本实用新型专利技术涉及砷外延尾气处理技术领域，且公开了一种砷外延尾气湿式处理装置，包括箱体，所述箱体竖直设置，所述箱体顶端侧面设置有侧挂机构，所述箱体内部设置有湿处理机构，所述箱体底端左侧水平设置有进气管；湿处理机构包括固定板、滤板。该砷外延尾气湿式处理装置，通过设置侧挂机构，将L型板安装在目标架上后，方便箱体侧挂在目标架上，通过限位板，使箱体在挂接后不会因外界因素导致脱离，提高装置的安全性，通过转动调节杆，使螺纹块推动限位板二移动，使限位板回收至收纳腔内部，方便L型板与箱体脱离，提高装置的使用性；通过设置湿处理机构，利用喷淋管对湿润后的尾气进一步处理，提高尾气的湿处理效果。提高尾气的湿处理效果。提高尾气的湿处理效果。
【技术实现步骤摘要】
一种砷外延尾气湿式处理装置
[0001]本技术涉及砷外延尾气处理
，具体为一种砷外延尾气湿式处理装置。
技术介绍
[0002]砷外延尾气中具有大量灰尘和杂质以及危害性有毒气体，由于环保问题不能直接排放至大气中，因此提出一种砷外延尾气湿式处理装置对尾气进行处理。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种砷外延尾气湿式处理装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种砷外延尾气湿式处理装置，包括箱体，所述箱体竖直设置，所述箱体顶端侧面设置有侧挂机构，所述箱体内部设置有湿处理机构，所述箱体底端左侧水平设置有进气管；
[0005]所述湿处理机构包括固定板、滤板、水泵、两组行程板、喷淋管，所述固定板和滤板从上往下依次竖直设置在箱体内部，所述固定板和滤板前后侧面均与箱体内壁固定连接，所述固定板顶面与箱体内部顶面固定连接，所述滤板底面与箱体内部底面固定连接，所述固定板与滤板相靠近端面固定连接，所述水泵设置在滤板左侧，所述水泵底面与箱体内部底面固定连接，所述喷淋管水平设置在箱体内部右侧上方，所述水泵出水管贯穿箱体内壁与喷淋管一端固定贯通连接，所述喷淋管底面均匀设置有喷淋头。
[0006]优选的，所述喷淋管侧面与箱体内壁固定连接，两组所述行程板左右对称设置在喷淋管下方，所述行程板倾斜设置，两组所述行程板交错设置，左侧所述行程板侧面与箱体内壁和固定板侧面固定连接，右侧所述行程板侧面与箱体内壁固定连接。
[0007]优选的，所述箱体右侧从上往下依次水平设置出气管和出液管，所述出气管和出液管左端均固定贯穿箱体侧面设置，所述出气管和出液管内部均设置有阀门，所述进气管右端贯穿箱体侧面和滤板延伸至滤板右侧，所述进气管右端顶面贯通设置有出气通孔，所述出气通孔内部固定设置有单向阀。
[0008]优选的，所述侧挂机构包括卡接框、L型板、限位板、限位板二、螺纹杆、两个伞齿轮、螺纹块、调节杆，所述卡接框上下贯通设置，所述卡接框侧面与箱体顶端左侧面固定连接，所述卡接框外侧面竖直贯通开设有卡接通槽，所述卡接通槽内部与卡接框下方贯通设置，所述L型板竖直设置在卡接框内部，所述L型板左端贯穿卡接通槽延伸至卡接框外侧，所述L型板表面与卡接框和卡接通槽内壁滑动接触，所述限位板水平设置在L型板下方，所述限位板左端底面圆角设置。
[0009]优选的，所述箱体侧面内部水平开设有收纳腔，所述限位板右端贯穿箱体侧面延伸至收纳腔内部，所述限位板二竖直设置在收纳腔内部，所述限位板二外侧面与收纳腔内壁左右滑动连接，所述限位板二左侧面与限位板内端面固定连接，所述限位板二右侧面通
过连接弹簧与收纳腔内壁固定连接。
[0010]优选的，所述收纳腔内部顶面水平开设有调节槽，所述螺纹杆水平设置在调节槽内部，所述螺纹杆左右端均通过轴承座与调节槽内壁转动连接，所述螺纹块螺纹套设在螺纹杆表面，所述螺纹块外表面与调节槽内壁左右滑动连接，所述螺纹块底端贯穿调节槽延伸至收纳腔内部并与限位板二左侧面相互卡接。
[0011]优选的，所述调节杆竖直设置在箱体顶面，所述调节杆底端贯穿箱体顶面延伸至调节槽内部，所述调节杆表面与箱体内壁通过轴承转动连接，两个所述伞齿轮分别固定套设在调节杆底端表面和螺纹杆表面，两个所述伞齿轮侧面相互啮合。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该砷外延尾气湿式处理装置，通过设置侧挂机构，将L型板安装在目标架上后，方便箱体侧挂在目标架上，通过限位板，使箱体在挂接后不会因外界因素导致脱离，提高装置的安全性，通过转动调节杆，使螺纹块推动限位板二移动，使限位板回收至收纳腔内部，方便L型板与箱体脱离，提高装置的使用性；通过设置湿处理机构，利用喷淋管对湿润后的尾气进一步处理，提高尾气的湿处理效果。
附图说明
[0013]图1为本技术整体正面结构示意图；
[0014]图2为本技术整体正面结构剖视图；
[0015]图3为本技术图2中A区放大图；
[0016]图4为本技术图2中B区放大图。
[0017]图中：箱体1、侧挂机构2、卡接框201、卡接通槽202、L型板203、限位板204、收纳腔205、限位板二206、调节槽207、螺纹杆208、伞齿轮209、螺纹块210、调节杆211、进气管3、湿处理机构4、固定板401、滤板402、水泵403、出气通孔404、行程板405、喷淋管406、出气管407。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种砷外延尾气湿式处理装置，包括箱体1，箱体1竖直设置，箱体1顶端侧面设置有侧挂机构2，箱体1内部设置有湿处理机构4，箱体1底端左侧水平设置有进气管3；
[0020]湿处理机构4包括固定板401、滤板402、水泵403、两组行程板405、喷淋管406，固定板401和滤板402从上往下依次竖直设置在箱体1内部，固定板401和滤板402前后侧面均与箱体1内壁固定连接，固定板401顶面与箱体1内部顶面固定连接，滤板402底面与箱体1内部底面固定连接，固定板401与滤板402相靠近端面固定连接，水泵403设置在滤板402左侧，水泵403底面与箱体1内部底面固定连接，喷淋管406水平设置在箱体1内部右侧上方，水泵403出水管贯穿箱体1内壁与喷淋管406一端固定贯通连接，喷淋管406底面均匀设置有喷淋头，喷淋管406侧面与箱体1内壁固定连接，两组行程板405左右对称设置在喷淋管406下方，行
程板405倾斜设置，两组行程板405交错设置，左侧行程板405侧面与箱体1内壁和固定板401侧面固定连接，右侧行程板405侧面与箱体1内壁固定连接，箱体1右侧从上往下依次水平设置出气管407和出液管，出气管407和出液管左端均固定贯穿箱体1侧面设置，出气管407和出液管内部均设置有阀门，进气管3右端贯穿箱体1侧面和滤板402延伸至滤板402右侧，进气管3右端顶面贯通设置有出气通孔404，出气通孔404内部固定设置有单向阀；
[0021]侧挂机构2包括卡接框201、L型板203、限位板204、限位板二206、螺纹杆208、两个伞齿轮209、螺纹块210、调节杆211，卡接框201上下贯通设置，卡接框201侧面与箱体1顶端左侧面固定连接，卡接框201外侧面竖直贯通开设有卡接通槽202，卡接通槽202内部与卡接框201下方贯通设置， L型板203竖直设置在卡接框201内部，L型板203左端贯穿卡接通槽202延伸至卡接框201外侧，L型板203表面与卡接框201和卡接通槽202内壁滑动接触，限位本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种砷外延尾气湿式处理装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)竖直设置，所述箱体(1)顶端侧面设置有侧挂机构(2)，所述箱体(1)内部设置有湿处理机构(4)，所述箱体(1)底端左侧水平设置有进气管(3)；所述湿处理机构(4)包括固定板(401)、滤板(402)、水泵(403)、两组行程板(405)、喷淋管(406)，所述固定板(401)和滤板(402)从上往下依次竖直设置在箱体(1)内部，所述固定板(401)和滤板(402)前后侧面均与箱体(1)内壁固定连接，所述固定板(401)顶面与箱体(1)内部顶面固定连接，所述滤板(402)底面与箱体(1)内部底面固定连接，所述固定板(401)与滤板(402)相靠近端面固定连接，所述水泵(403)设置在滤板(402)左侧，所述水泵(403)底面与箱体(1)内部底面固定连接，所述喷淋管(406)水平设置在箱体(1)内部右侧上方，所述水泵(403)出水管贯穿箱体(1)内壁与喷淋管(406)一端固定贯通连接，所述喷淋管(406)底面均匀设置有喷淋头。2.根据权利要求1所述的一种砷外延尾气湿式处理装置，其特征在于：所述喷淋管(406)侧面与箱体(1)内壁固定连接，两组所述行程板(405)左右对称设置在喷淋管(406)下方，所述行程板(405)倾斜设置，两组所述行程板(405)交错设置，左侧所述行程板(405)侧面与箱体(1)内壁和固定板(401)侧面固定连接，右侧所述行程板(405)侧面与箱体(1)内壁固定连接。3.根据权利要求1所述的一种砷外延尾气湿式处理装置，其特征在于：所述箱体(1)右侧从上往下依次水平设置出气管(407)和出液管，所述出气管(407)和出液管左端均固定贯穿箱体(1)侧面设置，所述出气管(407)和出液管内部均设置有阀门，所述进气管(3)右端贯穿箱体(1)侧面和滤板(402)延伸至滤板(402)右侧，所述进气管(3)右端顶面贯通设置有出气通孔(404)，所述出气通孔(404)内部固定设置有单向阀。4.根据权利要求1所述的一种砷外延尾气湿式处理装置，其特征在于：所述侧挂机构(2)包括卡接框(201)、L型板(203)、限位板(204)、限位板二(206)、螺纹杆(...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈恒文，吉双平，刘彤辉，金修领，郝小峰，王伟康，程宣林，
申请(专利权)人：江苏艾匹克半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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