一种可调整晶圆尺寸的晶圆吸盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可调整晶圆尺寸的晶圆吸盘，包括固定架，所述固定架的顶部通过转动件转动连接有矩形套筒，所述矩形套筒的一端贯穿固定架并延伸至固定架的底部，本实用新型专利技术涉及半导体技术领域。该可调整晶圆尺寸的晶圆吸盘，通过在矩形套筒的表面设置第一锥齿轮和在螺纹杆的表面设置与之相啮合的第二锥齿轮，使得吸盘需要调节距离来与硅晶圆片相匹配时，能够通过正向或者反向转动矩形套筒来联动四个螺纹杆进行转动，通过螺纹杆的转动，使得四个螺纹套能够通过支撑杆带动吸盘向固定架的四周扩散或者缩小，通过对四个吸盘的距离调节能够对不同尺寸大小的硅晶圆片进行吸附，进而提高其适用范围，增强其实用性。增强其实用性。增强其实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种可调整晶圆尺寸的晶圆吸盘


[0001]本技术涉及半导体
，具体为一种可调整晶圆尺寸的晶圆吸盘。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶圆片，硅晶圆片在制作时会按照需求尺寸制作出尺寸大小不同的硅晶圆片，在对硅晶圆片后续加工时为了避免其表面出现机械性损伤，一般会使用吸盘架底部的吸盘对其进行吸附，由于现有的吸盘其位置是固定设置的，致使吸盘的位置无法进行距离调节，从而导致吸盘的适用范围较小，无法对不同尺寸的硅晶圆片进行吸附工作。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本技术提供了一种可调整晶圆尺寸的晶圆吸盘，解决了晶圆吸盘因无法调节其距离而导致其适用范围较低的问题。
[0004]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种可调整晶圆尺寸的晶圆吸盘，包括固定架，所述固定架的顶部通过转动件转动连接有矩形套筒，所述矩形套筒的一端贯穿固定架并延伸至固定架的底部，所述矩形套筒的表面且位于固定架的底部固定连接有第一锥齿轮，所述固定架顶部的四周均开设有矩形通槽，所述矩形通槽内腔的较短的两侧之间通过转动件转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面固定连接有与第一锥齿轮相啮合的第二锥齿轮，所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的底部固定连接有支撑杆，所述支撑杆的一端依次贯穿矩形通槽和固定架并延伸至固定架的底部，所述支撑杆延伸至固定架底部的一端固定连接有吸盘。
[0005]优选的，所述矩形套筒内腔的两侧均开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的底部固定连接有弹簧，所述弹簧的底端固定连接于滑槽内腔的底部，两个所述滑块之间固定连接有活动杆，所述活动杆的一端贯穿矩形套筒并延伸至矩形套筒的底部，所述活动杆延伸至矩形套筒底部的一端固定连接有限位架。
[0006]优选的，所述固定架的底部固定连接有环形盘，所述环形盘的底部开设有若干个与限位架相适配的卡槽，且若干个卡槽呈环绕等距设置。
[0007]优选的，所述矩形通槽内腔较长的两侧均开设有限位槽，所述限位槽的内部滑动连接有限位块，两个所述限位块相对的一面均通过固定件与螺纹套的表面固定连接。
[0008]优选的，所述活动杆的顶端固定连接有压板。
[0009]有益效果
[0010]本技术提供了一种可调整晶圆尺寸的晶圆吸盘。与现有的技术相比具备以下有益效果：
[0011](1)该可调整晶圆尺寸的晶圆吸盘，通过在矩形套筒的表面设置第一锥齿轮和在螺纹杆的表面设置与之相啮合的第二锥齿轮，使得吸盘需要调节距离来与硅晶圆片相匹配时，能够通过正向或者反向转动矩形套筒来联动四个螺纹杆进行转动，通过螺纹杆的转动，
使得四个螺纹套能够通过支撑杆带动吸盘向固定架的四周扩散或者缩小，通过对四个吸盘的距离调节能够对不同尺寸大小的硅晶圆片进行吸附，进而提高其适用范围，增强其实用性。
[0012](2)该可调整晶圆尺寸的晶圆吸盘，通过在活动杆的底端设置限位架和在环形盘的底部开设若干个卡槽，使得四个吸盘在通过矩形套筒转动调节好位置后能够通过限位架和卡槽的配合，使得矩形套筒能够得到限位，进而避免矩形套筒因意外擦碰，而吸盘位置偏移的问题。
附图说明
[0013]图1为本技术的外部结构示意图；
[0014]图2为本技术固定架结构的俯视图；
[0015]图3为本技术固定架结构的仰视图；
[0016]图4为本技术矩形套筒结构的剖视图。
[0017]图中：1、固定架；2、矩形套筒；3、第一锥齿轮；4、矩形通槽；5、螺纹杆；6、第二锥齿轮；7、螺纹套；8、支撑杆；9、吸盘；10、滑槽；11、滑块；12、弹簧；13、活动杆；14、限位架；101、环形盘；15、卡槽；16、限位槽；17、限位块；18、压板。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1
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4，本技术提供以下技术方案：一种可调整晶圆尺寸的晶圆吸盘，包括固定架1，固定架1的顶部通过转动件转动连接有矩形套筒2，矩形套筒2的一端贯穿固定架1并延伸至固定架1的底部，矩形套筒2的表面且位于固定架1的底部固定连接有第一锥齿轮3，固定架1顶部的四周均开设有矩形通槽4，矩形通槽4内腔的较短的两侧之间通过转动件转动连接有螺纹杆5，螺纹杆5的表面固定连接有与第一锥齿轮3相啮合的第二锥齿轮6，螺纹杆5的表面螺纹连接有螺纹套7，矩形通槽4内腔较长的两侧均开设有限位槽16，限位槽16的内部滑动连接有限位块17，两个限位块17相对的一面均通过固定件与螺纹套7的表面固定连接，螺纹套7的底部固定连接有支撑杆8，支撑杆8的一端依次贯穿矩形通槽4和固定架1并延伸至固定架1的底部，支撑杆8延伸至固定架1底部的一端固定连接有吸盘9。
[0020]进一步的，为了便于对矩形套筒2进行限位，矩形套筒2内腔的两侧均开设有滑槽10，滑槽10的内部滑动连接有滑块11，滑块11的底部固定连接有弹簧12，弹簧12的底端固定连接于滑槽10内腔的底部，两个滑块11之间固定连接有活动杆13，活动杆13的一端贯穿矩形套筒2并延伸至矩形套筒2的底部，活动杆13延伸至矩形套筒2底部的一端固定连接有限位架14，为了便于工作人员按压活动杆13，活动杆13的顶端固定连接有压板18，固定架1的底部固定连接有环形盘101，环形盘101的底部开设有若干个与限位架14相适配的卡槽15，且若干个卡槽15呈环绕等距设置。
[0021]同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。
[0022]当需要对同批次尺寸较大的硅晶圆片进行吸附时，工作人员可以利用压板18对活动杆13进行按压，经过按压使得活动杆13带动限位架14进行下降，限位架14下降后会与卡槽15脱离限位配合，随后保持住按压力度并转动活动杆13，活动杆13转动后会联动矩形套筒2进行旋转，矩形套筒2旋转后会带动第一锥齿轮3转动，第一锥齿轮3转动后会与四个第二锥齿轮6形成啮合，进而使得第二锥齿轮6带动螺纹杆5进行转动，多个螺纹杆5同时转动后其表面的螺纹套7会通过支撑杆8带动吸盘9向固定架1的四周进行扩散，进而增大相邻两个吸盘9之间的间距，使其能够对尺寸较大的硅晶圆片进行稳固的吸附，当需要对尺寸较小的硅晶圆片进行吸附时，工作人员只需重复上述动作并反向转动活动杆13即可。
[0023]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可调整晶圆尺寸的晶圆吸盘，包括固定架(1)，其特征在于：所述固定架(1)的顶部通过转动件转动连接有矩形套筒(2)，所述矩形套筒(2)的一端贯穿固定架(1)并延伸至固定架(1)的底部，所述矩形套筒(2)的表面且位于固定架(1)的底部固定连接有第一锥齿轮(3)，所述固定架(1)顶部的四周均开设有矩形通槽(4)，所述矩形通槽(4)内腔的较短的两侧之间通过转动件转动连接有螺纹杆(5)，所述螺纹杆(5)的表面固定连接有与第一锥齿轮(3)相啮合的第二锥齿轮(6)，所述螺纹杆(5)的表面螺纹连接有螺纹套(7)，所述螺纹套(7)的底部固定连接有支撑杆(8)，所述支撑杆(8)的一端依次贯穿矩形通槽(4)和固定架(1)并延伸至固定架(1)的底部，所述支撑杆(8)延伸至固定架(1)底部的一端固定连接有吸盘(9)。2.根据权利要求1所述的一种可调整晶圆尺寸的晶圆吸盘，其特征在于：所述矩形套筒(2)内腔的两侧均开设有滑槽(10)，所述滑槽(10)的内部滑动连接有滑块(11)，所述滑块(11...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘烽，郭云静，
申请(专利权)人：河北西五科技有限公司，
类型：新型
国别省市：