带有位移检测功能的微执行器制造技术

一种微执行器，其特征在于，包括：　　　　衬底；　　　　可动元件，其被可位移地支撑在所述衬底上；　　　　驱动部，其输出用于让所述可动元件位移的驱动信号；　　　　变换部，其保持所述可动元件的位移和所述驱动信号之间的对应关系；　　　　位移检测部，其检测在赋予了所述驱动信号状态下的所述可动元件的位移；和　　　　校正部，其利用所述驱动信号和所述位移检测部的输出校正所述变换部保持的对应关系。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：虫鹿由浩，苅田吉博，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：