节主体支架的高度，所述支撑柱上还设置接地压板。
[0010]进一步的，所述主体支架的底部还设置接地铁链。
[0011]本申请的有益之处在于：提供的适用于晶圆储存盒自动化存取的仓储柜可同时实现对多个晶圆储存盒的存储，且固定稳定，便于取放，通过设置信息采集区和信息展示屏，可直观看到仓储柜各层的情况，自动化程度较高。
附图说明
[0012]图1为适用于晶圆储存盒自动化存取的仓储柜一种实施例结构示意图；
[0013]图2为图1另一视角结构示意图；
[0014]图3位图1分隔板和承载平台结构示意图。
[0015]图中标记为：10、主体支架，11、分隔板，12、承载平台，13、支撑板，131、对位柱，14、位置检测探头，15、红外检测探头，16、信息展示屏，17、档杆，18、支撑柱，19、接地压板，20、晶圆储存盒，21、电控箱，22、接地铁链，23、信息显示区。
具体实施方式
[0016]下面将结合附图和具体实施例对本技术进一步详细说明。
[0017]参见图1
‑
3，本实施例提供了适用于晶圆储存盒自动化存取的仓储柜，包括主体支架10，主体支架10被两个分隔板11上下分割成三层，在每层分隔板11上均匀设置四个承载平台12，承载平台12包括支撑板13、信息采集装置以及对位柱131，支撑板上设有视觉标靶区、信息采集区以及至少三个对位柱安装孔，视觉标靶区与对位柱安装孔的相对位置不变，对位柱131固定在对位柱安装孔上，信息采集装置安装在信息采集区；每个承载平台对应的分隔板上设有信息显示区23，信息显示区23显示信息由信息采集装置提供。
[0018]具体而言，信息采集装置为条码扫描器或RFID读取器，条码扫描器或RFID读取器均安装在支撑板13下方，透过信息采集区读取货物信息。
[0019]进一步的，支撑板的每个对位柱安装孔一侧设有位置检测探头14，用于检测晶圆储存盒是否放置到位，在支撑板13的中心位置设有红外检测探头15，红外检测探头与信息显示区通信联动。
[0020]具体而言，主体支架10顶部设有信息展示屏16，信息展示屏16与主体支架各层的信息采集装置通信相连。
[0021]优选的，主体支架10每层的两端以及其中一侧均设置档杆17，另一侧由货物进出，防止物品脱落的同时减轻仓储柜整体重量。
[0022]具体而言，主体支架的底部设置多个支撑柱18，支撑柱18与主体支架活动连接以调节主体支架的高度，支撑柱18上还设置接地压板19用于对其进行固定，主体支架的底部还设置接地铁链22。
[0023]尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于晶圆储存盒自动化存取的仓储柜，包括主体支架，其特征在于：所述主体支架被多个分隔板上下分割成多层，在每层所述分隔板上均匀设置多个承载平台，所述承载平台包括支撑板、信息采集装置以及对位柱，所述支撑板上设有视觉标靶区、信息采集区以及至少三个对位柱安装孔，所述视觉标靶区与对位柱安装孔的相对位置不变，所述对位柱固定在所述对位柱安装孔上，所述信息采集装置安装在所述信息采集区；每个所述承载平台对应的分隔板上设有信息显示区，所述信息显示区显示信息由所述信息采集装置提供。2.根据权利要求1所述的适用于晶圆储存盒自动化存取的仓储柜，其特征在于：所述信息采集装置为条码扫描器或RFID读取器，所述条码扫描器或RFID读取器均安装在所述支撑板下方，透过所述信息采集区读取货物信息。3.根据权利要求1所述的适用于晶圆储存盒自动化存取的仓储柜，其特征在于：所述支撑板的每个所述对...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵颖，
申请(专利权)人：捷螺系统苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：