本实用新型专利技术公开了一种集成电路生产安装装置，包括底板、纵向导电轨道、电动伸缩杆、横向导电轨道和安装盘，所述安装盘上设置有弹性防刮层且所述弹性防刮层和安装盘的上端均设置有若干组成环性排列且直径不断变大的通孔，所述安装盘的内腔设置有密封件和带动多组密封件依次运动的驱动件，所述安装盘上设置有可与气泵连接的进气管和安装有电动阀门的出气管。本实用新型专利技术所述的一种集成电路生产安装装置，通过抽真空的方式将晶圆的底面吸附在安装盘上，并设置有驱动件和密封件，可根据晶圆放置在安装盘上时其覆盖的通孔来控制圆环向下运动的组数，根据晶圆的大小调节吸附固定点的数目，便于对晶圆进行稳定地安装固定。便于对晶圆进行稳定地安装固定。便于对晶圆进行稳定地安装固定。
【技术实现步骤摘要】
一种集成电路生产安装装置
[0001]本技术涉及集成电路领域，特别涉及一种集成电路生产安装装置。
技术介绍
[0002]集成电路一般通过光刻机雕刻在晶圆上，晶圆，也叫基片，是指制造半导体晶体管或集成电路的衬底，在集成电路雕刻生产的过程中，通常是利用抽真空的方式将晶圆固定安装在安装盘上，而由于安装盘上设置的真空吸附点的数目为固定式的，无法根据晶圆的直径大小调节真空吸附点数目，导致晶圆的安装固定效果差，故此，我们提出一种集成电路生产安装装置来解决此问题。
技术实现思路
[0003]本技术的主要目的在于提供一种集成电路生产安装装置，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0005]一种集成电路生产安装装置，包括底板、纵向导电轨道、电动伸缩杆、横向导电轨道和安装盘，所述电动伸缩杆的下端通过纵向导电块与纵向导电轨道连接，所述横向导电轨道安装在电动伸缩杆的输出端，所述横向导电轨道通过横向导电滑块与放安装盘连接，所述安装盘上设置有弹性防刮层且所述弹性防刮层和安装盘的上端均设置有若干组成环性排列且直径不断变大的通孔，所述安装盘的内腔设置有密封件和带动多组密封件依次运动的驱动件，所述安装盘上设置有可与气泵连接的进气管和安装有电动阀门的出气管。
[0006]优选的，所述密封件包括若干组直径不一的圆环且多组圆环共轴心且同平面，若干组所述圆环的底部均呈对称设置有两组柱体且所述柱体上设有开口，位于外围圆环上的柱体上设置的开口的下端位于相邻的小直径的圆环上的柱体上设置的开口的下方，若干组所述圆环的下端均固定有若干组复位弹簧且所述复位弹簧的下端与安装盘的内腔底部固定连接。
[0007]优选的，所述复位弹簧为金属材料制成，所述复位弹簧的外表面上设置有一层镀锌层。
[0008]优选的，所述驱动件包括螺杆，所述螺杆的上端转动设置在安装盘的内腔顶部的轴心处，所述螺杆的下端密封贯穿安装盘并与转动块连接，所述螺杆的上端上螺纹套有螺纹管且所述螺纹管的两端呈对称设置有横杆，两组所述横杆分别穿过位于同侧设置的若干组开口并与立柱固定连接，两组所述立柱的下端密封贯穿安装盘，若干组所述圆环的上端均固定有弹性密封垫且所述弹性密封垫的上端将与其相对应的环形设置的若干组通孔密封柱。
[0009]优选的，所述螺杆、螺纹管、横杆和立柱均由不锈钢材料制成。
[0010]优选的,所述安装盘的内腔设置有气压传感器且所述气压传感器与控制泵体和电动阀门进行放气排气的控制器电性连接。
[0011]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0012]在本技术中，通过抽真空的方式将晶圆的底面吸附在安装盘上，并设置有驱动件和密封件，可根据晶圆放置在安装盘上时其覆盖的通孔来控制圆环向下运动的组数，可保持被晶圆覆盖的所有通孔均与安装盘的内腔相通，根据晶圆的大小调节吸附固定点的数目，便于对晶圆进行稳定地安装固定。
附图说明
[0013]图1为本技术一种集成电路生产安装装置的整体结构图；
[0014]图2为本技术一种集成电路生产安装装置的安装盘正视剖面图；
[0015]图3为本技术一种集成电路生产安装装置的密封件结构图。
[0016]图中：1、底板；2、纵向导电块；3、纵向导电轨道；4、电动伸缩杆；5、横向导电轨道；6、横向导电滑块；7、安装盘；8、驱动件；81、螺杆；82、螺纹管；83、横杆；84、立柱；9、密封件；91、圆环；92、复位弹簧；93、柱体；94、开口；10、弹性防刮层；11、通孔；12、气压传感器。
具体实施方式
[0017]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0018]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0019]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0020]如图1
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3所示，一种集成电路生产安装装置，包括底板1、纵向导电轨道3、电动伸缩杆4、横向导电轨道5和安装盘7，电动伸缩杆4的下端通过纵向导电块2与纵向导电轨道3连接，横向导电轨道5安装在电动伸缩杆4的输出端，横向导电轨道5通过横向导电滑块6与放安装盘7连接，安装盘7上设置有弹性防刮层10且弹性防刮层10和安装盘7的上端均设置有若干组成环性排列且直径不断变大的通孔11，安装盘7的内腔设置有密封件9和带动多组密封件9依次运动的驱动件8，安装盘7上设置有可与气泵连接的进气管和安装有电动阀门的出气管。
[0021]密封件9包括若干组直径不一的圆环91且多组圆环91共轴心且同平面，若干组圆环91的底部均呈对称设置有两组柱体93且柱体93上设有开口94，位于外围圆环91上的柱体93上设置的开口94的下端位于相邻的小直径的圆环91上的柱体93上设置的开口94的下方，若干组圆环91的下端均固定有若干组复位弹簧92且复位弹簧92的下端与安装盘7的内腔底部固定连接，驱动件8包括螺杆81，螺杆81的上端转动设置在安装盘7的内腔顶部的轴心处，
螺杆81的下端密封贯穿安装盘7并与转动块连接，螺杆81的上端上螺纹套有螺纹管82且螺纹管82的两端呈对称设置有横杆83，两组横杆83分别穿过位于同侧设置的若干组开口94并与立柱84固定连接，两组立柱84的下端密封贯穿安装盘7，若干组圆环91的上端均固定有弹性密封垫且弹性密封垫的上端将与其相对应的环形设置的若干组通孔11密封柱，可将晶圆防止在安装盘7的轴心处并覆盖最里面的通孔11，通过控制器控制泵体工作将安装盘7内部气体抽走从而将晶圆吸附固定在安装盘7上，当需要对大直径的晶圆进行安装固定时，可通过转动螺杆81使得螺纹管82带动两组横杆83向下运动，并依次由内到外第带动圆环91进行向下运动，可根据晶圆放置在安装盘7上时其覆盖的通孔11来控制圆环91向下运动的组数，可保持被晶圆覆盖的所有通孔11均与安装盘7的内腔相通，可根据晶圆的大小调吸附固定点的数目，便于对晶圆进行稳定地安装固定。
[0022]复位弹簧92为金属材料制成，复位弹簧92的外表面上设置有一层镀锌层，可防止复位弹簧92受到腐蚀，从而影响本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种集成电路生产安装装置，包括底板(1)、纵向导电轨道(3)、电动伸缩杆(4)、横向导电轨道(5)和安装盘(7)，所述电动伸缩杆(4)的下端通过纵向导电块(2)与纵向导电轨道(3)连接，所述横向导电轨道(5)安装在电动伸缩杆(4)的输出端，所述横向导电轨道(5)通过横向导电滑块(6)与放安装盘(7)连接，其特征在于：所述安装盘(7)上设置有弹性防刮层(10)且所述弹性防刮层(10)和安装盘(7)的上端均设置有若干组成环性排列且直径不断变大的通孔(11)，所述安装盘(7)的内腔设置有密封件(9)和带动多组密封件(9)依次运动的驱动件(8)，所述安装盘(7)上设置有可与气泵连接的进气管和安装有电动阀门的出气管。2.根据权利要求1所述的一种集成电路生产安装装置，其特征在于：所述密封件(9)包括若干组直径不一的圆环(91)且多组圆环(91)共轴心且同平面，若干组所述圆环(91)的底部均呈对称设置有两组柱体(93)且所述柱体(93)上设有开口(94)，位于外围圆环(91)上的柱体(93)上设置的开口(94)的下端位于相邻的小直径的圆环(91)上的柱体(93)上设置的开口(94)的下方，若干组所述圆环(91)的下端均固定有若干组复位弹簧(92)且所述复位弹簧(92)的下端与安装盘(7)的内腔底部...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡军，张琳，
申请(专利权)人：深圳市安姆伯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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