氟基表面活性剂组合物制造技术

本发明专利技术涉及一种表面张力和界面张力中的任一种以上优异的表面活性剂组合物，并且涉及一种包含氟基表面活性剂和磷脂基表面活性剂且还可以选择性地包含磺基琥珀酸酯基表面活性剂的表面活性剂组合物。性剂的表面活性剂组合物。

【技术实现步骤摘要】
氟基表面活性剂组合物


[0001]本专利技术涉及一种氟基表面活性剂组合物及其用途。

技术介绍

[0002]将表面活性剂配制为组合物，从而降低表面张力，由此可以提高该组合物的涂布扩散容易性、渗透性等。
[0003]氟基表面活性剂具有氟特有的低表面张力和拒水性以及拒油性等表面特性，因此用作代表性的表面改性剂和表面活性剂。在剂型中添加氟基表面活性剂可以提高例如润湿行为、平滑化(leveling)特性以及降低界面张力、表面张力数值等剂型的特性。受影响的特定特性依赖于各表面活性剂的特定组成和特定剂型。
[0004]特别地，半导体剥离液或清洗液的情况下，随着集成电路的高密度化，图案变得微细化和复杂化，由此对具有更低的表面张力和界面张力数值的剥离液或清洗液的需求在增加。
[0005][现有技术文献][0006][专利文献][0007](专利文献0001)韩国公开专利第10
‑
1999
‑
0082249号
[0008](专利文献0002)韩国公开专利第10
‑
2007
‑
0113096号
[0009](专利文献0003)韩国公开专利第10
‑
2002
‑
0001754号
[0010](专利文献0004)韩国公开专利第10
‑
2013
‑
0000705号
[0011](专利文献0005)韩国公开专利第10
‑
2017r/>‑
0054435号
[0012](专利文献0006)国际公开专利WO2018
‑
119028号

技术实现思路

[0013]要解决的技术问题
[0014]本专利技术人为了解决如上所述的问题而反复研究的结果，通过氟基表面活性剂和烃基表面活性剂的组合，提供一种具有显著低的界面张力数值和优异的表面张力的表面活性剂组合物。
[0015]本专利技术的一个方面提供一种包含氟基表面活性剂和烃基表面活性剂，特别是包含磷脂基表面活性剂的表面活性剂组合物。
[0016]在本专利技术的一个方面，所述烃基表面活性剂可以包含磷脂基表面活性剂和磺基琥珀酸酯基表面活性剂。
[0017]在本专利技术的一个方面，所述磷脂基表面活性剂可以是双子(Gemini)型表面活性剂。
[0018]本专利技术的另一个方面提供一种制备所述表面活性剂组合物的方法。
[0019]本专利技术的目的并不受限于上面提及的目的。通过以下说明，本专利技术的目的会变得更清楚，并且可以通过权利要求书中记载的方法及其组合实现。
[0020]技术方案
[0021]本专利技术的一个方面提供一种组合物，其包含氟基表面活性剂和磷脂基表面活性剂，所述组合物用作表面活性剂。
[0022]在本专利技术的一个方面，提供一种组合物，其中，所述磷脂基表面活性剂为双子型化合物。
[0023]在本专利技术的一个方面，提供一种组合物，其中，所述磷脂基表面活性剂为两亲性双子型化合物。
[0024]在本专利技术的一个方面，提供一种组合物，其中，所述氟基表面活性剂为非离子表面活性剂。
[0025]在本专利技术的一个方面，提供一种组合物，其中，所述氟基表面活性剂由以下化学式1表示：
[0026][化学式1][0027]Rf
‑
(CH2)y
‑
(CH2CH2O)x
‑
H
[0028]在所述式中，Rf为直链或侧链的全氟烷基，并且全氟烷基的碳原子数为1至10，x为1至50的整数，y为1至10的整数。
[0029]在本专利技术的一个方面，提供一种组合物，其中，以1:1至50的重量比包含所述磷脂基表面活性剂和所述氟基表面活性剂。
[0030]在本专利技术的一个方面，提供一种组合物，其中，以1:2至15的重量比包含所述磷脂基表面活性剂和所述氟基表面活性剂。
[0031]在本专利技术的一个方面，提供一种组合物，其中，所述组合物还包含磺基琥珀酸酯基表面活性剂。
[0032]在本专利技术的一个方面，提供一种组合物，其中，所述组合物以1:0.1至3.0:0.1至3.0的重量比包含氟基表面活性剂、磷脂基表面活性剂和磺基琥珀酸酯基表面活性剂。
[0033]在本专利技术的一个方面，提供一种组合物，其中，所述组合物以1:0.1至1.0:0.1至2.0的重量比包含氟基表面活性剂、磷脂基表面活性剂和磺基琥珀酸酯基表面活性剂。
[0034]在本专利技术的一个方面，提供一种组合物，其中，所述磷脂基表面活性剂由以下化学式2表示：
[0035][化学式2][0036][0037]在所述化学式2中，R1为C1
‑
C22的直链状或支链状的饱和烷基；R2、R3和R4彼此相同或不同地为氢原子或C1
‑
C3的饱和烷基；X
‑
为卤素阴离子；Z
+
为碱金属阳离子。
[0038]在本专利技术的一个方面，提供一种组合物，其中，所述磺基琥珀酸酯基表面活性剂由以下化学式3表示：
[0039][化学式3][0040][0041]在所述化学式3中，R1和R2彼此相同或不同地为C1
‑
C22的直链状或支链状的饱和烷基；Z
+
为碱金属阳离子。
[0042]在本专利技术的一个方面，提供一种组合物，其中，所述组合物满足以下特性中的任一种以上：
[0043](a)组合物的表面张力为27以下；以及
[0044](b)组合物的界面张力为3以下。
[0045]在本专利技术的一个方面，提供一种组合物，其中，所述组合物在半导体或显示器工艺中用作表面活性剂。
[0046]有益效果
[0047]本专利技术的一个方面的组合物提供界面张力为3以下的效果。
[0048]本专利技术的一个方面的组合物提供界面张力为2.5以下的效果。
[0049]本专利技术的一个方面的组合物提供界面张力为2.0以下的效果。
[0050]本专利技术的一个方面的组合物提供表面张力为27以下的效果。
[0051]本专利技术的一个方面的组合物提供界面张力为3以下的同时表面张力为27以下的效果。
[0052]本专利技术的一个方面的组合物的涂布扩散容易性和渗透性优异。
[0053]本专利技术的一个方面的组合物显示出氟特有的低表面张力和拒水性以及拒油性等表面特性。
[0054]本专利技术的一个方面的组合物可以用作表面改性剂或表面活性剂。
[0055]本专利技术的一个方面的组合物可以用作在半导体或显示器工艺中常用的剥离液。
[0056]本专利技术的一个方面的组合物可以用作在半导体或显示器工艺中常用的清洗液。
[0057]本专利技术的效果并不受限于上面提及的效果。应理解，本专利技术的效果包括可以从以下的说明中推导出的所有效果。
具体实施方式
[0058]通过以下优选的实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种组合物，其包含氟基表面活性剂和磷脂基表面活性剂，所述组合物用作表面活性剂。2.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述磷脂基表面活性剂为双子型化合物。3.根据权利要求2所述的组合物，其中，所述磷脂基表面活性剂为两亲性双子型化合物。4.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述氟基表面活性剂为非离子表面活性剂。5.根据权利要求4所述的组合物，其中，所述氟基表面活性剂由以下化学式1表示：[化学式1]Rf
‑
(CH2)y
‑
(CH2CH2O)x
‑
H在所述式中，Rf为直链或侧链的全氟烷基，并且全氟烷基的碳原子数为1至10，x为1至50的整数，y为1至10的整数。6.根据权利要求1所述的组合物，其中，以1:1至50的重量比包含所述磷脂基表面活性剂和所述氟基表面活性剂。7.根据权利要求6所述的组合物，其中，以1:2至15的重量比包含所述磷脂基表面活性剂和所述氟基表面活性剂。8.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述组合物还包含磺基琥珀酸酯基表面活性剂。9.根据权利要求8所述的组合物，其中，所述组合物以1:0.1至3.0:0.1至3.0的重量比包含氟基表面活性剂、磷脂基表面活性剂和磺基琥珀酸酯基表面活性...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜儇瞮，郑元俊，金芙铉，柳铉泌，朴基镐，辛源国，金炳助，
申请(专利权)人：爱敬化学株式会社，
类型：发明
国别省市：