【技术实现步骤摘要】
多元示漏气体检漏系统及其检测方法
[0001]本专利技术属于检测被检件微量气体泄漏的检测设备及其检测方法,特别是一种多元示漏气体检漏系统及其检测方法。
技术介绍
[0002]氦质谱检漏仪因检漏灵敏度高、仪器响应快、定位定量精准,氦在高真空环境中扩散速度高,所以氦质谱检漏仪在许多领域里均得到广泛应用,如汽车制造业、航空航天、输气管道、卫星等。氦质谱检漏仪因只能检测氦,使得检漏仪的应用范围以及研究范围受限。氦质谱检漏仪只能检测氦,在检漏工艺中发现泄漏信号检漏本底被污染后,靠仪器清除氦本底需要很长时间,而且也很难到达原来的本底水平,会影响检漏的效率和检漏结果的可靠性。在一些密封性要求高、时效性要求高的场合氦质谱检漏仪就很满足。考虑更换其他种类的示漏气体,一旦检漏系统本底污染后更换其它示漏气体进行复检,可不受原有被污染本底的影响,快速进行复检。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于提供一种多元示漏气体检漏系统及其检测方法,本专利技术不仅可以实现被检件氦示漏气体微量泄漏的检测,而且可以实现被检件He、Kr、Ar等多种示漏气体的微量泄漏检测,真空系统残余气体成分的在线监测,示漏气体检漏效率高,检漏结果准确、可靠。
[0004]本专利技术的目的是这样实现的:一种多元示漏气体检漏系统,设置入口接口的入口管通过第3阀门连接着动态检漏室的第一进口,其第一出口管通过第4阀门连接着第一负压标准漏孔的进口,动态检漏室的第二出口管通过第6阀门连接着质谱室的第一进口,质谱室的第一出口管通过第7阀门连接着四极质谱计 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多元示漏气体检漏系统,其特征是:设置入口接口(1)的入口管通过第3阀门(2)连接着动态检漏室(3)的第一进口,其第一出口管通过第4阀门(4)连接着第一负压标准漏孔(5)的进口,动态检漏室(3)的第二出口管通过第6阀门(6)连接着质谱室(7)的第一进口,质谱室(7)的第一出口管通过第7阀门(8)连接着四极质谱计(9),质谱室(7)的第二出口管依次连接着第9阀门(10)、分子泵(11)和前级泵(12),在分子泵(11)与前级泵(12)之间的连接管上设置着支路,支路通过第5阀门(15)连接着动态检漏室(3)的第三出口,质谱室(7)的第三出口管依次连接着第8阀门(13)和吸附泵(14),正压标准漏孔(16)的出口管上依次设置着第2阀门(17)和连接端口(18),连接端口(18)与吸枪(19)吸嘴相配合,吸枪(19)的出口管通过第1阀门(20)连接着入口管,入口管连接的支路通过第11阀门(21)连接着真空累积室(22)的第一进口,该室的第一出口管通过第10阀门(23)连接着质谱室(7)第二进口,真空累积室(22)的第二出口管依次连接着第12阀门(24)和第二负压标准漏孔(25)。2.根据权利要求1所述的多元示漏气体检漏系统的检测方法,其特征是:多元示漏气体检漏系统的检漏检测法有质谱常压检漏检测法、质谱真空动态检漏检测法和质谱真空累积检漏检测法。3.根据权利要求2所述的多元示漏气体检漏系统的检测方法,其特征是:质谱常压检漏检测法有如下步骤:
①
采用氮气作为示漏气体,打开第3、第5阀门(2、15),开启前级泵(12)抽到真空度为1500Pa时,打开第9阀门(10)和分子泵(11),抽到真空度为20Pa时,打开第1阀门(20),待系统本底稳定后,打开第2阀门(17),若采用其它气体作为示漏气体,保持前期阀门开启状态不变,再打开第7阀门(8);
②
用吸枪(19)分别嗅吸正压标准漏孔(16)和在大气环境或工作环境条件下,被检件周围或可疑泄漏部位含有示漏气体的常压空气经吸枪(19)和动态检漏室(3),进入质谱室(7),通过比较动态条件下,正压标准漏孔(16)出口和被检件周围两种不同检测条件下,四级质谱计(9)分别给出示漏气体离子流强度值,其中Q
S
为正压标准漏孔标准值,单位均为Pa
·
m3/s;I
L
为吸枪嗅吸被检件周围或可疑泄漏部位时,四极质谱计显示的离子流强度值,I
S
为吸枪嗅吸正压标准漏孔出口时,四极质谱计显示的离子流强度值,I
O
为吸枪嗅吸环境本底时,四极质谱计显示的离子流强度值,单位均为Pa;
③
采用公式计算获得被检件泄漏值,其中Q
L
为被检件泄漏值。4.根据权利要求2所述的多元示漏气体检漏系统的检测方法,其特征是:质谱真空动态检漏检测法有如下步骤:
①
采用氮气作为示漏气体,将被检件的真空侧与入口管的接口(1)相连接,打开第3阀门(2)和第5阀门(15),开启前级泵(12)抽到真空度为1500Pa时,打开第9阀门(10)和...
【专利技术属性】
技术研发人员:白国云,廖旭东,潘荣敏,陈涛,陶宏博,胡新东,常君兰,李艳霞,
申请(专利权)人:中国人民解放军六三六五三部队,
类型:发明
国别省市:
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