本实用新型专利技术涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置，包括底座，还包括调节支撑机构、固定旋转机构、抛光修复机构、抛光液上料机构和检测观察机构，所述调节支撑机构固定安装在底座顶部，本实用新型专利技术通过设置有抛光修复机构和固定旋转机构，将抛光头固定安装在转轴底部，将陶瓷盘固定安装在固定架顶部，再打开转台使转台带动陶瓷盘进行旋转，使陶瓷盘顶部的放置槽与抛光头一一对应，再打开推杆使推杆带动安装板向下移动，直至抛光头与陶瓷盘顶部的放置槽相接触，再打开伺服电机使伺服电机带动转轴和抛光头进行旋转，从而使抛光头对放置槽内部进行抛光修复，可以对陶瓷盘的修复更加的精准。可以对陶瓷盘的修复更加的精准。可以对陶瓷盘的修复更加的精准。
【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置
[0001]本技术涉及碳化硅晶片用陶瓷盘
，特别是涉及一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置。
技术介绍
[0002]碳化硅晶片的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件，该材料具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势，碳化硅晶片在进行转运过程中需要使用陶瓷盘进行存放，陶瓷盘长时间使用会产生变形，并且表面会产生磨损，在放置晶片的过程中会导致晶片的损坏，故需要对陶瓷盘进行修复。
[0003]目前使用的修复装置在使用时无法更加便捷的同时对陶瓷盘的多个放置槽进行修复，现有的修复装置在进行抛光修复时很容易对缝隙处进行遗漏，无法对放置槽内达到绝对的平整，使用不够便捷。
[0004]因此，现在亟需设计一种能解决上述一个或者多个问题的一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置。
技术实现思路
[0005]为解决现有技术中存在的一个或者多个问题，本技术提供了一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置。
[0006]本技术为达到上述目的所采用的技术方案是：一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置，包括底座，还包括调节支撑机构、固定旋转机构、抛光修复机构、抛光液上料机构和检测观察机构，所述调节支撑机构固定安装在底座顶部，所述固定旋转机构固定安装在底座顶部一侧，所述固定旋转机构顶部放置有陶瓷盘，所述抛光修复机构固定安装在调节支撑机构顶部一侧，所述抛光修复机构包括气缸、固定安装在气缸的输出端的推杆、固定安装在推杆底部的安装板、多个分别固定安装在安装板顶部两侧的伺服电机、多个分别固定安装在多个伺服电机的输出端的转轴和多个分别固定安装在多个转轴底端的抛光头，所述抛光液上料机构设置在调节支撑机构顶部一侧，所述检测观察机构固定安装在底座顶部一侧。
[0007]优选的，所述调节支撑机构包括支撑架、旋转块、滑杆、滑块和顶板，所述支撑架固定安装在底座顶部一侧，所述旋转块固定安装在支撑架顶端，所述滑杆固定安装在旋转块顶部，所述滑块套设在滑杆外侧，所述顶板固定安装在滑块一侧。
[0008]优选的，所述调节支撑机构还包括两个分别固定安装在顶板底部两侧的升降杆、两个分别配合安装在两个升降杆外侧的升降套、两个分别固定安装在两个升降套底部的固定脚、多个分别开设在两个升降杆一侧的限位孔和两个分别配合安装在多个限位孔内侧的限位杆。
[0009]优选的，所述固定旋转机构包括转台、固定架、四个分别固定安装在固定架顶部两侧的夹板和四个分别固定安装在四个夹板内侧的防滑垫，所述转台固定安装在底座顶部一侧，所述固定架固定安装在转台顶部。
[0010]优选的，所述抛光液上料机构包括盛放罐、分流管、多个分别开设在安装板两侧的出液口和多个分别固定安装在多个出液口底部的滴嘴，所述盛放罐固定安装在顶板顶部一侧，所述分流管固定连接在盛放罐一侧。
[0011]优选的，所述检测观察机构包括连接板、丝杆滑台、电动升降套杆、支撑杆和摄像头，所述连接板固定安装在底座顶部一侧，所述丝杆滑台固定安装在连接板顶部，所述电动升降套杆固定安装在丝杆滑台的滑动块顶部，所述支撑杆固定安装在电动升降套杆的伸缩端一侧，所述摄像头固定安装在支撑杆一侧。
[0012]本技术的有益效果是：
[0013]其一：本技术通过设置有抛光修复机构和固定旋转机构，将抛光头固定安装在转轴底部，将陶瓷盘固定安装在固定架顶部，再打开转台使转台带动陶瓷盘进行旋转，使陶瓷盘顶部的放置槽与抛光头一一对应，再打开推杆使推杆带动安装板向下移动，直至抛光头与陶瓷盘顶部的放置槽相接触，再打开伺服电机使伺服电机带动转轴和抛光头进行旋转，从而使抛光头对放置槽内部进行抛光修复，可以对陶瓷盘的修复更加的精准，防止在修复过程中产生修复死角，影响放置槽内部的平整度，有效的提升装置的修复效果，转台、固定架、夹板和防滑垫的设置可以更加便捷的对陶瓷盘进行固定限位，同时转台的设置可以更加便捷的对陶瓷盘的角度进行调节，确保装置修复的精确性；
[0014]其二：本技术通过设置检测观察机构，当陶瓷盘修复完成后，打开摄像头使摄像头对陶瓷盘表面进行观察检测，再打开丝杆滑台使丝杆滑台的滑动块带动摄像头进行来回移动，可以更加便捷的对摄像头的位置进行移动，使工作人员可以全面的对陶瓷盘表面进行观察，更加便捷的对陶瓷盘的平整度进行监测，以便于后续的精细修复，使用更加的便捷。
附图说明
[0015]图1为本技术的立体结构示意图；
[0016]图2为本技术的固定旋转机构结构示意图；
[0017]图3为本技术的检测观察机构结构示意图；
[0018]图4为本技术的图1中A处放大结构示意图。
[0019]附图标记说明：1、底座；2、调节支撑机构；21、支撑架；22、旋转块；23、滑杆；24、滑块；25、顶板；26、升降杆；27、升降套；28、固定脚；29、限位孔；210、限位杆；3、固定旋转机构；31、转台；32、固定架；33、夹板；34、防滑垫；4、陶瓷盘；5、抛光修复机构；51、气缸；52、推杆；53、安装板；54、伺服电机；55、转轴；56、抛光头；6、抛光液上料机构；61、盛放罐；62、分流管；63、出液口；64、滴嘴；7、检测观察机构；71、连接板；72、丝杆滑台；73、电动升降套杆；74、支撑杆；75、摄像头。
具体实施方式
[0020]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加浅显易懂，下面结合附图对本
技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0021]如图1至4所示，本技术提供了一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置，包括底座1，还包括调节支撑机构2、固定旋转机构3、抛光修复机构5、抛光液上料机构6和检测观察机构7，调节支撑机构2固定安装在底座1顶部，固定旋转机构3固定安装在底座1顶部一侧，固定旋转机构3顶部放置有陶瓷盘4，抛光修复机构5固定安装在调节支撑机构2顶部一侧，抛光修复机构5包括气缸51、固定安装在气缸51的输出端的推杆52、固定安装在推杆52底部的安装板53、多个分别固定安装在安装板53顶部两侧的伺服电机54、多个分别固定安装在多个伺服电机54的输出端的转轴55和多个分别固定安装在多个转轴55底端的抛光头56，抛光液上料机构6设置在调节支撑机构2顶部一侧，检测观察机构7固定安装在底座1顶部一侧。
[0022]上述具体实施方案：将抛光头56固定安装在转轴55底部，将陶瓷盘4固定安装在固定架32顶部，再打开转台31使转台31带动陶瓷盘4进行旋转，使陶瓷盘4顶部的放置槽与抛光头56一一对本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置，包括底座（1），其特征在于：还包括调节支撑机构（2）、固定旋转机构（3）、抛光修复机构（5）、抛光液上料机构（6）和检测观察机构（7），所述调节支撑机构（2）固定安装在底座（1）顶部，所述固定旋转机构（3）固定安装在底座（1）顶部一侧，所述固定旋转机构（3）顶部放置有陶瓷盘（4），所述抛光修复机构（5）固定安装在调节支撑机构（2）顶部一侧，所述抛光修复机构（5）包括气缸（51）、固定安装在气缸（51）的输出端的推杆（52）、固定安装在推杆（52）底部的安装板（53）、多个分别固定安装在安装板（53）顶部两侧的伺服电机（54）、多个分别固定安装在多个伺服电机（54）的输出端的转轴（55）和多个分别固定安装在多个转轴（55）底端的抛光头（56），所述抛光液上料机构（6）设置在调节支撑机构（2）顶部一侧，所述检测观察机构（7）固定安装在底座（1）顶部一侧。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置，其特征在于：所述调节支撑机构（2）包括支撑架（21）、旋转块（22）、滑杆（23）、滑块（24）和顶板（25），所述支撑架（21）固定安装在底座（1）顶部一侧，所述旋转块（22）固定安装在支撑架（21）顶端，所述滑杆（23）固定安装在旋转块（22）顶部，所述滑块（24）套设在滑杆（23）外侧，所述顶板（25）固定安装在滑块（24）一侧。3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置，其特征在于：所述调节支撑机构（2）还包括两个分别固定安装在顶板（25）底部两侧的升降杆（26）、两个分别...
【专利技术属性】
技术研发人员：李有群，陈辉，贺贤汉，卓世异，孙大方，
申请(专利权)人：安徽微芯长江半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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