一种过滤装置及湿制设备制造方法及图纸

本申请公开了一种过滤装置及湿制设备，所述过滤装置包括沿过滤液流动方向依次布置的N个过滤件：第一过滤件至第N过滤件，各所述过滤件上设置有过滤孔，所述第一过滤件的过滤孔至所述第N过滤件的过滤孔依次减小，其中，N≥2，N为正整数。本申请通过各过滤件的过滤孔沿过滤液的流动方向依次减小，各过滤孔分别过滤不同尺寸的堵塞物，延长了各过滤件的工作时间，进而延长过滤装置的过滤时间，减少更换频率，从而降低生产成本；提高了过滤效果。提高了过滤效果。提高了过滤效果。

【技术实现步骤摘要】
一种过滤装置及湿制设备


[0001]本技术一般涉及半导体制造
，具体涉及一种过滤装置及湿制设备。

技术介绍

[0002]湿制程设备应用于半导体制造，其安装有滤芯，该滤芯用于过滤药液中的杂质。
[0003]在湿制程设备工作预设时间后，滤芯会被异物堵塞，需定期更换滤芯，更换滤芯过程中需经清水清洗及药液润洗，故导致大量清水及药液浪费，并且造成生产成本提高。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种过滤装置及湿制设备。
[0005]本申请提供一种过滤装置，其包括：
[0006]沿过滤液流动方向依次布置的N个过滤件：第一过滤件至第N过滤件，
[0007]各所述过滤件上设置有过滤孔，所述第一过滤件的过滤孔至所述第N过滤件的过滤孔依次减小，其中，N≥2，N为正整数。
[0008]作为可选的方案，任意相邻两所述过滤件之间等距离间隔设置。
[0009]作为可选的方案，任意相邻两所述过滤件之间等距离间隔设置。
[0010]作为可选的方案，所述过滤件包括至少一个侧壁和至少一个底壁，所述侧壁与所述底壁连接且相互垂直，所述侧壁上设置有所述过滤孔，所述底壁上设置有所述过滤孔。
[0011]作为可选的方案，至少一个侧壁包括一个所述侧壁，所述侧壁呈筒状，所述第一过滤件的侧壁的直径至所述第N过滤件的侧壁的直径依次增大。
[0012]作为可选的方案，相邻两个所述过滤件容置配合，以使所述第一过滤件的侧壁的轴线至所述第N过滤件的轴线均位于同一直线上。
[0013]作为可选的方案，所述第N过滤件包括侧壁、第一底壁及第二底壁，所述第一底壁和所述第二底壁分别封闭所述第N过滤件的侧壁的两个开口，所述第一过滤件至所述第N
‑
1过滤件均包括一个侧壁和一个底壁，所述第一过滤件至所述第N
‑
1过滤件的侧壁朝向所述第一底壁的开口均被所述第一底壁封闭。
[0014]作为可选的方案，至少一个侧壁包括多个侧壁，多个所述侧壁依次首尾相连围设形成两端开口的立体结构。
[0015]作为可选的方案，所述过滤孔为圆形孔，其尺寸为10um～100um。
[0016]本申请还提供一种湿制设备，其包括上述的过滤装置。
[0017]本申请通过各过滤件的过滤孔沿过滤液的流动方向依次减小，各过滤孔分别过滤不同尺寸的堵塞物，大尺寸的堵塞物被第一过滤件10a过滤，小尺寸的堵塞物被第N过滤件10d过滤，介于大尺寸和小尺寸之间的堵塞物被第二过滤件10b至第N
‑
1过滤件10c过滤。与相关技术相比：一方面，延长了各过滤件的工作时间，进而延长过滤装置的过滤时间，减少更换频率，从而降低生产成本；另一方面，提高了过滤效果。
附图说明
[0018]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0019]图1为本技术实施例提供的一种过滤装置的示意图一；
[0020]图2为本技术实施例提供的一种过滤装置的示意图二。
具体实施方式
[0021]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关技术，而非对该技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与技术相关的部分。
[0022]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0023]本技术使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本技术。在本技术和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。
[0024]图1示出了一种过滤装置的结构示意图。
[0025]如图1所示，过滤装置包括N个过滤件10：第一过滤件10a、第二过滤件10b、
……
、第N
‑
1过滤件10c及第N过滤件10d，其中，N大于等于2，N为正整数。第一过滤件10a、第二过滤件10b、
……
、第N
‑
1过滤件10c及第N过滤件10d沿过滤液的流动方向依次设置。
[0026]第一过滤件10a上设置有第一过滤孔11a，第二过滤件10b上设置有第二过滤孔11b，
……
，第N
‑
1过滤件10c上设置有第N
‑
1过滤孔11c，第N过滤件10d上设置有第N过滤孔11d。第一过滤孔11a、第二过滤孔11b，
……
、第N
‑
1过滤孔11c及第N过滤孔11d沿过滤液的流动方向依次减小。
[0027]需要说明的是，过滤件10可以为片状、筒状或者其他合适的形状。第一过滤孔11a、第二过滤孔11b，
……
、第N
‑
1过滤孔11c及第N过滤孔11d的形状可以为圆形、矩形、三角形等。
[0028]在相关技术中，在湿制程设备工作预设时间后，滤芯会被异物堵塞，需定期更换滤芯，更换滤芯过程中需经清水清洗及药液润洗，故导致大量清水及药液浪费，并且造成生产成本提高。
[0029]基于此，本申请提出一种过滤装置，通过各过滤件的过滤孔沿过滤液的流动方向依次减小，各过滤孔分别过滤不同尺寸的堵塞物，大尺寸的堵塞物被第一过滤件10a过滤，小尺寸的堵塞物被第N过滤件10d过滤，介于大尺寸和小尺寸之间的堵塞物被第二过滤件10b至第N
‑
1过滤件10c过滤。与相关技术相比：一方面，延长了各过滤件的工作时间，进而延长过滤装置的过滤时间，减少更换频率，从而降低生产成本；另一方面，提高了过滤效果。
[0030]作为可实现的方式，过滤件10包括至少一个侧壁12和至少一个底壁13，侧壁12与底壁13连接且相互垂直，侧壁12上设置有过滤孔，底壁13上设置有过滤孔。
[0031]参考图1，需要说明的是，过滤件10可以包括一个侧壁12和一个底壁13，过滤件的侧壁12呈筒状，过滤件10的侧壁12的一个开口被底壁13封闭；过滤件10可以包括一个侧壁
12和两个底壁13，过滤件10的侧壁12呈筒状，过滤件10的侧壁12的两个开口被两个底壁13分别封闭；过滤件10可以包括多个侧壁12和一个底壁13，多个侧壁12依次首尾连接形成两端开口的立体结构，立体结构的横截面可以为正三角形、正四边形、正五边形等。底壁13封闭上述立体结构的一个开口。过滤件10可以包括多个侧壁12和两个底壁13，多个侧壁12依次首尾连接形成两端开口的立体结构，立体结构的横截面可以为正三角形、正四边形、正五边形等。两个底壁13分别封闭上述立体结构的两个开口。
[0032]过滤件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种过滤装置，其特征在于，包括沿过滤液流动方向依次布置的N个过滤件：第一过滤件至第N过滤件，各所述过滤件上设置有过滤孔，所述第一过滤件的过滤孔至所述第N过滤件的过滤孔依次减小，其中，N≥2，N为正整数，所述过滤件包括至少一个侧壁和至少一个底壁，所述侧壁与所述底壁连接且相互垂直，所述侧壁上设置有所述过滤孔，所述底壁上设置有所述过滤孔。2.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，任意相邻两个所述过滤件的过滤孔交错设置。3.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，任意相邻两所述过滤件之间等距离间隔设置。4.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，至少一个侧壁包括一个所述侧壁，所述侧壁呈筒状，所述第一过滤件的侧壁的直径至所述第N过滤件的侧壁的直径依次增大。5.根据权利要求4所述的过滤装置，其特征在于，相邻两个所述过滤件容置配...

【专利技术属性】
技术研发人员：张冬欣，
申请(专利权)人：厦门通富微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：