本发明专利技术涉及化学气相沉积技术领域，具体为一种化学气相沉积设备，包括箱体、铰接在箱体上的箱盖、固定安装在箱盖上的进料口，所述箱体的内壁上固定安装有缓冲箱，所述进料口的底部与缓冲箱的上端连通，所述缓冲箱的内部固定安装有第一固定杆，所述第一固定杆的下端设有扇叶。本发明专利技术通过设置第一固定杆、扇叶、缓冲箱等机构，待沉积气体由进料口进入箱体内部，利用驱动设备带动扇叶旋转，旋转的扇叶在进料口处形成气流，加快待沉积气体进入缓冲箱的速度，待沉积气体通过通气孔扩散到缓冲箱的下端，使得待沉积气体均匀扩散到箱体内腔中。使得待沉积气体均匀扩散到箱体内腔中。使得待沉积气体均匀扩散到箱体内腔中。
【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积设备
[0001]本专利技术涉及化学气相沉积
，具体为一种化学气相沉积设备。
技术介绍
[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。
[0003]化学气相沉积反应需要将反应气体运输至沉积区，从而在基体上生产固态物质，从而得到所需要的材料。但是反应气体由管道输入反应室内时，因气体在管道内无规则流动时必然会接触管道的内壁，反应气体在入口处接触内壁产生冷凝的情况不可避免，特别在冬季时这种情况尤其明显，造成反应气体输送量的减少，影响沉积的效果，严重时造成产品报废，增加成本。
[0004]为此，提出一种化学气相沉积设备。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种化学气相沉积设备，以解决上述
技术介绍
中提出进料口处气体接触进料口壁遇冷凝固的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0007]一种化学气相沉积设备，包括箱体、铰接在箱体上的箱盖、固定安装在箱盖上的进料口，所述箱体的内壁上固定安装有缓冲箱，所述进料口的底部与缓冲箱的上端连通，所述缓冲箱的内部固定安装有第一固定杆，所述第一固定杆的下端设有扇叶，且扇叶设于缓冲箱的内部，所述缓冲箱的底部开设有多个通气孔，所述箱体上设有用于驱动扇叶旋转的驱动机构。
[0008]通过设置第一固定杆、扇叶、缓冲箱等机构，待沉积气体由进料口进入箱体内部，利用驱动设备带动扇叶旋转，旋转的扇叶在进料口处形成气流，加快待沉积气体进入缓冲箱的速度，待沉积气体通过通气孔扩散到缓冲箱的下端，使得待沉积气体均匀扩散到箱体内腔中。
[0009]优选的，所述驱动机构包括固定安装在箱体外侧的电机，所述电机的输出端固定连接有蜗杆，所述蜗杆贯穿箱体的一侧并转动安装在箱体的另一侧，所述箱体的内腔中设有驱动杆，所述驱动杆的顶部转动安装在缓冲箱的底壁上，所述驱动杆上固定安装有蜗轮，且蜗杆和蜗轮相互啮合。
[0010]通过设置电机、蜗杆、蜗轮等机构，利用电机输出轴的旋转带动蜗杆转动，又蜗杆与蜗轮相互啮合，使得蜗杆带动蜗轮转动，进而带动驱动杆的转动，从而带动扇叶的旋转，实现对扇叶的驱动。
[0011]优选的，所述缓冲箱的底端设有无顶的加热箱，所述加热箱的内壁上固定安装有
加热板，所述进料口的侧壁上开设有第一凹槽，所述第一凹槽的内部铰接有导体杆，所述第一凹槽的内壁上固定安装有限位杆，所述限位杆为弧形结构，且导体杆在限位杆上滑动，所述第一凹槽的顶壁上固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的底端固定连接在导体杆上，所述第一凹槽的底壁上固定安装有导体块，所述导体杆和导体块均和电源电性连接。
[0012]通过设置加热板、导体杆、导体块等机构，待沉积气体在扇叶加速下进入进料口时，导体杆在气流的带动下克服第一弹簧的拉力向下发生偏转，在限位杆的限位下导体杆向第一凹槽内转动直至导体杆与导体块接触，此处电路接通，加热板开始对加热箱加热，在停止气体导入时导体杆复位，此处电路断开，加热板停止加热。
[0013]优选的，所述加热箱靠近缓冲箱的侧壁上固定安装有滤网，所述驱动杆贯穿缓冲箱和滤网并延伸至滤网的底部，所述滤网的上下两端均设有四个对称设置的搅拌杆，且八个搅拌杆均固定安装在驱动杆上，所述搅拌杆的内部滑动安装有活动杆，所述活动杆的一端固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的一端固定连接在搅拌杆的内壁上，所述活动杆的底部开设有矩形槽，所述加热箱的底壁和滤网上均固定安装有四个斜向的限位块，所述加热箱的底部开设有多个通气口。
[0014]通过设置搅拌杆、活动杆、限位块等机构，在驱动杆的转动下带动搅拌杆转动，在搅拌杆旋转至限位块上方时，活动杆底部的矩形槽在限位块的限位作用下活动杆向搅拌杆内部滑动，搅拌杆继续转动后矩形槽脱离限位块，活动杆在第二弹簧的弹力作用下向搅拌杆的外部滑动，如此往复，使得加热箱内部的热量充分在待沉积气体内扩散。
[0015]优选的，所述箱体的侧壁内部开设有第一环形腔，所述第一环形腔的内部绕设有导水管，所述导水管上固定安装有多个排气管，多个所述排气管的内部固定安装有气水分离膜，所述箱体的底端开设有两个水槽，两个所述水槽之间开设有通水口，所述箱体的外侧设有水泵，所述水泵的出水管和其中一个水槽连通，所述水泵的出水管与导水管的一端通过软管连接，所述导水管的进水端与其中另一个水槽连通，所述蜗杆上固定安装有第一皮带轮，所述水泵的一侧固定安装有第二皮带轮，所述第一皮带轮和第二皮带轮通过皮带传动连接，所述加热箱的侧壁内部开设有第二环形腔，所述排气管的一端和第二环形腔连通。
[0016]通过设置导水管、排气管、气水分离膜等机构，待沉积气体由通气口流入下方与反应气体反应形成沉淀时放出大量热量，利用电机、第一皮带轮和第二皮带轮带动水泵运作，水槽中的冷却水被泵入导水管中，冷却水再进入另一边的水槽中，经过热量的传递，导水管中的冷却水吸收热量产生蒸汽，实现对箱体的散热，水蒸气透过气水分离膜进入第二环形腔内对加热箱进行加热，实现能量的再利用。
[0017]优选的，两个所述水槽之间转动安装有转杆，所述转杆贯穿箱体的底壁并延伸至箱体的内腔中，所述转杆的顶端固定安装有固定座，所述固定座的上端固定安装有基片，所述通水口的内部设有叶轮，且叶轮固定安装在转杆上。
[0018]通过设置转杆、叶轮等机构，水泵将其中一个水槽中的冷却水泵出时，另一个水槽中的冷却水由通水口进行补充，从而形成水流，叶轮在水流的带动下进行旋转，进而带动转杆转动，转杆顶端的固定座开始旋转，进而带动基片转动，实现对基片的均匀沉积。
[0019]优选的，所述远离水泵一侧的水槽底壁上固定安装有导电块，所述导电块的两侧分别设有第二固定杆，所述第二固定杆固定安装在水槽的顶壁和底壁上，所述第二固定杆之间滑动安装有导体球壳，所述箱体的一侧固定安装有警报器，所述导电块、导体球壳和警
报器均通过导线与电源电性连接。
[0020]通过设置导电块、导体球壳、警报器等机构，水槽中的冷却水使得导体球壳浮于导电块上方，在冷却水经热蒸汽的挥发下逐渐减少，导体球壳在自身重力的作用下向下移动直至接触导电块，此处的电路接通，警报器发出警报，提醒工作人员手动进行充水。
[0021]优选的，所述加热箱的底壁开设有多个第二凹槽，多个所述第二凹槽和通气口连通，所述第二凹槽的内部固定安装有固定板，所述固定板上固定安装有伸缩杆，所述伸缩杆的上端固定安装有梯形活塞，所述伸缩杆上套设有第三弹簧，且第三弹簧的两端分别固定连接在固定板和梯形活塞上。
[0022]通过设置伸缩杆、梯形活塞、第三弹簧等机构，加热后的待沉积气体经通气口向下扩散，梯形活塞受压力向下移动，挤压伸缩杆和第三弹簧收缩，待沉积气体通过通气口和第二凹槽进入到下方与反应气体反应，相反的，反应本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积设备，包括箱体(1)、铰接在箱体(1)上的箱盖(2)、固定安装在箱盖(2)上的进料口(3)，其特征在于：所述箱体(1)的内壁上固定安装有缓冲箱(4)，所述进料口(3)的底部与缓冲箱(4)的上端连通，所述缓冲箱(4)的内部固定安装有第一固定杆(5)，所述第一固定杆(5)的下端设有扇叶(6)，且扇叶(6)设于缓冲箱(4)的内部，所述缓冲箱(4)的底部开设有多个通气孔(7)，所述箱体(1)上设有用于驱动扇叶(6)旋转的驱动机构。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于：所述驱动机构包括固定安装在箱体(1)外侧的电机(8)，所述电机(8)的输出端固定连接有蜗杆(9)，所述蜗杆(9)贯穿箱体(1)的一侧并转动安装在箱体(1)的另一侧，所述箱体(1)的内腔中设有驱动杆(11)，所述驱动杆(11)的顶部转动安装在缓冲箱(4)的底壁上，所述驱动杆(11)上固定安装有蜗轮(10)，且蜗杆(9)和蜗轮(10)相互啮合。3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于：所述缓冲箱(4)的底端设有无顶的加热箱(12)，所述加热箱(12)的内壁上固定安装有加热板(13)，所述进料口(3)的侧壁上开设有第一凹槽(14)，所述第一凹槽(14)的内部铰接有导体杆(15)，所述第一凹槽(14)的内壁上固定安装有限位杆(16)，所述限位杆(16)为弧形结构，且导体杆(15)在限位杆(16)上滑动，所述第一凹槽(14)的顶壁上固定连接有第一弹簧(17)，所述第一弹簧(17)的底端固定连接在导体杆(15)上，所述第一凹槽(14)的底壁上固定安装有导体块(18)，所述导体杆(15)和导体块(18)均和电源电性连接。4.根据权利要求2或3所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于：所述加热箱(12)靠近缓冲箱(4)的侧壁上固定安装有滤网(24)，所述驱动杆(11)贯穿缓冲箱(4)和滤网(24)并延伸至滤网(24)的底部，所述滤网(24)的上下两端均设有四个对称设置的搅拌杆(19)，且八个搅拌杆(19)均固定安装在驱动杆(11)上，所述搅拌杆(19)的内部滑动安装有活动杆(20)，所述活动杆(20)的一端固定连接有第二弹簧(21)，所述第二弹簧(21)的一端固定连接在搅拌杆(19)的内壁上，所述活动杆(20)的底部开设有矩形槽(22)，所述加热箱(12)的底壁和滤网(24)上均固定安装有四个斜向的限位块(23)，所述加热箱(12)的底部开设...
【专利技术属性】
技术研发人员：李涛，王俊，刘书凯，
申请(专利权)人：李涛，
类型：发明
国别省市：
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