【技术实现步骤摘要】
一类钛酸盐基固态复相功能材料及其制备方法
[0001]本专利技术属于电子材料、铁电材料及新能源材料领域,具体涉及一类钛酸盐基固态复相功能材料及其制备方法和其在电子元器件、电能存储器件等系统中的应用。
技术介绍
[0002]在信息时代,集成电路(IC)/芯片技术与产品按摩尔定律飞速发展,对人类的影响深远。高度集成化、微细化、时钟开关高频化、降低功耗和提高性能是IC器件及系统发展的长期趋势,这在很大程度上得益于场效应晶体管尺寸的不断缩小,而缩小的关键因素是栅极介质膜材料。但是,常规栅介质膜材料二氧化硅(SiO2)的潜能现已达物理极限。要使晶体管尺寸进一步缩小,为弥补其介电常数偏低而须使膜厚减至2nm以下,但这将面临隧穿漏电、功耗激增、杂质扩散影响阈值电压及性能等难以调和的尖锐矛盾。寻求具有高介电常数的栅介质膜新材料来取而代之,成了近年来研究的热点。特别地,利用具有铁电性的高介电材料在脉冲电压下会出现瞬态负电容等特殊性能,为解决晶体管小型化瓶颈提供了另一新途径(见Catalan G.et al,“Negative capacitance detected”,Nature Materials,Vol.14,2015),有望突破对传统场效应晶体管的玻尔兹曼暴政(限制),使亚阈值摆幅SS大幅低于60mV/dec的下限值,大幅改善晶体管的开关电流比、降低器件功耗与发热、减小器件特征尺寸。此外,基于铁电高介电材料的新一代电容器型随机存储器件(FeRAM),具有高速、高集成度、低功耗和抗辐射等优点,并已实现产品化。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一类钛酸盐基固态复相功能材料,其特征在于,所述钛酸盐基固态复相功能材料包含:(1)化学式为(M2‑
x
A
x
)(Ti
n
‑
y
B
y
)O
2n+1
+zwt%Ln的至少一种第一物相;和(2)化学式为TiO2的第二物相;其中:M为Li、Na、K元素中的一种或多种;A为碱土金属元素中的一种或多种;B为Zr、Mg、Mn、Nb、Ni、Fe、Co、Sb、Zn、Cl、Br、I元素中的一种或多种;Ln为镧系稀土元素中的一种或多种;n=1~10,优选n=2~6;0≤x≤1,优选0.05﹤x﹤0.3。0≤y≤0.5n;并且0≤z≤10。2.根据权利要求1所述的钛酸盐基固态复相功能材料,其特征在于,所述至少一种第一物相占所述钛酸盐基固态复相功能材料的总质量的50~99wt%;所述第二物相占所述钛酸盐基固态复相功能材料的总质量比例的1~50wt%。3.根据权利要求1~2中任一项所述的钛酸盐基固态复相功能材料,其特征在于,所述钛酸盐基固态复相功能材料为具有非晶态(例如玻璃态)、玻璃
‑
陶瓷和多晶态陶瓷中的一种微观形态的功能材料。4.根据权利要求1~3中任一项所述的钛酸盐基固态复相功能材料,其特征在于,所述钛酸盐基固态复相功能材料具有如下功能特性:(1)108~109数量级的巨介电常数;(2)不小于107Ω.cm数量级的电子电阻率;和(3)不小于10
‑3S/cm数量级的离子电导率;优选地,所述钛酸盐基固态复相功能材料的超低频介电损耗≤1;更优选地,所述钛酸盐基固态复相功能材料还具有铁电性,进一步优选地,所述钛酸盐基固态复相功能材料的剩余极化强度与自发极化强度之比≥60%。5.根据权利要求1~4中任一项所述的钛酸盐基固态复相功能材料的制备方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:(1)前驱体材料的制备:将M元素源、钛源、可选的碱土金属源、可选的B元素源、可选的镧系元素源混合,并制成粉末状的前驱体材料;(2)钛酸盐基固态复相功能材料的制备:将所述前驱体材料在200~1500℃在空气中进行热处理,制备成钛酸盐基固态复相功能材料。6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,在步骤(1)中,所述前驱体材料通过固相混合法、化学沉淀法、水热法、溶胶
‑
凝胶法中的至少一种方法来制...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄向东,裴锋,胡志鹏,王卓,
申请(专利权)人:广州拓新能源科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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