一种晶圆台蓝膜张紧方法及调整机构技术

本发明专利技术提供一种晶圆台蓝膜张紧方法及调整机构。包括底板、设置在底板上方的转盘、设置在底板内的调整块、连接底板以及转盘的导轮、设置在转盘上方的张紧座、与张紧座可拆卸连接的晶圆夹组件、环绕在转盘外侧的同步带、以及设置在所述底板上的晶圆台旋转驱动组件、张紧轮组件、传感器组件、拉伸弹簧、张紧驱动组件、传感器推送组件和总光电开关；所述拉伸弹簧连接所述传感器推送组件和张紧驱动组件；本发明专利技术实现全自动张紧蓝膜和晶圆角度调整。在通过使用同步带的设计，再配合推顶组件以及传感器组件使晶圆台保持高精度；并且使用方便简单。并且使用方便简单。并且使用方便简单。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆台蓝膜张紧方法及调整机构


[0001]本专利技术涉及SMT电子元器件生产
，特别涉及一种晶圆台蓝膜张紧方法及调整机构。

技术介绍

[0002]在晶圆整体封装过程中，在整片的晶圆片的背面贴上蓝膜，后续需要对蓝膜进行处理，使蓝膜扩张。蓝膜扩张完毕后，还需旋转晶圆。因此需要一种能够使晶圆台既能旋转又能扩张的结构，现有技术中一般使用大型导轨，做上下移动的限位。但大型导轨的使用使晶圆台侧面加工不易，精度不容易保持；并且导轨的平行校正复杂，整体旋转与升降装置结构复杂，安装困难。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆台蓝膜张紧方法及调整机构。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种晶圆台蓝膜张紧调整机构，所述调整机构包括底板、设置在底板上方的转盘、设置在底板内的调整块、连接底板以及转盘的导轮、设置在转盘上方的张紧座、与张紧座可拆卸连接的晶圆夹组件、环绕在转盘外侧的同步带、以及设置在所述底板上的晶圆台旋转驱动组件、张紧轮组件、传感器组件、拉伸弹簧、张紧驱动组件、传感器推送组件和总光电开关；所述拉伸弹簧连接所述传感器推送组件和张紧驱动组件；所述同步带依次缠绕过晶圆台旋转驱动组件、张紧轮组件、传感器组件、张紧驱动组件、传感器推送组件和总光电开关。
[0005]较佳的，所述转盘上设有挡圈、同步轮、弹性锁紧组件以及圆弧轨道；所述转盘呈“工”字形；所述挡圈设置在所述转盘的上下两侧；所述同步轮可旋转设置在所述转盘的中部；所述弹性锁紧组件设置在所述转盘的一端上；所述圆弧轨道设置在所述转盘的内侧。
[0006]较佳的，所述晶圆夹组件包括晶圆夹张紧螺栓、基座、压环、圆环到位检测片以及限位检测片；所述基座的下部上还设有杠杆机构；所述圆环到位检测片设置在所述杠杆机构上；所述限位检测片设置在所述圆环到位检测片的后端上；所述晶圆夹张紧螺栓设置在所述基座的下端上；所述压环设置在所述基座的上端面上。
[0007]较佳的，所述传感器组件包括传感器支架、气缸、固定板、连接板以及上光电开关、下光电开关和检测光电开关组成；所述气缸的底面与所述传感器支架固定连接；所述气缸的活塞杆与所述连接板固定连接；所述连接板通过螺钉可拆卸连接在所述固定板的右端面上；所述上光电开关、下光电开关和检测光电开关可拆卸连接在所述固定板的左端面上。
[0008]较佳的，所述传感器推送组件包括微动开关、底座、轴承、直线轴承、推杆以及推送连接板；所述推杆和所述气缸的活塞杆与所述推送连接板连接；所述微动开关设置在所述底座的前端；所述轴承与推杆连接在一起。
[0009]较佳的，所述张紧驱动组件上设有支架、连接轴、圆锥齿轮、推顶块以及锁紧钩；所
述圆锥齿轮设有两个，两个圆锥齿轮相互垂直设置在所述支架内；所述锁紧钩设置在所述支架的前端；所述推顶块设置在所述支架的上端；所述张紧驱动组件上还设有第二检测光电开关；；所述第二检测光电开关设置在所述张紧驱动组件的前端。
[0010]较佳的，所述张紧座上设有主动轮组件、锁紧套、卡扣、惰轮组件、从动轮组件以及张紧座底座；所述卡扣卡在弹性锁紧组件的弹性柱上；所述同步轮的上表面定位销与张紧座底座下部定位槽配合；所述主动轮组件上设有齿轮。
[0011]一种晶圆台蓝膜张紧方法，具体步骤下：S1：启动驱动组件上的电机，使得晶圆台启动旋转，同时总光电开关处于被遮挡输出信号状态；S2：将晶圆台旋转至预定角度；S3：传感器组件上的气缸伸出，将上光电开关、下光电开关以及检测光电开关推送至检测位置，此时检测光电开关处于遮挡输出信号状态；S4：推顶组件上的气缸缩回，将张紧驱动组件推出，使锁紧钩锁住锁紧套，将晶圆台锁定，此时张紧驱动组件上的齿轮与主动轮组件上的齿轮啮合；S5：电机继续旋转，晶圆夹组件向下运动张紧蓝膜，电机旋转预定转数，使蓝膜张紧到位；S6：推顶组件上的气缸伸出，拉伸弹簧将张紧驱动组件拉回原位；当微动开关闭合输出信号，说明张紧驱动组件已被拉回原位；传感器组件上的气缸缩回；S7：系统根据视觉系统反馈的晶圆角度偏差，电机再次启动晶圆台旋转补偿晶圆角度偏差，以达到精确的位置。
[0012]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：1、本专利技术实现全自动张紧蓝膜和晶圆角度调整。
[0013]2、本专利技术设有检测光电开关检测晶圆环是否安放到位，避免晶圆环安放位置不正确造成蓝膜张紧时损坏晶圆。
[0014]3、本专利技术设有上下光电开关检测晶圆夹的上限和下限，避免过度张紧蓝膜损坏晶圆。
[0015]4、本专利技术设有微动开关避免张紧驱动组件在未回位的情况下，晶圆台旋转补偿晶圆角度偏差时造成晶圆台的损坏。
[0016]5、张紧座由卡扣将张紧座固定在转盘上，更换张紧座更方便。
附图说明
[0017]图1为本专利技术整体结构示意图；图2为本专利技术中转盘的结构示意图；图3为本专利技术中晶圆夹组件的结构示意图；图4为本专利技术中传感器组件的结构示意图；图5为本专利技术中用来推送张紧驱动组件的安装示意图；图6为本专利技术中张紧驱动组件的结构示意图；图7为本专利技术中张紧座的结构示意图。
连接在一起。
[0028]较佳的，所述张紧驱动组件12上设有支架12
‑
1、连接轴12
‑
2、圆锥齿轮12
‑
3、推顶块12
‑
4以及锁紧钩12
‑
5；所述圆锥齿轮12
‑
3设有两个，两个圆锥齿轮12
‑
3相互垂直设置在所述支架12
‑
1内；所述锁紧钩12
‑
5设置在所述支架12
‑
1的前端；所述推顶块12
‑
4设置在所述支架12
‑
1的上端；所述张紧驱动组件12上还设有第二检测光电开关12
‑
6；所述第二检测光电开关12
‑
6设置在所述张紧驱动组件12的前端。
[0029]通过相互垂直设置圆锥齿轮12
‑
3可以改变力和力矩的传递方向,同时能够产生侧压力抵消传入轴上由于圆锥轴承等元件产生的轴向力；使轴受力平衡,运行起来更加平稳；同时，通过锁紧钩12
‑
5可以锁住锁紧套5
‑
2，将晶圆台锁定；通过第二检测光电开关12
‑
6与检测光电开关10
‑
6两个的组合，确保晶圆安放在晶圆夹组件6的正确位置上，避免蓝膜张紧时损坏晶圆同时也会导致张紧机械装置的损坏；进一步的，第二检测光电开关12
‑
6还具备检测张紧驱动组件12是否被推送到位的功能。
[0030]较佳的，所述张紧座5上设有主动轮组件5
‑
1、锁紧套5
‑
2、卡扣5
‑
3、惰轮组件5
‑
4、从动轮组件5
‑
5以及张紧座底座5
‑
6；所述卡扣本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆台蓝膜张紧调整机构，其特征在于：所述调整机构包括底板（1）、设置在底板（1）上方的转盘（2）、设置在底板（1）内的调整块（3）、连接底板（1）以及转盘（2）的导轮（4）、设置在转盘（2）上方的张紧座（5）、与张紧座（5）可拆卸连接的晶圆夹组件（6）、环绕在转盘（2）外侧的同步带（7）、以及设置在所述底板（1）上的晶圆台旋转驱动组件（8）、张紧轮组件（9）、传感器组件（10）、拉伸弹簧（11）、张紧驱动组件（12）、传感器推送组件（13）和总光电开关（14）；所述拉伸弹簧（11）连接所述传感器推送组件（13）和张紧驱动组件（12）；所述同步带（7）依次缠绕过晶圆台旋转驱动组件（8）、张紧轮组件（9）、传感器组件（10）、张紧驱动组件（12）、传感器推送组件（13）和总光电开关（14）。2.如权利要求1所述的一种晶圆台蓝膜张紧调整机构，其特征在于：所述转盘（2）上设有挡圈（2
‑
1）、同步轮（2
‑
2）、弹性锁紧组件（2
‑
3）以及圆弧轨道（2
‑
4）；所述转盘（2）呈“工”字形；所述挡圈（2
‑
1）设置在所述转盘（2）的上下两侧；所述同步轮（2
‑
2）可旋转设置在所述转盘（2）的中部；所述弹性锁紧组件（2
‑
3）设置在所述转盘（2）的一端上；所述圆弧轨道（2
‑
4）设置在所述转盘（2）的内侧。3.如权利要求2所述的一种晶圆台蓝膜张紧调整机构，其特征在于：所述晶圆夹组件（6）包括晶圆夹张紧螺栓（6
‑
1）、基座（6
‑
2）、压环（6
‑
3）、圆环到位检测片（6
‑
4）以及限位检测片（6
‑
5）；所述基座（6
‑
2）的下部上还设有杠杆机构（6
‑
6）；所述圆环到位检测片（6
‑
4）设置在所述杠杆机构（6
‑
6）上；所述限位检测片（6
‑
5）设置在所述圆环到位检测片（6
‑
4）的后端上；所述晶圆夹张紧螺栓（6
‑
1）设置在所述基座（6
‑
2）的下端上；所述压环（6
‑
3）设置在所述基座（6
‑
2）的上端面上。4.如权利要求3所述的一种晶圆台蓝膜张紧调整机构，其特征在于：所述传感器组件（10）包括传感器支架（10
‑
1）、气缸（10
‑
2）、固定板（10
‑
3）、连接板（10
‑
7）以及上光电开关（10
‑
4）、下光电开关（10
‑
5）和检测光电开关（10
‑
6）组成；所述气缸（10
‑
2）的底面与所述传感器支架（10
‑
1）固定连接；所述气缸（10
‑
2）的活塞杆与所述连接板（10
‑
7）固定连接；所述连接板（10
‑
7）通过螺钉可拆卸连接在所述固定板（10
‑
3）的右端面上；所述上光电开关（10
‑
4）、下光电开关（10
‑
5）和检测光电开关（10
‑
6）可拆卸连接在所述固定板（...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁琛琦，
申请(专利权)人：马丁科瑞半导体技术南京有限公司，
类型：发明
国别省市：