静电力驱动拱形制动器制造技术

技术编号:3388013 阅读:252 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种静电力驱动拱形制动器,包括驱动电极、拱形梁和侧墙,拱形梁的两端固定在两边的侧墙上,在拱形梁的弯曲凸出部位的反方向设有驱动电极;侧墙与电极固定连接,拱形梁与驱动电极间设有间距隔离,并构成电容器结构,在电容器两端加上直流电压,当电压达到临界值时,产生突跳失稳导致拱形梁翻转,同时还能与驱动电极保持间隔;断电时,拱形梁恢复原状。由于静电力驱动拱形制动器通电后,拱形梁在驱动电极的作用下发生突跳失稳,拱形梁翻转而又不与驱动电极接触。当电压撤销后,拱形梁恢复原状;所以,可以多次重复使用。另外,静电力驱动拱形制动器的结构简单,反应迅速;特别适合用作微结构的阀门/开关。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微结构领域里的静电力驱动拱形制动器
技术介绍
据检索国外已有利用拱形结构或“V”形结构的突跳失稳原理做出的制动器,例如机械驱动、光驱动和电磁驱动的拱形结构制动器。机械驱动的拱形制动器需附设机械结构及动力装置;光驱动的拱形制动器需另设激光发生装置。电磁驱动的拱形制动器需要设置电磁转换装置。它们的不足之处是结构复杂、反应速度较慢。
技术实现思路
本专利技术的目的是为克服上述不足之处而提供一种静电力驱动拱形驱动器。结构简单,反应迅速。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的一种静电力驱动拱形制动器,包括驱动电极、拱形梁和侧墙,拱形梁的两端固定在两边的侧墙上,在拱形梁的弯曲凸出部位的反方向设有驱动电极;侧墙与电极固定连接,拱形梁与驱动电极间设有间距隔离,并构成电容器结构,在电容器两端加上直流电压,当电压达到临界值时,产生突跳失稳导致拱形梁翻转,同时还能与驱动电极保持间隔;突跳失稳是力学里的一个重要失稳机制,它有一个非常重要的特性,突跳失稳发生时拱形梁的有效刚度变为零,即抵抗外力的能力是零;这时,空气的阻尼是抵抗拱形梁向驱动电极方向变形/运动的唯一阻力。而空气的阻力是很小的。所以拱形梁会很快完成翻转。并且翻转后在一段电压范围内不会与驱动电极接触;断电时,拱形梁恢复原状。所述拱形梁翻转后的变形量随加在电容器上的电压的升高而增大。本专利技术技术效果,由于静电力驱动拱形制动器通电后,拱形梁在驱动电极的作用下发生突跳失稳,拱形梁翻转而又不与驱动电极接触。当电压撤销后,拱形梁恢复原状;所以,可以多次重复使用。另外,静电力驱动拱形制动器的结构简单,反应迅速;特别适合用作微结构的阀门/开关。附图说明图1为本专利技术示意图。具体实施例方式下面结合附图及实施例进一步说明本专利技术。一种静电力驱动拱形制动器,包括驱动电极1、拱形梁3和侧墙2,拱形梁3的材料采用单晶硅,拱形梁3的两端固定在两边的侧墙2上,在拱形梁的弯曲凸出部位的反方向设有驱动电极1;侧墙2与电极1固定连接,拱形梁3与驱动电极1构成电容器,在电容器两端加上直流电压,当电压达到临界值时拱形梁3翻转,拱形梁翻转后的位置如标号4所示,它与驱动电极1保持间隔。称作突跳失稳。突跳失稳是力学里的一个重要失稳机制,突跳失稳发生时拱形梁的有效刚度变为零,即抵抗外力的能力为零;这时,空气的阻尼是抵抗拱形梁向驱动电极方向变形/运动的唯一阻力。而空气的阻力是很小的。所以拱形梁会很快完成翻转。而且翻转后在一段电压范围内不会与驱动电极吸合。因此,选择空间大,容易实现。断电时,拱形梁恢复原状。拱形梁的物理参数长、宽、厚及其拱量可根据需要的拱形梁变形量或需要的拱形梁作用力大小进行设计。静电力驱动拱形制动器能多次使用。可广泛用于一些如生物芯片中需要快速响应和精确控制流量的阀门。权利要求1.一种静电力驱动拱形制动器,包括驱动电极、拱形梁和侧墙,拱形梁的两端固定在两边的侧墙上,在拱形梁的弯曲凸出部位的反方向设有驱动电极;侧墙与电极固定连接,拱形梁与驱动电极间设有间距隔离,并构成电容器结构,在电容器两端加上直流电压,当电压达到临界值时,产生突跳失稳导致拱形梁翻转,同时还能与驱动电极保持间隔;断电时,拱形梁恢复原状。2.如权利要求1所述的静电力驱动拱形制动器,其特征是拱形梁翻转后的变形量随加在电容器上的电压的升高而增大。全文摘要本专利技术公开了一种静电力驱动拱形制动器,包括驱动电极、拱形梁和侧墙,拱形梁的两端固定在两边的侧墙上,在拱形梁的弯曲凸出部位的反方向设有驱动电极;侧墙与电极固定连接,拱形梁与驱动电极间设有间距隔离,并构成电容器结构,在电容器两端加上直流电压,当电压达到临界值时,产生突跳失稳导致拱形梁翻转,同时还能与驱动电极保持间隔;断电时,拱形梁恢复原状。由于静电力驱动拱形制动器通电后,拱形梁在驱动电极的作用下发生突跳失稳,拱形梁翻转而又不与驱动电极接触。当电压撤销后,拱形梁恢复原状;所以,可以多次重复使用。另外,静电力驱动拱形制动器的结构简单,反应迅速;特别适合用作微结构的阀门/开关。文档编号H02N1/00GK101039082SQ20071009887公开日2007年9月19日 申请日期2007年4月28日 优先权日2007年4月28日专利技术者张吟, 王奕松, 李志宏 申请人:中国科学院力学研究所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电力驱动拱形制动器,包括驱动电极、拱形梁和侧墙,拱形梁的两端固定在两边的侧墙上,在拱形梁的弯曲凸出部位的反方向设有驱动电极;侧墙与电极固定连接,拱形梁与驱动电极间设有间距隔离,并构成电容器结构,在电容器两端加上直流电压,当电压达到临界值时,产生突跳失稳导致拱形梁翻转,同时还能与驱动电极保持间隔;断电时,拱形梁恢复原状。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张吟王奕松李志宏
申请(专利权)人:中国科学院力学研究所
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]

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