一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，属于电子技术领域，包括箱体、盖板、抽风组件和固定组件，所述箱体一侧固定连通有抽风组件，所述箱体内部的底侧固定连接有放置板，所述放置板的内部设置有固定组件。本实用新型专利技术中，使用时，手摇转动转柄，带动正反丝杆转动，使螺纹套带动第一夹紧块相对移动，同时带动滑轮和导杆在第一夹紧块内滑动，第一弹簧带动第二竖板相对移动，对靶材进行全面固定，以防靶材在运输过程中遇到颠簸，产生变形，在转柄带动正反丝杆转动的同时，带动第一带轮转动，再经过传送带将动力输送到第二带轮上，带动连接轴和扇叶转动，将箱体内部的空气抽出，以防靶材氧化，对靶材的精度造成影响。对靶材的精度造成影响。对靶材的精度造成影响。

【技术实现步骤摘要】
一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件


[0001]本技术属于电子
，尤其涉及一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件。

技术介绍

[0002]所谓溅射是制备薄膜材料的主要技术，通过离子对目标物进行轰击，使靶材中的金属原子以一定能量溢出，从而在晶圆表面沉积，形成金属薄膜，其中被轰击的固体就是溅射靶材，是半导体制造中的关键材料。
[0003]芯片制造对溅射靶材金属纯度的要求非常非常高，一般都要达到99.999％以上纯度，在芯片生产过程中，通常对溅射靶材进行集装后运输，在对集装后的靶材组件进在运输过程时容易受到外力作用和颠簸，导致靶材组件产生变形，对靶材组件的使用造成影响，防护效果较差，且同时靶材组件在运输储存过程中，空气中的氧气容易对靶材的表面进行氧化，从而对靶材的使用精度造成影响，故需要一定的改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于：为了解决传统靶材在对集装后的靶材组件进在运输过程时容易受到外力作用和颠簸，导致靶材组件产生变形，对靶材组件的使用造成影响，防护效果较差，且同时靶材组件在运输储存过程中，空气中的氧气容易对靶材的表面进行氧化，从而对靶材的使用精度造成影响的问题，而提出的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，包括箱体、盖板、抽风组件和固定组件，所述盖板通过合页转动连接在箱体上，所述箱体一侧固定连通有抽风组件，所述箱体内部的底侧固定连接有放置板，放置板顶部两侧均固定连接有第一竖板，所述第一竖板相对的一侧呈线性分布有多个第一弹簧，第一弹簧另一端固定有第二竖板；
[0007]所述放置板的内部设置有固定组件，所述固定组件包括正反丝杆，所述正反丝杆转动连接在放置板内部，且所述正反丝杆一端依次穿过放置板和箱体并延伸至外侧固定连接有转柄，所述正反丝杆上固定套接有第一带轮，第一带轮上套接有传送带，所述正反丝杆上螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套上端固定连接有第一夹紧块，所述第一夹紧块的顶部固定连接有第二夹紧块。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述：
[0009]所述抽风组件包括壳体，所述壳体的内部转动连接有连接轴，连接轴相对外侧的一端固定套接有第二带轮，所述第二带轮经过传送带与第一带轮传动连接，所述连接轴另一端固定套接有扇叶。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：
[0011]所述第一夹紧块下端两侧均固定有滑块，所述滑块下端滑动连接有滑轨，所述滑
轨固定连接在放置板顶部的两侧。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述：
[0013]所述第一夹紧块内部的两侧均设置有梯形凹槽，梯形凹槽内滑动连接有滑轮，所述滑轮相背的一侧固定连接有导杆，且导杆滑动连接在第一夹紧块上，导杆相对滑轮的一侧固定套接有挡板，所述导杆另一端固定连接在第二竖板上。
[0014]作为上述技术方案的进一步描述：
[0015]所述第二夹紧块设置成L型块，所述第二夹紧块相对一侧的底部开设有多个安装槽，安装槽内部固定连接有多个第二弹簧，第二弹簧的另一端固定连接有抵块，所述抵块的底部设置成半圆形，且抵块的底部设置成弹性件。
[0016]作为上述技术方案的进一步描述：
[0017]所述第二竖板和第一夹紧块相对的一侧均设置有保护垫。
[0018]作为上述技术方案的进一步描述：
[0019]所述箱体上开设有矩形凹槽，所述盖板上固定连接有矩形密封垫，矩形密封垫与矩形凹槽相配合。
[0020]综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
[0021]1、本技术中，通过将靶材放置到放置板上，合上盖板，对箱体进行密封，手摇转动转柄，带动正反丝杆转动，使螺纹套带动第一夹紧块相对移动，同时第二弹簧带动抵块向下移动，使抵块抵住靶材表面，对靶材的进行固定保护。
[0022]2、本技术中，通过第一夹紧块相对移动，带动滑轮和导杆在第一夹紧块内滑动，第一弹簧带动第二竖板相对移动，对靶材的纵向位置进行固定，从而对靶材进行全面固定，以防靶材在运输过程中遇到外力作用，产生变形，影响靶材的正常使用。
[0023]3、本技术中，在转柄带动正反丝杆转动的同时，带动第一带轮转动，再经过传送带将动力输送到第二带轮上，带动连接轴和扇叶转动，将箱体内部的空气抽出，以防靶材氧化，对靶材的精度造成影响。
附图说明
[0024]图1为本技术提出的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件的立体结构示意图；
[0025]图2为本技术提出的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件固定组件的立体结构示意图；
[0026]图3为本技术提出的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件放置板的俯视结构示意图；
[0027]图4为本技术提出的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件第二夹紧块的结构示意图；
[0028]图5为本技术提出的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件抽风组件的结构示意图。
[0029]图例说明：
[0030]1、箱体；2、盖板；3、抽风组件；301、连接轴；302、第二带轮；303、扇叶；4、放置板；5、第一竖板；6、第一弹簧；7、第二竖板；8、固定组件；801、正反丝杆；802、第一夹紧块；803、第
二夹紧块；804、第二弹簧；805、抵块；806、第一带轮；807、传送带；808、滑轮；809、导杆。
具体实施方式
[0031]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0032]请参阅图1
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5，本技术提供一种技术方案：一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，包括箱体1、盖板2、抽风组件3和固定组件8，盖板2通过合页转动连接在箱体1上，箱体1一侧固定连通有抽风组件3，箱体1内部的底侧固定连接有放置板4，放置板4顶部两侧均固定连接有第一竖板5，第一竖板5相对的一侧呈线性分布有多个第一弹簧6，第一弹簧6另一端固定有第二竖板7，放置板4的内部设置有固定组件8，固定组件8包括正反丝杆801，正反丝杆801转动连接在放置板4内部，且正反丝杆801一端依次穿过放置板4和箱体1并延伸至外侧固定连接有转柄，正反丝杆801上固定套接有第一带轮806，第一带轮806上套接有传送带807，正反丝杆801上螺纹连接有螺纹套，螺纹套上端固定连接有第一夹紧块802，第一夹紧块802的顶部固定连接有第二夹紧块803。
[0033]如图5所示，抽风组件3包括壳体，壳体的内部转动连接有连接轴301，连接轴301相对外侧的一端固定套接有第二带轮302，第二带轮302经过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，包括箱体(1)、盖板(2)、抽风组件(3)和固定组件(8)，其特征在于，所述盖板(2)通过合页转动连接在箱体(1)上，所述箱体(1)一侧固定连通有抽风组件(3)，所述箱体(1)内部的底侧固定连接有放置板(4)，放置板(4)顶部两侧均固定连接有第一竖板(5)，所述第一竖板(5)相对的一侧呈线性分布有多个第一弹簧(6)，第一弹簧(6)另一端固定有第二竖板(7)；所述放置板(4)的内部设置有固定组件(8)，所述固定组件(8)包括正反丝杆(801)，所述正反丝杆(801)转动连接在放置板(4)内部，且所述正反丝杆(801)一端依次穿过放置板(4)和箱体(1)并延伸至外侧固定连接有转柄，所述正反丝杆(801)上固定套接有第一带轮(806)，第一带轮(806)上套接有传送带(807)，所述正反丝杆(801)上螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套上端固定连接有第一夹紧块(802)，所述第一夹紧块(802)的顶部固定连接有第二夹紧块(803)。2.根据权利要求1所述的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，其特征在于，所述抽风组件(3)包括壳体，所述壳体的内部转动连接有连接轴(301)，连接轴(301)相对外侧的一端固定套接有第二带轮(302)，所述第二带轮(302)经过传送带(807)与第一带轮(806)传动连接，所述连接轴(301)另一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦建敏，张晓蓓，赵兴文，刘正斌，张小波，
申请(专利权)人：仁寿华赐半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：