本申请实施例提供一种退火设备，涉及退火装置技术领域，用于解决与基板边缘位置对应的显示模组区域在显示画面时存在低灰阶画面不均一的技术问题。该退火设备包括退火腔，所述退火腔内沿第一方向间隔设置有至少两个加热层，相邻两个所述加热层以及相邻两个加热层之间的侧壁围合形成一个退火室；相邻两个加热层之间的侧壁包括第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁上设置有第一加热器和进气孔，所述第二侧壁上设置有出气孔；所述进气孔的出气端设置有第一导气管，所述第一导气管伸入所述退火室内。内。内。
【技术实现步骤摘要】
退火设备
[0001]本申请实施例涉及退火装置
，尤其涉及一种退火设备。
技术介绍
[0002]基板加工的活化工序是将离子注入工序时注入基板的杂质原子进行激活，即“修复”受损晶格，使杂质进入电活性位置。
[0003]在相关技术中，基板加工的活化工序采用退火设备来激活注入基板的杂质原子。退火设备包括退火腔，退火腔内设置有加热器，退火腔具有第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁上设置有进气孔，第二侧壁上设置有出气孔，部分加热器设置于第一侧壁上，基板置于退火腔内进行退火处理以激活注入基板的杂质原子。
[0004]然而，采用上述退火设备处理的基板应用于显示模组上时，与基板边缘位置对应的显示模组区域在显示画面时存在低灰阶画面不均一的问题。
技术实现思路
[0005]鉴于上述问题，本申请实施例的目的在于提供一种退火设备，用于改善与基板边缘位置对应的显示模组区域在显示画面时存在低灰阶画面不均一的问题。
[0006]为了实现上述目的，本申请实施例提供如下技术方案：
[0007]本申请实施例的第一方面提供一种退火设备，包括退火腔，所述退火腔内沿第一方向间隔设置有至少两个加热层，相邻两个所述加热层以及相邻两个加热层之间的侧壁围合形成一个退火室；
[0008]相邻两个加热层之间的侧壁包括第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁上设置有第一加热器和进气孔，所述第二侧壁上设置有出气孔；
[0009]所述进气孔的出气端设置有第一导气管，所述第一导气管伸入所述退火室内。
[0010]本申请实施例第一方面提供的退火设备的有益效果：本申请实施例提供的退火设备通过在进气孔内设置第一导气管，在进气孔通入气体时，从进气孔进入的气体经第一导气管引导后吹入退火室内，使得吹向退火室内部的气体温度更接近于退火室内部的温度，从而降低了吹向退火室内部的热量与退火室内部的热量之间的热量差；在该退火设备用于对基板进行退火时，基板靠近第一侧壁的边缘区域为第一基板边缘区，自进气孔通入的气体吹第一基板边缘区时，吹向第一基板边缘区的热量与第一基板边缘区的热量之间的热量差小，改善了因吹向第一基板边缘区的热量与第一基板边缘区的热量之间的热量差大导致的基板品质不佳的情况，进而改善了与靠近第一侧壁的基板边缘对应的显示模组区域在显示画面时存在低灰阶画面不均一的问题。
[0011]在一种可能的实施方式中，所述退火室内靠近所述第一侧壁的一侧设置有第一防辐射匀热板，所述第一防辐射匀热板将所述退火室分为第一空间和第二空间，退火处理的物件置于所述第二空间内；
[0012]所述第一导气管依次穿过所述第一空间和所述第一防辐射匀热板后伸入所述第
二空间内；
[0013]优选的，所述进气孔设有多个，至少两个所述进气孔的出气端设置有第一导气管，所述第一防辐射匀热板安装于所述第一导气管上；
[0014]优选的，所有所述进气孔的出气端均设置有第一导气管，所有所述第一导气管均穿过所述第一防辐射匀热板，并伸入所述第二空间内；
[0015]优选的，相邻两个所述加热层相互平行设置；
[0016]所述退火处理的物件为基板，所述第二空间内设置有用于放置所述基板的支撑结构，放置于所述支撑结构上的基板与所述第一侧壁垂直，且与所述加热层平行；
[0017]优选的，所述支撑结构设为多个，多个所述支撑结构沿所述第一方向间隔设置。
[0018]在一种可能的实施方式中，所述第一防辐射匀热板安装于所述第一导气管靠近所述支撑结构的一端；
[0019]所述基板放置于所述支撑结构上时，沿垂直于所述第一侧壁的方向，所述基板靠近所述第一侧壁的一边与所述第一加热器之间的距离为A，所述第一导气管靠近所述支撑结构的端部与所述第一加热器之间的距离为B，其中，B＝2/3A。
[0020]在一种可能的实施方式中，所述第一防辐射匀热板与所述第一导气管对应的位置设置有安装孔；
[0021]所述第一导气管靠近所述支撑结构的一端设置有外螺纹，所述外螺纹上安装有两个固定螺母；
[0022]所述第一导气管自所述安装孔处穿过所述第一防辐射匀热板，两个所述固定螺母分别位于所述第一防辐射匀热板的两侧，用于固定所述第一防辐射匀热板；
[0023]优选的，所述外螺纹包括第一段外螺纹和第二段外螺纹，所述第一段外螺纹和所述第二段外螺纹之间具有光滑段，所述第一防辐射匀热板安装于所述光滑段处。
[0024]在一种可能的实施方式中，所述第一防辐射匀热板在所述第一方向上的两端向所述第一侧壁的一侧倾斜；
[0025]优选的，所述第一防辐射匀热板在所述第一方向上的一端向所述第一侧壁倾斜的倾斜角度为X，所述第一防辐射匀热板在所述第一方向上的另一端向所述第一侧壁倾斜的倾斜角度为Y，其中，30
°
≤X≤50
°
，30
°
≤Y≤50
°
。
[0026]在一种可能的实施方式中，所述第一加热器包括多个沿所述第一方向间隔设置的第一加热棒，所述第一加热棒与第二方向平行设置，所述第二方向与所述第一方向垂直，且与所述第一侧壁平行；
[0027]多个所述进气孔排列为一排，且设置于多个所述第一加热棒中相邻的两个所述第一加热棒之间；
[0028]优选的，放置在任一所述支撑结构上的基板在所述第一侧壁上的正投影位于其中两个相邻的所述第一加热棒之间。
[0029]在一种可能的实施方式中，所述退火室内设置有至少一个固定件；
[0030]其中一个所述支撑结构设置于相邻两个所述加热层中的其中一个加热层上，其余所述支撑结构与所述固定件一一对应，且与所述固定件对应的支撑结构安装于所述固定件上；
[0031]优选的，所述第一侧壁与所述第二侧壁相对设置；
[0032]所述固定件包括多个固定杆，所述固定杆的一端连接于所述第一侧壁上，另一端连接于所述第二侧壁上；
[0033]优选的，所述第一侧壁在第二方向上的两端分别为第一端和第二端，所述第二方向与所述第一方向垂直，且与所述第一侧壁平行；
[0034]所述固定杆为第三加热棒，多个所述第三加热棒分为两组，其中一组第三加热棒在所述第一侧壁上的正投影位于所述第一侧壁上且靠近所述第一端，另一组第三加热棒在所述第一侧壁上的正投影位于所述第一侧壁上且靠近所述第二端。
[0035]在一种可能的实施方式中，所述第二侧壁上设置有第二加热器，所述出气孔的进气端设置有第二导气管，所述第二导气管伸入所述退火室内；
[0036]优选的，所述退火室内靠近所述第二侧壁的一侧设置有第二防辐射匀热板，退火处理的物件置于所述第二防辐射匀热板远离所述第二侧壁一侧的空间内，所述第二导气管穿过所述第二防辐射匀热板；
[0037]优选的，所述出气孔设为多个，至少两个所述出气孔的进气端设置有第二导气管，所述第二防辐射匀热板安装于所述第二导气管上；
[0038]优选的，所有所述出气孔的进气端均设置有第二导气管。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种退火设备，其特征在于，包括退火腔，所述退火腔内沿第一方向间隔设置有至少两个加热层，相邻两个所述加热层以及相邻两个加热层之间的侧壁围合形成一个退火室；相邻两个加热层之间的侧壁包括第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁上设置有第一加热器和进气孔，所述第二侧壁上设置有出气孔；所述进气孔的出气端设置有第一导气管，所述第一导气管伸入所述退火室内。2.根据权利要求1所述的退火设备，其特征在于，所述退火室内靠近所述第一侧壁的一侧设置有第一防辐射匀热板，所述第一防辐射匀热板将所述退火室分为第一空间和第二空间，退火处理的物件置于所述第二空间内；所述第一导气管依次穿过所述第一空间和所述第一防辐射匀热板后伸入所述第二空间内；优选的，所述进气孔设有多个，至少两个所述进气孔的出气端设置有第一导气管，所述第一防辐射匀热板安装于所述第一导气管上；优选的，所有所述进气孔的出气端均设置有第一导气管，所有所述第一导气管均穿过所述第一防辐射匀热板，并伸入所述第二空间内；优选的，相邻两个所述加热层相互平行设置；所述退火处理的物件为基板，所述第二空间内设置有用于放置所述基板的支撑结构，放置于所述支撑结构上的基板与所述第一侧壁垂直，且与所述加热层平行；优选的，所述支撑结构设为多个，多个所述支撑结构沿所述第一方向间隔设置。3.根据权利要求2所述的退火设备，其特征在于，所述第一防辐射匀热板安装于所述第一导气管靠近所述支撑结构的一端；所述基板放置于所述支撑结构上时，沿垂直于所述第一侧壁的方向，所述基板靠近所述第一侧壁的一边与所述第一加热器之间的距离为A，所述第一导气管靠近所述支撑结构的端部与所述第一加热器之间的距离为B，其中，B＝2/3A。4.根据权利要求2所述的退火设备，其特征在于，所述第一防辐射匀热板与所述第一导气管对应的位置设置有安装孔；所述第一导气管靠近所述支撑结构的一端设置有外螺纹，所述外螺纹上安装有两个固定螺母；所述第一导气管自所述安装孔处穿过所述第一防辐射匀热板，两个所述固定螺母分别位于所述第一防辐射匀热板的两侧，用于固定所述第一防辐射匀热板；优选的，所述外螺纹包括第一段外螺纹和第二段外螺纹，所述第一段外螺纹和所述第二段外螺纹之间具有光滑段，所述第一防辐射匀热板安装于所述光滑段处。5.根据权利要求2所述的退火设备，其特征在于，所述第一防辐射匀热板在所述第一方向上的两端向所述第一侧壁的一侧倾斜；优选的，所述第一防辐射匀热板在所述第一方向上的一端向所述第一侧壁倾斜的倾斜角度为X，所述第一防辐射匀热板在所述第一方向上的另一端向所述第一侧壁倾斜的倾斜角度为Y，其中，30
°
≤X≤50
°
，30
...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜力铭，秦心宇，胡双，苏文学，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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