一种光罩储存柜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光罩储存柜，包括柜体，所述柜体包括存放台，所述存放台形成有凹槽，光罩传送盒存放于所述存放台时，所述光罩传送盒的四个角置于所述凹槽处；所述凹槽内安装有干燥气体吹出装置。本实用新型专利技术通过在光罩储存柜的存放台设置凹槽，并在凹槽内安装干燥气体吹出装置，实现了对光罩传送盒存放时的实时清洁，尤其是对光罩传送盒的四个容易产生颗粒的角，避免了颗粒可能随光罩传送盒被带到主机台的搭载台上，进而对光罩产生污染，从而避免了因此而可能产生的损失，本实用新型专利技术结构简单，改成成本低，便于在集成电路工厂内广泛使用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种光罩储存柜


[0001]本技术涉及集成电路制造领域，特别涉及一种光罩储存柜。

技术介绍

[0002]光罩又被称为光掩膜版、掩膜版，一般是由是由石英玻璃作为衬底，在其表面镀一层金属铬和感光胶，把已设计好的电路图通过电子激光设备曝光在感光胶上，被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩膜版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光刻蚀。因此，若光罩的电路图形被颗粒遮挡或被损坏，将会严重影响后续制程，造成较大损失。
[0003]目前，为了避免光罩受外部环境影响，无论光罩存放于光罩储存柜还是光罩在主机台之间的传送，都需要将光罩存放于光罩传送盒内，再进行存放或传送。光罩传送盒作为光罩的载体，需要与光罩储存柜的存放台以及主机台的搭载台经常性的接触，而长期经常性的接触容易导致光罩传送盒被磨损产生颗粒，尤其是在光罩传送盒的四个角的位置处，磨损最为严重，也最容易产生颗粒，而现有技术中的光罩储存柜的存放台为面状结构，产生的颗粒不容易被清除；而产生的颗粒如果落在主机台的搭载台上时，就容易对光罩产生污染，光罩被污染后，若不及时发现，将会严重影响产品质量，甚至生产的产品不达标，造成巨大的产品损失，另外，被颗粒污染的光罩必须送回光罩厂进行清洗，光罩清洗期间，工厂无法进行生产，又会造成严重的产能损失。因此，如何减少光罩传送盒产生的颗粒产生的影响，是本领域需要解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是提供一种光罩储存柜，能实现对存放于其内的光罩传送盒的实时清洁，避免了颗粒可能随光罩传送盒被带到主机台的搭载台上，进而对光罩产生污染，从而避免了因此而可能产生的损失。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供的光罩储存柜，包括柜体，所述柜体包括存放台，所述存放台形成有凹槽，光罩传送盒存放于所述存放台时，所述光罩传送盒的四个角置于所述凹槽处；所述凹槽内安装有干燥气体吹出装置。
[0006]在一种具体的实施方式中，所述干燥气体吹出装置包括喷嘴、输气管路，所述喷嘴连接于所述输气管路。
[0007]在一种具体的实施方式中，所述输气管路安装有流量控制阀以控制气体流量。
[0008]在一种具体的实施方式中，所述输气管路与厂务端供气系统连接，所述厂务端供气系统提供的气体的气压大于所述柜体内的气压。
[0009]在一种具体的实施方式中，所述凹槽形成为沿所述存放台长度方向的长条状。
[0010]在一种具体的实施方式中，所述凹槽形成为沿所述存放台宽度方向的长条状。
[0011]在一种具体的实施方式中，所述凹槽形成为栅格状。
[0012]在一种具体的实施方式中，所述柜体内所述存放台的数量为12个。
[0013]在一种具体的实施方式中，所述柜体的柜门为透明材质。
[0014]在一种具体的实施方式中，所述柜体内温度设置为23
±
0.2℃。
[0015]本技术通过在光罩储存柜的存放台设置凹槽，并在凹槽内安装干燥气体吹出装置，实现了对光罩传送盒存放时的实时清洁，尤其是对光罩传送盒的四个容易产生颗粒的角，避免了颗粒可能随光罩传送盒被带到主机台的搭载台上，进而对光罩产生污染，从而避免了因此而可能产生的损失，本技术结构简单，改成成本低，便于在集成电路工厂内广泛使用。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面对本技术所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1是本技术的光罩储存柜一实施例的结构示意图；
[0018]图2是本技术的光罩储存柜一实施例的存放台俯视图，其中，虚线部分为光罩传送盒的放置处；
[0019]图3是本技术的光罩储存柜一实施例的干燥气体吹起装置示意图；
[0020]图4A和图4B是本技术的光罩储存柜一实施例的凹槽沿存放台长度方向设置的示意图；
[0021]图5A和图5B是本技术的光罩储存柜一实施例的凹槽沿存放台宽度方向设置的示意图；
[0022]图6是本技术的光罩储存柜一实施例的凹槽栅格状设置的示意图。
[0023]图中，1
‑
柜体；2
‑
存放台；3
‑
光罩传送盒；4
‑
厂务端供气系统；21
‑
凹槽；22
‑
干燥气体吹出装置；221
‑
喷嘴；222
‑
输气管路；223
‑
流量控制阀。
具体实施方式
[0024]下面将结合附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]参考图1和图2，示出了本技术的一种光罩储存柜，包括柜体，所述柜体包括存放台，所述存放台形成有凹槽，光罩传送盒存放于所述存放台时，所述光罩传送盒的四个角置于所述凹槽处；所述凹槽内安装有干燥气体吹出装置。
[0026]本技术实施例中，光罩储存柜的存放台至少在放置光罩传送盒的四个角形成有凹槽，凹槽内安装的干燥气体吹出装置将光罩传送盒四个角处产生的颗粒吹离光罩传送盒，即实现了对光罩传送盒的实时清洁，这样，光罩传送盒上产生的颗粒就不会随光罩传送盒被带到主机台的搭载台上，进而不会对光罩产生污染，避免了因此而可能产生的损失。
[0027]在一种具体的实施方案中，参考图3，所述干燥气体吹出装置包括喷嘴、输气管路，所述喷嘴连接于所述输气管路。优选地，所述输气管路安装有流量控制阀以控制气体流量。
[0028]本具体实施方案中，干燥气体自输气管路传输至喷嘴，再从喷嘴喷出；可理解地，为了避免气体流量和压力过小而不能满足将颗粒吹起的需求、或气体流量和压力过大而对光罩储存柜内的整体干燥度和温湿度氛围产生影响，需要在输气管路上安装流量控制阀以控制喷嘴喷出的气体流量和压力，并将气体的流量和压力控制在所需范围内。
[0029]在一种具体的实施方案中，所述输气管路与厂务端供气系统连接，所述厂务端供气系统提供的气体的气压大于所述柜体内的气压。可理解地，工厂内有厂务端集中供应的干燥气体管路，且供应的干燥气体符合集成电路工厂的生产要求，因此，本具体实施方案中的输气管路直接与工厂端供气系统连接，直接用厂务端提供的干燥气体，方便且易改造。
[0030]在一种具体的实施方案中，参考图4A和图4B，所述凹槽形成为沿所述存放台长度方向的长条状。该具体实施方案中，凹槽可以布满存放台，如图4A所示；凹槽也可以仅分布于存放台的边缘位置处，而中间部位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光罩储存柜，包括柜体，其特征在于，所述柜体包括存放台，所述存放台形成有凹槽，光罩传送盒存放于所述存放台时，所述光罩传送盒的四个角置于所述凹槽处；所述凹槽内安装有干燥气体吹出装置。2.如权利要求1所述的光罩储存柜，其特征在于，所述干燥气体吹出装置包括喷嘴、输气管路，所述喷嘴连接于所述输气管路。3.如权利要求2所述的光罩储存柜，其特征值，所述输气管路安装有流量控制阀以控制气体流量。4.如权利要求3所述的光罩储存柜，其特征在于，所述输气管路与厂务端供气系统连接，所述厂务端供气系统提供的气体的气压大于所述柜体内的气压。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘向南，朱琪，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：