一种静电卡盘贴合辅助装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种静电卡盘贴合辅助装置，属于静电卡盘技术领域，包括机架，所述机架上设有上板定位组件和下板定位组件，所述上板定位组件与所述机架通过伸缩杆连接，所述上板定位组件包括上支撑板，所述上支撑板与所述伸缩杆转动连接，所述上支撑板上设有若干上限位块，所述上限位块与所述上支撑板滑动连接，所述下板定位组件包括下支撑板，所述下支撑板与所述上支撑板平行设置，所述下支撑板上设有若干下限位块，所述下限位块与所述下支撑板滑动连接。连接。连接。

【技术实现步骤摘要】
一种静电卡盘贴合辅助装置


[0001]本专利技术涉及静电卡盘
，特别涉及一种静电卡盘贴合辅助装置。

技术介绍

[0002]静电卡盘的陶瓷板和基板需要粘接在一起，对静电卡盘基板与静电卡盘基板间进行贴合的过程中，静电卡盘基板与静电卡盘基板的中心轴线需要重合，目前，静电卡盘基板与静电卡盘基板的粘接一般通过人工粘接，该工作要求操作人员具有较多的经验，避免影响到静电卡盘，人工粘接要求高，效率低。
[0003]但是，现有技术中，由于静电卡盘基板与静电卡盘基板的粘接一般通过人工粘接，该工作要求操作人员具有较多的经验，避免影响到静电卡盘，人工粘接要求高，效率低，因此，需要一种静电卡盘贴合辅助装置。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是提供一种静电卡盘贴合辅助装置，能够对辅助贴合静电卡盘的基板与陶瓷板，结构简单，适应于不同尺寸静电卡盘的贴合。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案为：
[0006]一种静电卡盘贴合辅助装置，包括机架，所述机架上设有上板定位组件和下板定位组件，所述上板定位组件与所述机架通过伸缩杆连接，所述上板定位组件包括上支撑板，所述上支撑板与所述伸缩杆转动连接，所述上支撑板上设有若干上限位块，所述上限位块与所述上支撑板滑动连接，所述下板定位组件包括下支撑板，所述下支撑板与所述上支撑板平行设置，所述下支撑板上设有若干下限位块，所述下限位块与所述下支撑板滑动连接。
[0007]优选的，所述上支撑板与所述伸缩杆间通过连接件连接，所述连接件包括与所述伸缩杆连接的第一套筒，所述上支撑板上设有与所述第一套筒内侧壁配合的第二套筒，所述第二套筒的外侧壁上设有定位块，所述第一套筒上设有用于限制所述定位块的第一限位槽和第二限位槽。
[0008]优选的，所述上支撑板为电磁板，任意一个所述上限位块为铁质限位块。
[0009]优选的，所述上支撑板上设有与所述上限位块配合的上定位槽，所述上支撑板沿着所述上定位槽的方向上设有上长度刻度。
[0010]优选的，所述上支撑板和下支撑板均为圆盘形支撑板，所述上支撑板和下支撑板的中心轴线重合。
[0011]优选的，所述下支撑板为电磁板，任意一个所述下限位块为铁质限位块。
[0012]优选的，所述下支撑板上设有与所述下限位块配合的下定位槽，所述下支撑板上沿着所述下定位槽的方向上设有下长度刻度。
[0013]优选的，任意一个所述上限位块上粘接有上橡胶块，所述上橡胶块朝向所述上支撑板的中心。
[0014]优选的，任意一个所述下限位块上粘接有下橡胶块，所述下橡胶块朝向所述下支
撑板的中心。
[0015]采用上述技术方案，由于设有上支撑板和上限位块，使得可以对静电卡盘的陶瓷板进行定位和限位，以便于对陶瓷板进行贴合，由于设有下支撑板和下限位块，使得对静电卡盘的基板进行定位和限位，由于设有伸缩杆，使得静电卡盘陶瓷板和静电卡盘基板位置都固定后，可以通过伸缩杆改变静电卡盘陶瓷板和静电卡盘基板的位置，在静电卡盘基板上粘上胶接层后，即可完成静电卡盘陶瓷板于静电卡盘的基板进行贴合。
附图说明
[0016]图1为本专利技术一种静电卡盘贴合辅助装置的结构示意图；
[0017]图2为本专利技术上板定位组件的结构示意图；
[0018]图3为本专利技术下板定位组件的结构示意图；
[0019]图4为本专利技术第一套筒的放大剖视结构示意图。
具体实施方式
[0020]下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本专利技术，但并不构成对本专利技术的限定。此外，下面所描述的本专利技术各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
[0021]如图1～图4所示，图1为本专利技术一种静电卡盘贴合辅助装置的结构示意图，图2为本专利技术上板定位组件的结构示意图，图3为本专利技术下板定位组件的结构示意图，图4为本专利技术第一套筒的放大剖视结构示意图，包括机架1，机架1上设有上板定位组件和下板定位组件，上板定位组件与机架1通过伸缩杆2连接，上板定位组件包括上支撑板5，上支撑板5与伸缩杆2转动连接，上支撑板5上设有若干上限位块6，上限位块6与上支撑板5滑动连接，下板定位组件包括下支撑板7，下支撑板7与上支撑板5平行设置，下支撑板7上设有若干下限位块8，下限位块8与下支撑板7滑动连接；
[0022]上支撑板5与伸缩杆2间通过连接件连接，连接件包括与伸缩杆2连接的第一套筒3，上支撑板5上设有与第一套筒3内侧壁配合的第二套筒4，第二套筒4的外侧壁上设有定位块9，第一套筒3上设有用于限制定位块9的第一限位槽12和第二限位槽13，第二套筒4与第一套筒3可以相对转动，第一限位槽12设置在第二限位槽13的上方，安装定位静电卡盘陶瓷时，让上支撑板5带有上限位块6的一侧朝上，此时，定位块9转动到朝上，第二套筒4往第一套筒3的方向推进，直到定位块9嵌入到第一限位槽12中，若静电卡盘陶瓷板的位置确定好了后，则将定位块9拉出第一限位槽12，转动180度，将定位块9嵌入到第二限位槽13中，此时，圆盘式上支撑板5的中心轴线与圆盘式下支撑板7的中心轴线重合；
[0023]上支撑板5为电磁板，任意一个上限位块6为铁质限位块，上支撑板5可以是圆盘状，使用时，先将上支撑板5转动180度，使得上支撑板5上的上限位块6朝上，便于操作，上限位块6的数量可以是三个，通过三个上限位块6可以限制静电卡盘陶瓷板的位置，三个上限位块6位于同一个圆的圆周上，定位静电卡盘陶瓷板的时候，上支撑板5断电失去磁性，三个上限位块6的位置确定好后，上支撑板5通电具有磁性，将三个上限位块6吸附定位，完成静电卡盘陶瓷板的定位和限位；
[0024]上支撑板5上设有与上限位块6配合的上定位槽10，上支撑板5沿着上定位槽10的
方向上设有上长度刻度，上定位槽10的数量于上限位块6的数量相等，也可以是三个，三个上定位槽10沿着上支撑板5的半径方向设置，三个上定位槽10均分，相互间的夹角为120度，上定位槽10用于限制上限位块6的位置，上定位槽10的横截面可以是T型，上长度刻度用于确定三个上限位块6的位置，根据静电卡盘陶瓷板的大小，可以将三个上限位块6调整到相应的位置，便于不同规格大小的静电卡盘的贴合使用；
[0025]上支撑板5和下支撑板7均为圆盘形支撑板，上支撑板5和下支撑板7的中心轴线重合，因为静电卡盘陶瓷板和静电卡盘基板均为圆盘状，所述上支撑板5和下支撑板7均可以是圆盘形支撑板，为了能够让静电卡盘陶瓷板与静电卡盘基板贴合在正确位置，在贴合时，上支撑板5和下支撑板7的中心轴线重合；
[0026]下支撑板7为电磁板，任意一个下限位块8为铁质限位块，需要调整下限位块8时，则让下支撑板7没有磁性，此时可以很方便的移动下限位块8，待下支撑板7上的静电卡盘基板的位置确定后，再通电使得下支撑板7具有磁性，能够吸附住下限位块8，使用时，下限位块8的数量可以是三个，三个下限位块8按圆周均分，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电卡盘贴合辅助装置，其特征在于：包括机架，所述机架上设有上板定位组件和下板定位组件，所述上板定位组件与所述机架通过伸缩杆连接，所述上板定位组件包括上支撑板，所述上支撑板与所述伸缩杆转动连接，所述上支撑板上设有若干上限位块，所述上限位块与所述上支撑板滑动连接，所述下板定位组件包括下支撑板，所述下支撑板与所述上支撑板平行设置，所述下支撑板上设有若干下限位块，所述下限位块与所述下支撑板滑动连接。2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘贴合辅助装置，其特征在于：所述上支撑板与所述伸缩杆间通过连接件连接，所述连接件包括与所述伸缩杆连接的第一套筒，所述上支撑板上设有与所述第一套筒内侧壁配合的第二套筒，所述第二套筒的外侧壁上设有定位块，所述第一套筒上设有用于限制所述定位块的第一限位槽和第二限位槽。3.根据权利要求2所述的一种静电卡盘贴合辅助装置，其特征在于：所述上支撑板为电磁板，任意一个所述上限位块为铁质限位块。4.根据权利要求3所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：石锗元，陈茂雄，李君，肖伟，
申请(专利权)人：君原电子科技海宁有限公司，
类型：发明
国别省市：