气动致动器的控制方法及控制运算装置制造方法及图纸

本发明专利技术的课题在于提供一种能够进行更加稳定的定位控制的技术。控制运算装置针对输出给两个伺服放大器的各位置指令值进行补偿因缸体室内的受压板的位置变化引起的各压力室的体积变化量的运算之后，将补偿后的位置指令值分别输出给两个伺服放大器，为了补偿体积变化量而执行针对滑块的位置的原点定位。化量而执行针对滑块的位置的原点定位。化量而执行针对滑块的位置的原点定位。

【技术实现步骤摘要】
气动致动器的控制方法及控制运算装置
[0001]本申请主张基于2020年12月7日申请的日本专利申请第2020
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202876号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。


[0002]本专利技术涉及一种气动致动器的控制方法及控制运算装置。

技术介绍

[0003]已知一种气动致动器，其包括引导轴和能够沿着引导轴移动的滑块，在引导轴与滑块之间形成有缸体室，并且在引导轴及滑块中的一方设置有将缸体室在移动方向上划分为两个压力室的受压板，压缩气体经由伺服阀分别能够进出划分为两个的压力室从而根据两个压力室的压差来驱动滑块。以往，提出了一种气动致动器，其能够补偿由滑块的位置引起的动态特性变化，从而能够在冲程内稳定地控制滑块。
[0004]专利文献1：日本特开2002
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295404号公报

技术实现思路

[0005]本专利技术是鉴于上述情况而完成的，其一种实施方式的示例性目的之一在于提供一种能够进行更加稳定的定位控制的技术。
[0006]为了解决上述课题，本专利技术的一种实施方式提供一种气动致动器的控制方法，该气动致动器包括引导部和能够沿着引导部移动的滑块，在引导部与滑块之间形成有缸体室，并且在引导部及滑块中的一方设置有将缸体室在移动方向上划分为两个压力室的受压板，压缩气体能够经由伺服阀分别进出划分为两个的压力室从而基于两个压力室的压差来驱动滑块，并且该气动致动器具备：位置传感器，用于检测滑块的位置；两个伺服放大器，分别用于控制两个伺服阀；及控制运算装置，接收来自位置传感器的位置检测信号并向两个伺服放大器输出位置指令值，在该气动致动器的控制方法中，控制运算装置针对输出给两个伺服放大器的各位置指令值进行补偿因缸体室内的受压板的位置变化引起的各压力室的体积变化量的运算之后，将补偿后的位置指令值分别输出给两个伺服放大器，控制运算装置为了补偿体积变化量而执行针对滑块的位置的原点定位。
[0007]本专利技术的另一种实施方式提供一种气动致动器的控制方法，该气动致动器包括引导部和能够沿着引导部移动的滑块，在引导部与滑块之间形成性缸体室，并且在引导部及滑块中的一方设置有将缸体室在移动方向上划分为两个压力室的受压板，压缩气体能够经由伺服阀分别进出划分为两个的压力室从而基于两个压力室的压差来驱动滑块，并且该气动致动器具备：位置传感器，用于检测滑块的位置；两个伺服放大器，分别用于控制两个伺服阀；及控制运算装置，接收来自位置传感器的位置检测信号并向两个伺服放大器输出位置指令值，在该气动致动器的控制方法中，控制运算装置在针对滑块的位置的原点定位完成前后切换根据来自位置传感器的位置检测信号来计算输出给两个伺服放大器的各位置指令值时的增益。
[0008]本专利技术的又一种实施方式提供一种控制运算装置。该装置接收来自位置传感器的位置检测信号并向气动致动器的两个伺服放大器输出位置指令值，该气动致动器包括引导部和能够沿着引导部移动的滑块，在引导部与滑块之间形成有缸体室，并且在引导部及滑块中的一方设置有将缸体室在移动方向上划分为两个压力室的受压板，压缩气体能够经由伺服阀分别进出划分为两个的压力室从而基于两个压力室的压差来驱动滑块，并且该气动致动器具备：位置传感器，用于检测滑块的位置；及两个伺服放大器，分别用于控制两个伺服阀，在该控制运算装置中，针对输出给两个伺服放大器的各位置指令值进行补偿因缸体室内的受压板的位置变化引起的各压力室的体积变化量的运算之后，将补偿后的位置指令值分别输出给两个伺服放大器，为了补偿体积变化量而执行针对滑块的位置的原点定位。
[0009]本专利技术的又一种实施方式提供一种控制运算装置。该装置接收来自位置传感器的位置检测信号并向气动致动器的两个伺服放大器输出位置指令值，该气动致动器包括引导部和能够沿着引导部移动的滑块，在引导部与滑块之间形成有缸体室，并且在引导部及滑块中的一方设置有将缸体室在移动方向上划分为两个压力室的受压板，压缩气体能够经由伺服阀分别进出划分为两个的压力室从而基于两个压力室的压差来驱动滑块，并且该气动致动器具备：位置传感器，用于检测滑块的位置；及两个伺服放大器，分别用于控制两个伺服阀，在该控制运算装置中，在针对滑块的位置的原点定位完成前后切换根据来自位置传感器的位置检测信号来计算输出给两个伺服放大器的各位置指令值时的增益。
[0010]另外，上述构成要件的任意组合或将本专利技术的构成要件或表述在方法、装置、系统等之间相互置换而得的实施方式也作为本专利技术的实施方式而有效。
[0011]根据本专利技术的一种实施方式，能够进行更加稳定的定位控制。
附图说明
[0012]图1是实施方式所涉及的气动致动器的剖视图。
[0013]图中：13
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滑块，14
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引导轴，16
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缸体空间，16A
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压力室，16B
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压力室，17
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受压板，22A、22B
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伺服阀，15
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位置传感器，21A、21B
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伺服放大器，20
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控制运算装置。
具体实施方式
[0014]以下，在各附图中，对相同或等同的构成要件及部件标注相同的符号，并适当省略重复说明。并且，在各附图中中，为了便于理解，适当放大或缩小表示部件的尺寸。并且，在各附图中，省略对实施方式的说明并不重要一部分部件。
[0015]图1是实施方式所涉及的气动致动器1的剖视图。气动致动器1包括：引导轴14，其两端部被支承体固定并且沿着单轴方向延伸；及滑块13，能够沿着引导轴14移动。滑块13为能够包围引导轴14的周围的筒状体。在引导轴14与滑块13之间形成有缸体空间16。在该例子中，引导轴14的中央部形成为较细，从而在滑块13与引导轴14之间形成缸体空间16。
[0016]在滑块13的内壁固定有受压板(隔壁)17。受压板17能够与滑块13一起沿着引导轴14移动。另外，受压板17也可以固定于引导轴14。在轴向上，缸体空间16被受压板17划分为压力室16A和压力室16B。
[0017]滑块13和引导轴14形成静压气体轴承。具体而言，通过从设置于滑块13的内侧或引导轴14的外侧的空气垫喷射压缩气体(例如空气)，滑块13从引导轴14浮起，滑块13相对
于引导轴14能够以非接触的方式移动。因此，移动时不存在滑动阻力。
[0018]位置传感器15检测与滑块13的位置有关的信息并以电信号方式输出与该位置有关的信息。来自位置传感器15的位置检测信号输入到控制运算装置20。
[0019]控制运算装置20根据所输入的位置信息来进行控制运算，并向伺服放大器21A、21B输出位置指令信号。此时，对伺服放大器21A、21B的指令值使用绝对值相同而符号相反的值。
[0020]伺服放大器21A、21B根据该指令值来分别控制伺服阀22A、22B的阀柱位置。
[0021]通过未图示的调节器调节成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气动致动器的控制方法，所述气动致动器包括引导部和能够沿着所述引导部移动的滑块，在所述引导部与所述滑块之间形成有缸体室，并且在所述引导部及所述滑块中的一方设置有将所述缸体室在移动方向上划分为两个压力室的受压板，压缩气体能够经由伺服阀分别进出划分为两个的压力室从而基于所述两个压力室的压差来驱动所述滑块，并且所述气动致动器具备：位置传感器，用于检测所述滑块的位置；两个伺服放大器，分别用于控制所述两个伺服阀；及控制运算装置，接收来自所述位置传感器的位置检测信号并向所述两个伺服放大器输出位置指令值，所述气动致动器的控制方法的特征在于，所述控制运算装置针对输出给所述两个伺服放大器的各位置指令值进行补偿因所述缸体室内的所述受压板的位置变化引起的各压力室的体积变化量的运算之后，将补偿后的位置指令值分别输出给所述两个伺服放大器，所述控制运算装置为了补偿体积变化量而执行针对所述滑块的位置的原点定位。2.根据权利要求1所述的气动致动器的控制方法，其特征在于，所述控制运算装置在所述原点定位完成前后切换根据来自所述位置传感器的位置检测信号来计算输出给所述两个伺服放大器的各位置指令值时的增益。3.一种气动致动器的控制方法，所述气动致动器包括引导部和能够沿着所述引导部移动的滑块，在所述引导部与所述滑块之间形成有缸体室，并且在所述引导部及所述滑块中的一方设置有将所述缸体室在移动方向上划分为两个压力室的受压板，压缩气体能够经由伺服阀分别进出划分为两个的压力室从而基于所述两个压力室的压差来驱动所述滑块，并且所述气动致动器具备：位置传感器，用于检测所述滑块的位置；两个伺服放大器，分别用于控制所述两个伺服阀；及控制运算装置，接收来自所述位置传感器的位置检测信号并向所述两个伺服放大器输出位置指令值，所述气动致动器的控制方法的特征在于，所述控制运算装置在针对所述滑块的位置的原点定位完成前后切换根据来自所述位置传感器的位置检测信号来计算输出给所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田达矢，滨田慎哉，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：