一种晶圆储存盒承载台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆储存盒承载台，包括支撑板，所述支撑板设置支撑座、定位块、定位柱和锁紧装置，所述支撑座包括多个且沿支撑板边缘周向设置，每个所述支撑座上设置挡块，所述定位块包括多个且设置在所述支撑板边部，所述定位柱也包括多个用于对应晶圆储存盒上的定位孔，所述锁紧装置设置在支撑板中部用于对放置后的晶圆储存盒进行固定锁紧；支撑板上还设置有信息采集装置用于读取晶圆储存盒信息。本申请结构简单，可准确且快速的放置晶圆储存盒，通过锁紧装置对其进行固定，防止脱落，通过防震缓冲柱防止放置过程中造成损害。通过防震缓冲柱防止放置过程中造成损害。通过防震缓冲柱防止放置过程中造成损害。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆储存盒承载台


[0001]本技术涉及晶圆储存
，具体为一种晶圆储存盒承载台。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，为了确保晶圆的安全储存、运输、搬运，广泛运用晶圆储存盒作为晶圆的承载工具，当晶圆储存盒需要运输转移时，通常会用到专用的承载台，现有的承载台由于对晶圆储存盒固定不稳定，且放置过程中由于机器原因会对晶圆储存盒造成一定的损伤。

技术实现思路

[0003]为解决现有技术的不足，本申请提供了一种晶圆储存盒承载台，包括支撑板，所述支撑板上设置支撑座、定位块、定位柱和锁紧装置，所述支撑座包括多个且沿支撑板边缘周向设置，每个所述支撑座上设置挡块，所述定位块包括多个且设置在所述支撑板边部，所述定位柱也包括多个用于对应晶圆储存盒上的定位孔，所述锁紧装置设置在支撑板中部用于对放置后的晶圆储存盒进行固定锁紧；支撑板上还设置有信息采集装置用于读取晶圆储存盒信息。
[0004]进一步的，所述支撑座上设置缓冲软垫，所述挡块设置在所述缓冲软垫上，防止货物脱落的同时，也防止其造成损伤。
[0005]进一步的，所述挡块呈L型设置且向所述支撑板内侧构成围挡，挡块上形成有导向部，便于货物的放置。
[0006]进一步的，所述锁紧装置包括旋转电磁阀、旋转固定头和锁紧板，所述旋转电磁阀设置在所述支撑板底部，所述旋转固定头的一端连接至旋转电磁阀输出端，所述锁紧板连接至旋转固定头另一端，所述锁紧装置还包括微动开关，所述微动开关设置在所述旋转固定头一侧的支撑板上，支撑板上开设弧形的限位槽，所述旋转固定头上设置限位部和锁紧部，所述限位部设置在所述限位槽内且可与所述微动开关触动连接，所述锁紧部上开设有锁紧槽，通过锁紧装置对放置后的货物进行锁紧。
[0007]进一步的，所述信息采集装置为条码扫描器或RFID读取器，所述条码扫描器或RFID读取器均设置在所述支撑板下方，且透过支撑板读取货物信息。
[0008]进一步的，所述支撑板上还设置位置检测传感器，用于检测货物的位置。
[0009]进一步的，所述支撑板上还设置多个防震缓冲柱，用于进一步保护晶圆储存盒不受损伤。
[0010]本申请的有益之处在于：提供的晶圆储存盒承载台结构简单，可准确且快速的放置晶圆储存盒，通过锁紧装置对其进行固定，防止脱落，通过防震缓冲柱防止放置过程中造成损害。
附图说明
[0011]图1为本申请晶圆储存盒承载台一种实施例结构示意图；
[0012]图2为图1另一视角结构示意图；
[0013]图3为图1锁紧装置结构示意图。
[0014]图中标记为：10、支撑板，11、支撑座，12、定位块，13、定位柱，14、锁紧装置，141、旋转电磁阀，142、安装板，143、旋转固定头，144、锁紧板，145、限位部，146、触碰部，147、微动开关，148、限位槽，15、缓冲软垫，16、挡块，161、导向部，17、信息采集装置，18、防震缓冲柱，19、位置检测传感器，20、线束固定座。
具体实施方式
[0015]下面将结合附图和具体实施例对本技术进一步详细说明。
[0016]参见图1
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3，本实施例提供了一种晶圆储存盒承载台，包括支撑板10，支撑板10上设置支撑座11、定位块12、定位柱13和锁紧装置14，支撑座11包括多个且沿支撑板10边缘周向设置，每个支撑座11上设置挡块16，定位块12包括多个且设置在支撑板边部，定位柱13也包括多个用于对应晶圆储存盒上的定位孔，锁紧装置14设置在支撑板中部用于对放置后的晶圆储存盒进行固定锁紧；支撑板上还设置有信息采集装置17用于读取晶圆储存盒信息。
[0017]优选的，支撑板10为矩形板，支撑座11包括四个分别设置在支撑板四个角，每个支撑座11上设置缓冲软垫15，挡块16设置在缓冲软垫15上，挡块呈L型设置且向支撑板内侧构成围挡，挡块16上形成有导向部161，导向部161沿挡块顶部倾斜向下设置，便于货物的放置；定位柱13和定位块12均设置三个，依据晶圆储存盒情况设置，定位块12上也设置有与挡块16上同样的导向结构。
[0018]具体而言，锁紧装置14包括旋转电磁阀141、旋转固定头143和锁紧板144，支撑板上开设安装口，安装口内设置安装板142，旋转电磁阀141设置在安装板142下方，旋转固定头143的一端连接至旋转电磁阀输出端，锁紧板144连接至旋转固定头143另一端与其构成T型锁，另外，安装板142上还设置微动开关147，安装板上开设弧形的限位槽148，旋转固定头143上设置限位部145和锁紧部144，限位部145设置在限位槽148内且可与微动开关147触动连接，锁紧部144上开设有锁紧槽用于锁紧晶圆储存盒上的圆柱。
[0019]具体而言，信息采集装置17为条码扫描器或RFID读取器，条码扫描器或RFID读取器均设置在支撑板10下方，且透过支撑板读取货物信息。
[0020]优选的，支撑板上还设置位置检测传感器19和防震缓冲柱18，位置检测传感器19用于检测货物的位置，防震缓冲柱18设置四个且采用硅胶材质用于进一步保护晶圆储存盒不受损伤，支撑板10的底部还设置多个线束固定座20用于固定连接各元器件的线束。
[0021]需要说明的是，支撑板10上的支撑座11、定位块12、定位柱13和锁紧装置14的位置以及数量均由晶圆储存盒的尺寸以及其上的定位孔数量和位置等情况确定。
[0022]工作原理：晶圆储存盒放置在承载台上方时，通过位置检测传感器19检测货物位置是否放置到位，接着通过定位块12、挡块16和定位柱13的导向放置在支撑板10上，接着旋转电磁阀141控制锁紧板144转动，再配合锁紧槽同时对其进行锁紧，限位部145与触动开关接触，完成锁紧动作。
[0023]尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来
说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆储存盒承载台，包括支撑板，其特征在于：所述支撑板上设置支撑座、定位块、定位柱和锁紧装置，所述支撑座包括多个且沿支撑板边缘周向设置，每个所述支撑座上设置挡块，所述定位块包括多个且设置在所述支撑板边部，所述定位柱也包括多个用于对应晶圆储存盒上的定位孔，所述锁紧装置设置在支撑板中部用于对放置后的晶圆储存盒进行固定锁紧；支撑板上还设置有信息采集装置用于读取晶圆储存盒信息。2.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒承载台，其特征在于：所述支撑座上设置缓冲软垫，所述挡块设置在所述缓冲软垫上。3.根据权利要求2所述的一种晶圆储存盒承载台，其特征在于：所述挡块呈L型设置且向所述支撑板内侧构成围挡，挡块上形成有导向部。4.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒承载台，其特征在于：所述锁紧装置包括旋转电磁阀、旋转固定头和锁紧板，所述旋转电磁阀设置在所述支...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵颖，
申请(专利权)人：捷螺系统苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：