一种晶圆传输系统的定位精度确定方法技术方案

本申请提供了一种晶圆传输系统的定位精度确定方法，该方法包括：获取目标晶圆上第一标记的第一目标图像以及目标晶圆上第二标记的第二目标图像；基于第一目标图像以及第二目标图像，确定第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置；基于第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置，利用第一标记、第二标记以及目标晶圆中心点三者的基准位置之间的位置关系，确定目标晶圆的中心点当前位置以及摆放角度；将目标晶圆的中心点当前位置与中心点基准位置、摆放角度与基准角度分别进行比较，确定晶圆传输系统的定位精度是否满足精度要求。通过采用上述晶圆传输系统的定位精度确定方法，解决了无法对晶圆传输系统的上片重复性定位精度进行准确测量的问题。精度进行准确测量的问题。精度进行准确测量的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆传输系统的定位精度确定方法


[0001]本申请涉及半导体
，具体而言，涉及一种晶圆传输系统的定位精度确定方法。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的快速发展，晶圆加工的关键尺寸逐渐减小，而晶圆加工的复杂程度却不断增加，对于晶圆的工艺要求也越来越高。晶圆的工艺水平主要取决于工艺加工精度以及晶圆传输精度，而晶圆的传输过程是由晶圆传输系统完成的，因此，为了保证晶圆传输精度就需要对晶圆传输系统的上片重复性定位精度进行测量。
[0003]目前，对于晶圆传输系统的上片重复性定位精度缺少较为准确的测量方法。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请的目的在于提供一种晶圆传输系统的定位精度确定方法，解决了无法对晶圆传输系统的上片重复性定位精度进行准确测量的问题。
[0005]第一方面，本申请实施例提供了一种晶圆传输系统的定位精度确定方法，应用于晶圆上片重复性检测系统，晶圆上片重复性检测系统包括晶圆承载平台，所述方法包括：
[0006]接收晶圆传输系统发送的目标晶圆已放入晶圆承载平台的转载完毕信号，获取目标晶圆上第一标记的第一目标图像以及目标晶圆上第二标记的第二目标图像；
[0007]基于第一目标图像以及第二目标图像，确定第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置；
[0008]基于第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置，利用第一标记、第二标记以及目标晶圆中心点三者的基准位置之间的位置关系，确定目标晶圆的中心点当前位置以及摆放角度；
[0009]将目标晶圆的中心点当前位置与中心点基准位置、摆放角度与基准角度分别进行比较，确定晶圆传输系统的定位精度是否满足精度要求。
[0010]可选地，晶圆上片重复性检测系统还包括第一相机以及第二相机；获取目标晶圆上第一标记的第一目标图像以及目标晶圆上第二标记的第二目标图像，包括：控制第一相机对目标晶圆上的第一标记进行拍照获取第一目标图像，同时控制第二相机对目标晶圆上的第二标记进行拍照获取第二目标图像。
[0011]可选地，基于第一目标图像以及第二目标图像，确定第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置，包括：利用图像匹配算法对第一目标图像以及第二目标图像进行解析，确定图像坐标系下第一标记的位置以及第二标记的位置；基于图像坐标系与测量坐标系的转换关系，将图像坐标系下第一标记的位置转换为测量坐标系下第一标记的位置，将图像坐标下第二标记的位置转换为测量坐标系下第二标记的位置；将测量坐标系下第一标记的位置确定为第一标记的当前位置，将测量坐标系下第二标记的位置确定为第二标记的当前位置。
[0012]可选地，基于第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置，利用第一标记、第二标记以及目标晶圆中心点三者的基准位置之间的位置关系，确定目标晶圆的中心点当前位置以及摆放角度，包括：基于第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置，利用第一标记的基准位置、第二标记的基准位置以及目标晶圆中心点的基准位置三者之间的位置关系，确定目标晶圆的中心点当前位置；确定第一标记的中心点以及第二标记的中心点；连接第一标记的中心点以及第二标记的中心点，得到标记中心点连线；将标记中心点连线的延长线与测量坐标系水平方向的夹角，确定为目标晶圆的摆放角度。
[0013]可选地，目标晶圆包括多个，方法还包括：将多个目标晶圆按顺序依次放入晶圆上片重复性检测系统的晶圆承载平台中；针对每个放入晶圆承载平台中的目标晶圆，确定该目标晶圆的中心点当前位置以及摆放角度；基于多个目标晶圆各自的中心点当前位置以及摆放角度，确定晶圆传输系统的定位精度是否满足精度要求。
[0014]可选地，基于多个目标晶圆的中心点当前位置以及摆放角度，确定晶圆传输系统的定位精度是否满足精度要求，包括：基于多个目标晶圆各自的中心点当前位置以及摆放角度，确定多个目标晶圆的综合位置偏差值以及综合角度偏差值；确定综合位置偏差值是否小于位置偏差阈值；确定综合角度偏差值是否小于角度偏差阈值；若综合位置偏差值小于位置偏差阈值且综合角度偏差值小于角度偏差阈值，则确定晶圆传输系统的定位精度满足要求；若综合位置偏差值不小于位置偏差阈值，和/或，综合角度偏差值不小于角度偏差阈值，则确定晶圆传输系统的定位精度不满足要求。
[0015]可选地，基于多个目标晶圆各自的中心点当前位置以及摆放角度，确定多个目标晶圆对应的综合位置偏差值以及综合角度偏差值，包括：计算多个目标晶圆各自的中心点当前位置分别与中心点基准位置的差值，得到多个位置差值；将多个位置差值的均值，确定为综合位置偏差值；计算多个目标晶圆各自的摆放角度分别与基准角度的差值，得到多个角度差值；将多个角度差值的均值，确定为综合角度偏差值。
[0016]第二方面，本申请实施例还提供了一种晶圆上片重复性检测系统，所述系统包括：
[0017]控制单元、第一相机、第二相机以及晶圆承载平台；
[0018]控制单元执行如上述晶圆传输系统的定位精度确定方法的步骤；
[0019]控制单元分别与第一相机、第二相机相连，以对第一相机以及第二相机进行控制；
[0020]第一相机以及第二相机位于晶圆承载平台的上方，以对晶圆承载平台上的目标晶圆进行拍照。
[0021]第三方面，本申请实施例还提供一种电子设备，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行如上述的晶圆传输系统的定位精度确定方法的步骤。
[0022]第四方面，本申请实施例还提供一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如上述的晶圆传输系统的定位精度确定方法的步骤。
[0023]本申请实施例带来了以下有益效果：
[0024]本申请实施例提供的一种晶圆传输系统的定位精度确定方法，能够通过第一相机和第二相机分别获取第一标记对用的第一目标图像以及第二标记对应的第二目标图像，并
根据第一目标图像以及第二目标图像确定目标晶圆的中心点当前位置以及摆放角度，以根据目标晶圆的中心点当前位置以及摆放角度，确定晶圆传输系统的定位精度是否达到精度要求，与现有技术中的晶圆传输系统的定位精度确定方法相比，解决了无法对晶圆传输系统的上片重复性定位精度进行准确测量的问题。
[0025]为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0027]图1示出了本申请实施例所提供的晶圆传输系统的定位精度确定方法的流程图；
[0028]图2示出了本申请实施例所提供本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆传输系统的定位精度确定方法，其特征在于，应用于晶圆上片重复性检测系统，所述晶圆上片重复性检测系统包括晶圆承载平台，所述方法包括：接收晶圆传输系统发送的目标晶圆已放入所述晶圆承载平台的转载完毕信号，获取目标晶圆上第一标记的第一目标图像以及目标晶圆上第二标记的第二目标图像；基于所述第一目标图像以及第二目标图像，确定第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置；基于第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置，利用第一标记、第二标记以及目标晶圆中心点三者的基准位置之间的位置关系，确定目标晶圆的中心点当前位置以及摆放角度；将所述目标晶圆的中心点当前位置与中心点基准位置、摆放角度与基准角度分别进行比较，确定晶圆传输系统的定位精度是否满足精度要求。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述晶圆上片重复性检测系统还包括第一相机以及第二相机；所述获取目标晶圆上第一标记的第一目标图像以及目标晶圆上第二标记的第二目标图像，包括：控制第一相机对目标晶圆上的第一标记进行拍照获取第一目标图像，同时控制第二相机对目标晶圆上的第二标记进行拍照获取第二目标图像。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一目标图像以及第二目标图像，确定第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置，包括：利用图像匹配算法对所述第一目标图像以及第二目标图像进行解析，确定图像坐标系下第一标记的位置以及第二标记的位置；基于图像坐标系与测量坐标系的转换关系，将图像坐标系下第一标记的位置转换为测量坐标系下第一标记的位置，将图像坐标下第二标记的位置转换为测量坐标系下第二标记的位置；将测量坐标系下第一标记的位置确定为第一标记的当前位置，将测量坐标系下第二标记的位置确定为第二标记的当前位置。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置，利用第一标记、第二标记以及目标晶圆中心点三者的基准位置之间的位置关系，确定目标晶圆的中心点当前位置以及摆放角度，包括：基于所述第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置，利用第一标记的基准位置、第二标记的基准位置以及目标晶圆中心点的基准位置三者之间的位置关系，确定目标晶圆的中心点当前位置；确定第一标记的中心点以及第二标记的中心点；连接所述第一标记的中心点以及所述第二标记的中心点，得到标记中心点连线；将标记中心点连线的延长线与测量坐标系水平方向的夹角，确定为目标晶圆的摆放角度。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标...

【专利技术属性】
技术研发人员：王家林，菅彦彬，祁雪飞，牛岩，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：