多晶硅压片机用易于维护的螺杆真空泵制造技术

技术编号:33772008 阅读:19 留言:0更新日期:2022-06-12 14:24
本实用新型专利技术公开了多晶硅压片机用易于维护的螺杆真空泵,涉及螺杆真空泵设备技术领域,包括真空泵主体、进气管、安装块、空腔、底座、齿轮、隔板、滤网、活动块、压缩弹簧、触点、警示灯、不完全齿轮、伺服电机、连接杆、把手、滑槽、U形块、丝杆、刮板和圆盘。本实用新型专利技术通过隔板和齿轮配合,当滤网出现堵塞现象时,可通过转动隔板来完成滤网的更换,便于完成滤网的更换工作,使得装置便于清洁维护,保证了装置的工作效果,通过设置丝杆和刮板,可通过调整刮板的高度和刮板的左右运动,将滤网顶部的杂质推动至空腔的内部,完成滤网的清洁工作,无需频繁拆卸滤网,保证了装置的工作效果。保证了装置的工作效果。保证了装置的工作效果。

【技术实现步骤摘要】
多晶硅压片机用易于维护的螺杆真空泵


[0001]本技术涉及螺杆真空泵设备
,具体为多晶硅压片机用易于维护的螺杆真空泵。

技术介绍

[0002]螺杆真空泵是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,它是油封式真空泵的更新换代产品,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,在国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。螺杆真空泵具有抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点,多晶硅压片机在工作的过程中通常需要使用螺杆真空泵进行抽真空工作,多晶硅压片机用螺杆真空泵在工作一段时间之后,被抽气体中的灰尘容易堆积在装置的内部,通常需要安装滤网来对于空气进行过滤工作,避免灰尘进入装置的内部。
[0003]现有的多晶硅压片机用螺杆真空泵长时间的工作后,滤网容易出现堵塞现象,滤网难以进行更换工作,导致装置不便于进行清洁维护工作,影响装置的工作效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供多晶硅压片机用易于维护的螺杆真空泵,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了解决上述技术问题,本技术提供如下技术方案:多晶硅压片机用易于维护的螺杆真空泵,包括真空泵主体,所述真空泵主体顶部设有进气管,所述进气管外壁一侧设有安装块,所述安装块内部开设有空腔,所述空腔与所述进气管连通,所述空腔内壁设有滑动连接的底座,所述底座顶部设有转动连接的齿轮,所述齿轮顶部设有隔板,所述隔板外壁两侧对称设有滑动连接的滤网,所述隔板外壁于所述滤网下方设有滑动连接的活动块,所述活动块与所述齿轮外壁相邻一侧设有同一个压缩弹簧,所述隔板外壁设有警示机构,所述底座顶部设有转向机构,所述空腔顶部设有清洁机构。
[0006]进一步的,所述警示机构包括两个触点,两个所述触点对称设置于所述隔板外壁两侧,所述触点位于所述滤网下方,所述触点位于所述压缩弹簧一侧,所述安装块外壁一侧设有警示灯,所述触点与所述警示灯电性连接,当滤网顶部的杂质过多时,对于工作人员起到警示作用。
[0007]进一步的,所述转向机构包括不完全齿轮,所述不完全齿轮转动设置于所述底座顶部,所述不完全齿轮与所述齿轮啮合,所述底座内部于所述不完全齿轮一侧设有伺服电机,所述伺服电机输出轴与所述不完全齿轮固定连接,所述底座外壁远离所述进气管一侧设有连接杆,所述连接杆一端延伸至所述安装块外侧并套设有把手,对于滤网进行转向更换工作。
[0008]进一步的,所述空腔内壁设有与所述底座相匹配的滑轨,所述空腔内壁靠近所述进气管一侧设有密封块,滑轨保证了底座运动时的稳定性,密封块和隔板配合,对于空腔起
到密封作用,避免影响装置的抽真空工作。
[0009]进一步的,所述清洁机构包括滑槽,所述滑槽开设于所述空腔内壁顶部,所述滑槽与所述安装块外侧连通,所述滑槽内壁设有滑动连接的U形块,所述U形块内侧套设有转动连接的丝杆,所述U形块内壁设有滑动连接的刮板,所述刮板与所述丝杆底端转动连接,所述丝杆一端延伸至所述安装块上方并套设有圆盘,对于滤网进行清洁工作。
[0010]进一步的,所述U形块内部设有与所述丝杆相匹配的丝杆螺母,所述空腔内壁底部于所述底座一侧设有挡块,通过丝杆螺母带动丝杆进行运动,挡块对于底座起到限位作用。
[0011]与现有技术相比,本技术所达到的有益效果是:
[0012]1、本技术通过设置齿轮、隔板、滤网和不完全齿轮,通过隔板和齿轮配合,当滤网出现堵塞现象时,可通过转动隔板来完成滤网的更换,便于完成滤网的更换工作,使得装置便于清洁维护,保证了装置的工作效果。
[0013]2、本技术通过设置丝杆和刮板,可通过调整刮板的高度和刮板的左右运动,将滤网顶部的杂质推动至空腔的内部,完成滤网的清洁工作,无需频繁拆卸滤网,保证了装置的工作效果。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本技术的实施例一起用于解释本技术,并不构成对本技术的限制。在附图中:
[0015]图1是本技术整体的主剖视图;
[0016]图2是本技术图1中A处的放大示意图;
[0017]图3是本技术图1中B处的放大示意图;
[0018]图4是本技术不完全齿轮的结构示意图;
[0019]图中:1、真空泵主体;2、进气管;3、安装块;4、空腔;5、底座;6、齿轮;7、隔板;8、滤网;9、活动块;10、压缩弹簧;11、触点;12、警示灯;13、不完全齿轮;14、伺服电机;15、连接杆;16、把手;17、滑槽;18、U形块;19、丝杆;20、刮板;21、圆盘。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1

4,本技术提供技术方案:多晶硅压片机用易于维护的螺杆真空泵,包括真空泵主体1,所述真空泵主体1顶部设有进气管2,所述进气管2外壁一侧设有安装块3,所述安装块3内部开设有空腔4,所述空腔4与所述进气管2连通,所述空腔4内壁设有滑动连接的底座5,所述底座5顶部设有转动连接的齿轮6,所述齿轮6顶部设有隔板7,所述隔板7外壁两侧对称设有滑动连接的滤网8,所述隔板7外壁于所述滤网8下方设有滑动连接的活动块9,所述活动块9与所述齿轮6外壁相邻一侧设有同一个压缩弹簧10,所述隔板7外壁设有警示机构,所述警示机构包括两个触点11,两个所述触点11对称设置于所述隔板7外壁两侧,所述触点11位于所述滤网8下方,所述触点11位于所述压缩弹簧10一侧,所述安装块3
外壁一侧设有警示灯12,所述触点11与所述警示灯12电性连接,所述底座5顶部设有转向机构,所述转向机构包括不完全齿轮13,所述不完全齿轮13转动设置于所述底座5顶部,所述不完全齿轮13与所述齿轮6啮合,所述底座5内部于所述不完全齿轮13一侧设有伺服电机14,所述伺服电机14输出轴与所述不完全齿轮13固定连接,所述底座5外壁远离所述进气管2一侧设有连接杆15,所述连接杆15一端延伸至所述安装块3外侧并套设有把手16。
[0022]所述空腔4内壁设有与所述底座5相匹配的滑轨,所述空腔4内壁靠近所述进气管2一侧设有密封块,滑轨对于底座5起到导向作用,保证了底座5运动时的稳定性,密封块和隔板7配合,可对于空腔4进行阻挡,避免影响真空泵主体1的正常工作。
[0023]实施方式具体为:使用时,通过设置齿轮6、隔板7、滤网8和不完全齿轮13,工作时,手动推动把手16,使得把手16向着安装块3进行靠近,连接杆15随着把手16进行运动,底座5随着连接杆15进行运动,滤网8随着底座5进本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.多晶硅压片机用易于维护的螺杆真空泵,包括真空泵主体(1),其特征在于:所述真空泵主体(1)顶部设有进气管(2),所述进气管(2)外壁一侧设有安装块(3),所述安装块(3)内部开设有空腔(4),所述空腔(4)与所述进气管(2)连通,所述空腔(4)内壁设有滑动连接的底座(5),所述底座(5)顶部设有转动连接的齿轮(6),所述齿轮(6)顶部设有隔板(7),所述隔板(7)外壁两侧对称设有滑动连接的滤网(8),所述隔板(7)外壁于所述滤网(8)下方设有滑动连接的活动块(9),所述活动块(9)与所述齿轮(6)外壁相邻一侧设有同一个压缩弹簧(10),所述隔板(7)外壁设有警示机构,所述底座(5)顶部设有转向机构,所述空腔(4)顶部设有清洁机构。2.根据权利要求1所述的多晶硅压片机用易于维护的螺杆真空泵,其特征在于:所述警示机构包括两个触点(11),两个所述触点(11)对称设置于所述隔板(7)外壁两侧,所述触点(11)位于所述滤网(8)下方,所述触点(11)位于所述压缩弹簧(10)一侧,所述安装块(3)外壁一侧设有警示灯(12),所述触点(11)与所述警示灯(12)电性连接。3.根据权利要求1所述的多晶硅压片机用易于维护的螺杆真空泵,其特征在于:所述转向机构包括不完全齿轮(13),所述不完全齿轮(13)转动设置于所述底座(5)顶部,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈全玉
申请(专利权)人:江阴天田真空设备制造有限公司
类型:新型
国别省市:

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