用于支撑基板载体的设备、基板载体以及基板装载模块制造技术

描述了一种用于支撑基板载体的设备、一种基板载体以及一种基板装载模块。所述设备包括载体锁定机构(140)，所述载体锁定机构被配置为在所述基板载体的一侧接合所述基板载体(210)，所述基板载体在所述设备处以竖直取向布置并且所述载体锁定机构包括主体(145)和接合所述载体的所述一侧的可移动的紧固装置(142)。(142)。(142)。

【技术实现步骤摘要】
用于支撑基板载体的设备、基板载体以及基板装载模块


[0001]本公开内容总体涉及基板处理，诸如大面积基板处理。特别地，本公开内容涉及基板处理，其中基板载体将用于材料沉积或层沉积的基板运输通过沉积系统。此外，本公开内容涉及用于支撑基板载体的设备、基板载体以及用于支撑基板载体的方法。

技术介绍

[0002]用于在基板上进行层沉积的技术包括例如溅射沉积、热蒸发和化学气相沉积。溅射沉积工艺可以用于在基板上沉积材料层，诸如导电材料或绝缘材料层。涂覆材料可以用于若干应用和若干
例如，一个应用在于微电子领域，诸如用于产生半导体器件。而且，用于显示器的基板通常通过物理气相沉积 (PVD)(例如，溅射沉积工艺)或化学气相沉积(CVD)涂覆。另外的应用包括绝缘面板、具有TFT的基板、滤色器或类似物。
[0003]基板处理系统或沉积系统可以包括大气部分，例如清洁室、基板装载模块或类似者，以用于在基板载体上装载基板及从基板载体卸载基板。虽然载体增加了被导引通过系统的设备并可能具有一些缺点，但是载体具有可减少玻璃破裂的优点，特别是当考虑到基板具有高达几平方米的基板面积和低于1mm(诸如十分之几毫米)的厚度时。
[0004]对基板载体的操控可能因基板的尺寸和因在沉积系统中引入的污染物而是困难的。尤其是污染物可能减少沉积结果和处理的基板的产量。鉴于上述，克服本领域的问题中的至少一些问题的设备、系统和方法是有益的。

技术实现思路

[0005]根据本公开内容的一方面，提供了一种用于在基板装载模块中支撑基板载体的设备。所述设备包括载体锁定机构，所述载体锁定机构被配置为在所述基板载体的一侧接合所述基板载体。所述基板载体在所述设备处以竖直取向布置。所述载体锁定机构包括主体和接合所述载体的所述一侧的可移动的紧固装置。
[0006]根据另一方面，所述载体锁定机构的所述主体可以相对于所述基板装载模块的壁固定地布置。
[0007]根据另一方面，所述可移动的紧固装置可以被配置为通过所述可移动的紧固装置的选自由以下项组成的组的移动而与所述基板载体的所述一侧接合：旋转移动和平移移动。
[0008]根据另一方面，所述可移动的紧固装置可以包括抓握装置以接合所述基板载体的所述一侧。
[0009]根据另一方面，所述抓握装置可以被配置为接合布置在所述基板载体的所述一侧的接触板。
[0010]根据另一方面，所述抓握装置可以包括抓握器，所述抓握器包括第一臂和第二臂以用于在所述接触板的两个相对侧接合所述接触板。
[0011]根据另一方面，所述可移动的紧固装置可以包括第一磁性装置，所述第一磁性装
置被配置为朝向所述基板载体的所述一侧建立选自由以下项组成的组的力：吸引力和排斥力。
[0012]根据另一方面，所述第一磁性装置可以包括可感生线圈，所述可感生线圈用于朝向所述基板载体的所述一侧提供电磁力。
[0013]根据另一方面，所述载体锁定机构可以包括一个或多个反作用力装置，所述一个或多个反作用力装置被配置为将所述基板载体夹持在所述可移动的紧固装置与所述一个或多个反作用力装置之间。所述一个或多个反作用力装置可以选自由以下项组成的组：活塞和中空管或以上项的组合。
[0014]根据另一方面，所述载体锁定机构可以包括致动器，所述致动器用于移动选自由以下项组成的组的装置：所述可移动的紧固装置和所述一个或多个反作用力装置。
[0015]根据另一方面，所述载体锁定机构可以布置在选自由以下项组成的组的一个位置处：机器人装置、所述基板装载模块的壁和运输系统。
[0016]根据本公开内容的另一方面，提供了一种具有正面和背面的基板载体。所述基板载体包括紧固装置接收结构，所述紧固装置接收结构布置在所述基板载体的所述背面并被配置为接合载体锁定机构的可移动的紧固装置。当所述可移动的紧固装置接合所述基板载体的所述紧固装置接收结构时，所述基板载体处于竖直取向。
[0017]根据另一方面，所述紧固装置接收结构可以包括盖板和凹槽，所述凹槽被配置为接收所述可移动的紧固装置。特别地，所述盖板可以包括开口，所述开口包括渐缩(tapered)端部，所述渐缩端部的尺寸适于接收所述可移动的紧固装置。所述盖板还可以包括用于防止颗粒形成的硬化表面。
[0018]根据另一方面，所述紧固装置接收结构可以包括第二磁性装置，所述第二磁性装置被配置为朝向所述载体锁定机构的所述可移动的紧固装置所包括的第一磁性装置建立选自由以下项组成的组的力：吸引力和排斥力。
[0019]根据另一方面，所述基板载体可以包括多于一个所述紧固装置接收结构，特别是四个紧固装置接收结构。所述基板载体还可以包括基板载体框架，所述基板载体框架包括多于一个所述紧固装置接收结构。
[0020]根据本公开内容的另一方面，提供了一种用于在基板载体上装载基板和从所述基板载体卸载所述基板的基板装载模块。所述装载模块包括根据本文所描述的实施方式的用于支撑基板载体的设备。
[0021]根据另一方面，所述基板装载模块可以被配置为接收所述基板载体，所述基板载体被配置为接合用于支撑所述基板载体的所述设备。
[0022]实施方式还针对用于实施所公开的方法的设备并包括用于执行每个所描述的方法方面的设备部分。这些方法方面可以借助硬件部件、由适当的软件编程的计算机、这两者的任何组合或以任何其它方式执行。
附图说明
[0023]为了能够详细地理解本公开内容的上述特征的方式，可以通过参考实施方式来获得以上简要地概述的本公开内容的更特定的描述。附图涉及本公开内容的实施方式并描述如下：
[0024]图1A和图1B示出了根据本文所描述的实施方式的载体锁定机构的侧视图；
[0025]图2示出了根据本文所描述的实施方式的基板装载腔室的侧视图；
[0026]图3示出了根据本文所描述的实施方式的接合紧固装置接收结构的载体锁定机构的侧视图；
[0027]图4A、图4B、图4C和图4D示出了根据本文所描述的实施方式的紧固装置；
[0028]图5示出了根据本文所描述的实施方式的方法的流程图；以及
[0029]图6示出了根据本文所描述的实施方式的沉积系统。
具体实施方式
[0030]现将详细地参考本公开内容的各种实施方式，这些实施方式的一个或多个示例在附图中示出。在附图的以下描述内，相同的附图标记表示相同的部件。仅描述相对于各别实施方式的差异。每个示例以解释本公开内容的方式提供，而不表示对本公开内容的限制。另外，被示出或描述为一个实施方式的部分的特征可以在其他实施方式上或结合其他实施方式使用以产生又进一步实施方式。该描述旨在包括这样的修改和变化。
[0031]层沉积包括在沉积系统中将材料沉积到基板上，例如沉积到玻璃基板上。产生蒸发的材料并将其导引到待处理的基板。在建立真空环境的处理腔室中进行沉积。待处理的基板通过基板载体运输通过沉积系统。例如，一个载体可以一次承载一个基板。附加地或替代地，一个基板载本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于支撑基板载体的设备，所述设备被配置为在基板装载模块中支撑所述基板载体，其特征在于所述设备包括：载体锁定机构(140)，所述载体锁定机构被配置为在所述基板载体的一侧接合所述基板载体(210)，所述基板载体在所述设备处以竖直取向布置并且所述载体锁定机构包括：主体(145)；以及可移动的紧固装置(142)，所述可移动的紧固装置接合所述基板载体的所述一侧。2.根据权利要求1所述的用于支撑基板载体的设备，其特征在于，所述载体锁定机构的所述主体(145)相对于所述基板装载模块的壁(105)固定地布置。3.根据权利要求1所述的用于支撑基板载体的设备，其特征在于，所述可移动的紧固装置(142)被配置为通过所述可移动的紧固装置的旋转移动和/或平移移动与所述基板载体的所述一侧接合。4.根据权利要求1所述的用于支撑基板载体的设备，其特征在于，所述可移动的紧固装置(142)包括抓握装置以接合所述基板载体的所述一侧。5.根据权利要求4所述的用于支撑基板载体的设备，其特征在于，所述抓握装置被配置为接合布置在所述基板载体的所述一侧的接触板。6.根据权利要求5所述的用于支撑基板载体的设备，其特征在于，所述抓握装置包括抓握器，所述抓握器包括第一臂和第二臂以用于在所述接触板的两个相对侧接合所述接触板。7.根据权利要求1所述的用于支撑基板载体的设备，其特征在于，所述可移动的紧固装置(142)包括第一磁性装置，所述第一磁性装置被配置为朝向所述基板载体的所述一侧建立吸引力和/或排斥力。8.根据权利要求7所述的用于支撑基板载体的设备，其特征在于，所述第一磁性装置包括可感生线圈，所述可感生线圈用于朝向所述基板载体的所述一侧提供电磁力。9.根据权利要求1所述的用于支撑基板载体的设备，其特征在于，所述载体锁定机构(140)包括一个或多个反作用力装置(144)，所述一个或多个反作用力装置被配置为将所述基板载体夹持在所述可移动的紧固装置(142)与所述一个或多个反作用力装置之间。10.根据权利要求9所述的用于支撑基板载体的设备，其特征在于，所述载体锁定机构(140)包括致动器(150)，所述致动器用于移动所述可移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：莱内尔，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：新型
国别省市：