工件搬运用机械手制造技术

本发明专利技术涉及工件搬运用机械手。提供能稳定地选择吸附部从机械手的突出量的工件搬运用机械手。工件搬运用机械手具备：支承盘；和至少1个吸附部。在支承盘的上表面设置凹部，在该凹部的底部设置第1压力端口和第2压力端口。吸附部包含升降体、弹性体、第1筒状构件和第2筒状构件。升降体能升降地被引导，以使得在凹部中具有给定的行程距离，并且形成有在上下方向上贯通的吸引孔。第1筒状构件能在上下方向上伸缩，其上端包围吸引孔并与升降体连接，并且其下端包围第1压力端口并与凹部的底部连接。第2筒状构件能在上下方向上弹性伸缩，其上端与升降体连接，并且其下端包围第2压力端口并与凹部的底部连接。部的底部连接。部的底部连接。

【技术实现步骤摘要】
工件搬运用机械手


[0001]本公开涉及用在基板等板状工件的搬运装置中的工件搬运用机械手。

技术介绍

[0002]过去，已知液晶显示器的制造中所用的玻璃基板、半导体的制造中所用的半导体晶片等薄板状工件的搬运装置。一般，这样的搬运装置具备带利用了负压的吸附功能的机械手，作为机械臂的末端执行器。例如如专利文献1所示那样，作为承担吸附功能的结构，在机械手的上表面设有多个吸盘。各吸盘构成为能选择使负压作用的状态和不使负压作用的状态。将搭载于机械手的板状工件通过使吸盘作用的负压来紧贴保持在该吸盘。由此，能使该板状工件不会从机械手滑落地进行高速搬运。
[0003]这样的板状工件的搬运装置，例如用在将收纳于储放匣内的板状工件取出并交给处理装置、或者从处理装置接受板状工件并收纳到储放匣的情况中。在将储放匣内的板状工件取出的情况下，在解除了吸盘的负的状态下将机械手插入要取出的板状工件的下方位置。在该状态下使机械手上升，来在该机械手上搭载板状工件，使吸盘作用负压来将板状工件紧贴保持，将机械手从储放匣抽出。另一方面，在将板状工件收纳到储放匣的情况下，使吸盘作用负压来将板状工件紧贴保持于机械手，并将机械手插入储放匣。之后，解除吸盘的负压来做出将板状工件单纯载置于机械手上的状态，使机械手下降，来将板状工件移载到储放匣的搁架部。之后，将机械手从储放匣抽出。
[0004]近年来，推进板状工件的大型化，存在收纳于储放匣内的板状工件的挠曲量变大的倾向。此外，还有将分别厚度不同的多个板状工件个别(或一并)从储放匣相处理装置搬运的情况。在该情况下，收纳于储放匣内的多个板状工件的挠曲量有时也各不相同。
[0005]另一方面，在储放匣，在提高处理效率的基础上谋求能减小所收纳的板状工件的上下间隔，从而能收纳尽可能多的板状工件。
[0006]在专利文献1中公开了能变更各吸盘相对于机械手的突出量。根据该结构，例如，通过减小吸盘的突出量，即使储放匣内的板状工件的上下间隔小，也能避免与搬运对象的板状工件以外的其他板状工件的干涉，并且能将机械手插入储放匣内。
[0007]更具体地，专利文献1公开的
技术实现思路
如下那样。即，在各吸盘的下表面设置能弹性变形的内外2个下方扩大环状腿部。由内侧的环状腿部规定的内部空间(第1空间)与用于起到吸附作用的第1负压路径相连。此外，内侧的环状腿部与外侧的环状腿部之间的环状空间(第2空间)与第2负压路径相连。在该结构中，在不对第1以及第2负压路径作用负压时，通过内外的环状腿部的弹性力，吸盘位于相对高位(即，突出量大)。另一方面，通过对第2负压路径(进而第2空间)作用负压，能使吸盘位于相对低位(即，使突出量小)。此外，通过对第1负压路径作用负压，不管吸盘位于高的位置还是位于低的位置，都能在吸盘的上表面吸附板状工件。
[0008]在专利文献1公开的结构中，对吸盘始终向上施力的构件(内外2重的环状腿部)兼作形成第1空间(要使吸盘的上表面作用负压、且与第1负压路径相连的空间)以及第2空间
(与第2负压路径相连的空间)的构件。为此，在将板状工件紧贴保持于吸盘的状态(即，对第1负压路径作用负压的状态)下，吸盘的突出量不稳定，尚有改良的余地。
[0009]现有技术文献
[0010]专利文献
[0011]专利文献1：JP特开2012
‑
099621号公报

技术实现思路

[0012]鉴于这样的事情，本公开的主要课题在于，提供能稳定地选择吸附部从机械手的突出量的工件搬运用机械手。
[0013]为了解决上述的课题，采用如下的技术手段。
[0014]由本公开提供的工件搬运用机械手具备：支承盘；和设于上述支承盘的上表面的至少1个吸附部。在上述支承盘的上述上表面设置凹部，在该凹部的底部设置第1压力端口和第2压力端口。上述吸附部包含：升降体，其能升降地被引导，以使得在上述凹部中具有给定的行程距离，并且形成有在上下方向上贯通的吸引孔；弹性体，其对上述升降体始终向上下任意一方施力；第1筒状构件，上端包围上述吸引孔并与上述升降体连接，并且下端包围上述第1压力端口并与上述凹部的上述底部连接，能在上下方向上伸缩；和第2筒状构件，其使上端与上述升降体连接，并且下端包围上述第2压力端口并与上述凹部的上述底部连接，能在上下方向上弹性伸缩。
[0015]优选地，上述第1筒状构件以及上述第2筒状构件是波纹状。
[0016]优选地，上述弹性体对上述升降体始终向上方施力，上述第1压力端口经由第1开闭阀与负压源连接，上述第2压力端口经由第2开闭阀与追加的负压源连接。
[0017]优选地，上述弹性体对上述升降体始终向下方施力，上述第1压力端口经由第1开闭阀与负压源连接，上述第2压力端口经由第2开闭阀与正压源连接。
[0018]优选地，在上述升降体的上表面设有向上方逐渐扩大、能弹性变形的吸附体。
[0019]专利技术的效果
[0020]在上述工件搬运用机械手中，在使弹性体对升降体始终向上施力、使第1压力端口以及第2压力端口与不同系统的负压源连接的情况下，在不使第2压力端口作用负压的状态下，通过弹性体的作用，升降体取上升位置，从支承盘的突出量变大。另一方面，在使第2压力端口作用负压的状态下，对抗弹性体的弹力，升降体移动到下方而取下降位置，相对于支承盘的突出量变小。不管在升降体取上升位置的情况下，还是在取下降位置的情况下，都能通过使第1压力端口作用负压来将板状工件吸附保持在对吸引孔作用负压的升降体。这意味着，能变更升降体相对于支承盘的突出量，并且不管升降体的突出量如何，都能吸附保持板状工件。
[0021]因此，在收纳于储放匣的(或要收纳的)板状工件的上下间隔由于板状工件的挠曲(或由于上下相邻的板状工件的挠曲量的差异)变小的情况下，也能通过在将机械手向储放匣插入或抽出时减小升降体的突出量，来适合地进行向储放匣的板状工件的交接。
[0022]此外，在上述工件搬运用机械手中，与用于不管升降体的上下位置如何都使吸引孔作用负压的结构(第1筒状构件)分开地设置对升降体始终向上下方向施力的结构(弹性体)。为此，能使使吸引孔作用负压来吸附保持板状工件时的升降体的上下方向的位置稳
定。
附图说明
[0023]图1是表示基于本公开的一实施方式的工件搬运用机械手的俯视图。
[0024]图2是图1的B部放大俯视示意图。
[0025]图3是沿着图2的III
‑
III线的截面图。
[0026]图4是上述工件搬运用机械手的作用说明图，是相当于沿着图2的III
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III线的截面的图。
[0027]图5是上述工件搬运用机械手的作用说明图，是相当于沿着图2的III
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III线的截面的图。
[0028]图6是上述工件搬运用机械手的作用说明图，是相当于沿着图2的III
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III线的截面的图。
[0029]附图标记的说明
[0030]A1：工件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工件搬运用机械手，具备：支承盘；和设于上述支承盘的上表面的至少1个吸附部，所述工件搬运用机械手的特征在于，在上述支承盘的上述上表面设置凹部，在该凹部的底部设置第1压力端口和第2压力端口，上述吸附部包含：升降体，其能升降地被引导，以使得在上述凹部中具有给定的行程距离，并且形成有在上下方向上贯通的吸引孔；弹性体，其对上述升降体始终向上下任意一方施力；第1筒状构件，上端包围上述吸引孔并与上述升降体连接，并且下端包围上述第1压力端口并与上述凹部的上述底部连接，能在上下方向上伸缩；和第2筒状构件，其使上端与上述升降体连接，并且下端包围上述第2压力端口并与上述凹部的上述底部连接，能在上下方向上弹性伸缩。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：佐渡大介，
申请(专利权)人：株式会社达谊恒，
类型：发明
国别省市：