一种新型冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种新型冷却装置,包括滤筒、滤芯和制冷系统，滤筒内部设置有至少一组用于安装滤芯的过滤腔，制冷系统控制滤芯以及过滤腔的温度，滤芯用于对气体或/和液体的冷却过滤，本实用新型专利技术设计冷却装置对尾气和尾液进行冷却过滤处理，在对尾气和尾液冷却的同时收集有害物质以及冷却时产生的结晶物、杂质等，对泵起到关键性的保护作用，极大地延长了泵的维护周期，本实用新型专利技术的密封圈采用耐酸碱腐蚀材质、滤筒的滤筒涂层采用耐酸碱腐蚀材质，滤芯的滤芯涂层采用耐酸碱腐蚀材质，以确保在冷却过滤高温腐蚀性气体时密封圈、滤筒以及滤芯的耐受性。及滤芯的耐受性。及滤芯的耐受性。

【技术实现步骤摘要】
一种新型冷却装置


[0001]本技术属于半导体制造和太阳能光伏电池制造领域，涉及一种新型冷却装置。

技术介绍

[0002]现有的气体、液体冷却结构大多采用风冷、水冷的结构形式，不能用于快速冷却腐蚀性气体的需求工况，而现有的高温腐蚀性气体冷却方式有限，大多采用石英盘管、石英盘管浴水冷、石英盘+风冷，金属盘管镀层+水冷、风冷等方式，但是存在石英易碎，冷却效果有限等缺陷，本技术有效地解决了这种问题。

技术实现思路

[0003]本技术为了克服现有技术的不足，提供一种新型冷却装置。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种新型冷却装置,其特征在于：包括滤筒、滤芯和制冷系统，滤筒内部设置有至少一组用于安装滤芯的过滤腔，制冷系统控制滤芯以及过滤腔的温度，滤芯用于对气体或/和液体的冷却过滤。
[0005]进一步的；所述滤筒包括筒体、筒板和滤盖，筒体和筒板固设连接，滤盖与筒板固定连接，使过滤腔形成密闭的空间，筒体固设有与过滤腔连通的至少一组进气口和至少一组出气口，进气口、过滤腔以及出气口形成尾气和尾液的流通通道。
[0006]进一步的；所述滤筒的内表面设有滤筒涂层，滤筒涂层采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质。
[0007]进一步的；还包括密封结构，密封结构包括密封圈，筒板或滤盖上固设有密封槽，密封圈安装在密封槽内，密封圈采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质。
[0008]进一步的；所述滤芯可拆卸安装在滤盖，便于安装拆卸以及维修和检修，滤芯的长度与筒体的长度相配，滤芯外表面固设有滤芯涂层，滤芯涂层采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质。
[0009]进一步的；所述制冷系统包括制冷装置和散热装置，制冷装置对滤芯或/和滤筒制冷，散热装置用于制冷装置的散热，散热装置包括散热座，散热座通过固定板固定安装在滤盖上，散热座上固设有至少一组散热管道，散热管道的进口以及出口分别与散热进口以及散热出口连接，散热座上固设有腔体,制冷装置安装在腔体内，散热装置在散热管道内通入冷却介质。
[0010]进一步的；所述制冷装置包括半导体冷端和半导体热端，半导体热端安装在腔体内，散热装置通过冷却介质使半导体热端处于散热状态，半导体冷端设置在滤芯或/和滤筒，半导体冷端安装在滤芯的外表面或内部，或/和半导体冷端安装在滤筒的内表面，半导体冷端对滤芯或/滤筒进行冷却。
[0011]进一步的；还包括自动清洗装置，自动清洗装置包括清洗介质，清洗介质将滤芯或/滤筒收集的有害物质以及结晶物、杂质进行清理。
[0012]进一步的；还包括干燥装置，干燥装置使冷却装置在清洗或过滤后保持干燥状态。
[0013]进一步的；所述筒体和筒板一体成型，冷却介质采用液体、气体或两者混合物。
[0014]综上所述，本技术的有益之处在于：
[0015]1)本技术设计冷却装置对尾气和尾液进行冷却过滤处理，在对尾气和尾液冷却的同时收集有害物质以及冷却时产生的结晶物、杂质等，对泵起到关键性的保护作用，极大地延长了泵的维护周期。
[0016]2)、本技术在滤筒设计密封结构，保证滤腔的密封性。
[0017]3)、本技术的密封圈采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质、滤筒的滤筒涂层采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质，滤芯的滤芯涂层采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质，以确保在冷却过滤高温腐蚀性气体时密封圈、滤筒以及滤芯的耐受性。
[0018]4)、本技术的制冷装置采用半导体制冷原理对滤芯或/和滤筒进行制冷，散热装置对制冷装置进行散热，达到快速冷却的目的。
[0019]5)、本技术中滤芯可拆卸安装在滤盖，便于安装拆卸以及维修和检修，方便去除滤芯收集的有害物质以及冷却时产生的结晶物、杂质等，方便直接更换其中若干滤芯。
[0020]6)、本技术中冷却装置通过清洗介质进行自动清洗，可将滤芯或/滤筒收集的有害物质以及结晶物、杂质等自动清理，有害物质以及结晶物、杂质等和清洗后的介质排出至废气和废液收集装置，从而实现了冷却装置在线自维护功能以及杂质在线收集和自动清理功能。
[0021]7)、本技术的冷却装置可对真空系统产生的真空尾气和尾液中的有害物质进行冷却过滤，对泵起到了关键性的保护作用，极大地延长了泵的维护周期，也可对高温腐蚀性气体、特气、高温气体和液体、气液混合物、液体等流体进行快速冷却以及过滤，适用范围广。
附图说明
[0022]图1为本技术的流程图示意图。
[0023]图2为本技术的冷却装置示意图。
[0024]图3为图2中A
‑
A的剖切示意图。
[0025]图4为本技术的冷却装置分解示意图。
[0026]图中标识：管道总路11、第一管道分路12、第二管道分路13、加热装置2、真空腔室3、冷却装置4、滤筒41、过滤腔411、出气口412、进气口413、筒板414、筒体415、滤盖416、密封槽417、滤芯42、密封圈44、固定板45、半导体冷端461、半导体热端462、散热座47、散热出口471、散热进口472、散热管道473、腔体474、泵5、第一管路31、第二管路61、第三管路62。
具体实施方式
[0027]以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况
下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0028]需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，遂图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0029]本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、横向、纵向
……
)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0030]实施例一：
[0031]如图1
‑
4所示，一种新型冷却装置，包括冷却模组、泵5和清洗管道，冷却模组对尾气和尾液进行处理，清洗管道至少与泵5连通，清洗介质沿清洗管道通入泵5对泵5进行清洗。
[0032]本实施例中，清洗介质可采用气体，如氮气；或液体，如水，或者气液混合物。
[0033]本实施例的处理系统用于处理真空系统产生的真空尾气和尾液，特别是用于特气、腐蚀性气体、液体的处理，处理系统还包括废气和废液收集装置(图未显示)以及尾气和尾液收集装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型冷却装置,其特征在于：包括滤筒、滤芯和制冷系统，滤筒内部设置有至少一组用于安装滤芯的过滤腔，制冷系统控制滤芯以及过滤腔的温度，滤芯用于对气体或/和液体的冷却过滤。2.根据权利要求1所述的一种新型冷却装置，其特征在于：所述滤筒包括筒体、筒板和滤盖，筒体和筒板固设连接，滤盖与筒板固定连接，使过滤腔形成密闭的空间，筒体固设有与过滤腔连通的至少一组进气口和至少一组出气口，进气口、过滤腔以及出气口形成尾气和尾液的流通通道。3.根据权利要求1所述的一种新型冷却装置，其特征在于：所述滤筒的内表面设有滤筒涂层，滤筒涂层采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质。4.根据权利要求2所述的一种新型冷却装置，其特征在于：还包括密封结构，密封结构包括密封圈，筒板或滤盖上固设有密封槽，密封圈安装在密封槽内，密封圈采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质。5.根据权利要求2所述的一种新型冷却装置，其特征在于：所述滤芯可拆卸安装在滤盖，便于安装拆卸以及维修和检修，滤芯的长度与筒体的长度相配，滤芯外表面固设有滤芯涂层，滤芯涂层采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质。6.根据权利要求2所述的一种新型冷却装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，朱太荣，刘再福，肖阳，姜毅，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：