一种卧式晶圆真空腔体结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种卧式晶圆真空腔体结构，涉及真空处理设备领域，包括箱体，箱体前侧左侧通过转轴转动连接有腔门，腔门上贯穿开设有观察窗，观察窗内部固定连接有观察玻璃，箱体右侧设置有负压真空接头，箱体两侧内壁连接有沿水平方向延伸的抽拉导轨，抽拉导轨上滑动连接有晶圆托板，箱体两侧内臂对称设置有沿竖直方向延伸的升降导轨，升降导轨上滑动连接有冷却板，所诉箱体内部顶侧固定安装有升降气缸，升降气缸输出端通过连接法兰与冷却板固定连接。本实用新型专利技术的优点在于：在不影响真空腔内部真空工作的前提下可对真空腔内部的晶圆进行快速冷却，可有效的缩短晶圆生产周期，提高晶圆生产效率。高晶圆生产效率。高晶圆生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种卧式晶圆真空腔体结构


[0001]本技术涉及真空处理设备领域，具体是涉及一种卧式晶圆真空腔体结构。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。
[0003]在半导体领域的晶圆加工处理方面，在某些特殊的工艺需要对高温处理后的晶圆实施快速的冷却，在快速冷却的过程中，冷却速率一般大于10℃/秒，最高甚至可达到大于100℃/秒目前，而对于真空腔室内高温处理后的晶圆，现有的真空腔设备无法快速的对其中的晶圆组件实施快速冷却，导致真空高温处理的晶圆冷却时间长，从而使晶圆组件生产周期长，影响生产效率。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，提供一种卧式晶圆真空腔体结构，本技术方案解决了上述
技术介绍
中提出的对于真空腔室内高温处理后的晶圆，现有的真空腔设备无法快速的对其中的晶圆组件实施快速冷却，导致真空高温处理的晶圆冷却时间长，从而使晶圆组件生产周期长，影响生产效率的问题。
[0005]为达到以上目的，本技术采用的技术方案为：
[0006]一种卧式晶圆真空腔体结构，包括箱体，所述箱体前侧左侧通过转轴转动连接有腔门，所述腔门上贯穿开设有观察窗，所述观察窗内部固定连接有观察玻璃，所述箱体右侧设置有负压真空接头，所述负压真空接头与箱体内部连通，所述箱体两侧内壁固定连接有沿水平方向延伸的抽拉导轨，所述抽拉导轨上滑动连接有晶圆托板，所述箱体两侧内臂对称设置有沿竖直方向延伸的升降导轨，所述升降导轨上滑动连接有冷却板，所诉箱体内部顶侧固定安装有升降气缸，所述升降气缸输出端通过连接法兰与冷却板固定连接。
[0007]优选的，所述箱体右侧通过扣锁与腔门卡接，所述扣锁包括卡扣和卡槽，所述卡扣固定连接于箱体右侧，所述卡槽固定连接于腔门右侧，所述卡扣和卡槽相互配合。
[0008]优选的，所述升降导轨上滑动连接有升降滑块，所述升降滑块固定连接于冷却板两侧。
[0009]优选的，所述冷却板内部开设有冷却液通道，所述冷却液通道由多个相互连通的U形结构组成，所述冷却液通道一端与冷却液进口连通，另一端与冷却液出口连通。
[0010]优选的，所述冷却液进口通过连接管道与冷却液输入管道连通，所述冷却液出口
通过连接管道与冷却液输出管道连通。
[0011]优选的，所述冷却液输入管道和冷却液输出管道均向上延伸至箱体外部，所述冷却液输入管道和冷却液输出管道与箱体连接位置处均设置有密封圈。
[0012]优选的，所述连接管道采用伸缩的波纹管结构。
[0013]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0014]本技术提出的真空腔结构，在不影响真空腔内部真空工作的前提下可对真空腔内部待冷却的晶圆进行快速冷却，当真空腔室内高温处理后的晶圆需要进行冷却时，向冷却板通入冷却液，之后由升降气缸带动冷却板下移至冷却板与晶圆板抵接，此时根据热传导定律，热量从温度高的晶圆板向温度低的冷却板传导，带走晶圆板的大量热量，进而达到晶圆的快速冷却，采用可伸缩结构的波纹管作为连接管，在冷却板的升降过程中，由连接管进行伸缩，保证了冷却液输入管道和冷却液输出管道与箱体之间的密封稳定性，有效的避免了冷却结构对真空腔内部真空工作的影响。
附图说明
[0015]图1为本技术腔门关闭时的立体结构示意图；
[0016]图2为本技术腔门打开时的立体结构示意图；
[0017]图3为本技术腔门打开时的另一视角下的立体结构示意图；
[0018]图4为本技术的冷却板的立体结构示意图；
[0019]图5为本技术中的冷却板的剖视图。
[0020]图中标号为：
[0021]1、箱体；2、腔门；201、观察窗；3、负压真空接头；4、观察玻璃；5、转轴；6、扣锁；601、卡扣；602、卡槽；7、抽拉导轨；8、晶圆托板；9、升降导轨；10、升降滑块；11、冷却板；1101、冷却液通道；1102、冷却液进口；1103、冷却液出口；12、升降气缸；13、连接法兰；14、连接管道；15、冷却液输出管道；16、冷却液输入管道。
具体实施方式
[0022]以下描述用于揭露本技术以使本领域技术人员能够实现本技术。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。
[0023]参照图1
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5所示，一种卧式晶圆真空腔体结构，包括箱体1，箱体1前侧左侧通过转轴5转动连接有腔门2，腔门2上贯穿开设有观察窗201，观察窗201内部固定连接有观察玻璃4，观察窗201的设置便于工作人员观察真空腔的内部情况，箱体1右侧设置有负压真空接头3，负压真空接头3与箱体1内部连通，箱体1两侧内壁固定连接有沿水平方向延伸的抽拉导轨7，抽拉导轨7上滑动连接有晶圆托板8，箱体1两侧内臂对称设置有沿竖直方向延伸的升降导轨9，升降导轨9上滑动连接有升降滑块10，升降滑块10固定连接于冷却板11两侧，所诉箱体1内部顶侧固定安装有升降气缸12，升降气缸12输出端通过连接法兰13与冷却板11固定连接，箱体1右侧通过扣锁6与腔门2卡接，扣锁6包括卡扣601和卡槽602，卡扣601固定连接于箱体1右侧，卡槽602固定连接于腔门2右侧，卡扣601和卡槽602相互配合，扣锁6可将腔门2紧密的锁合至箱体1，保证箱体1工作时内部的真空度，同时采用升降式冷却板，在不需要冷却时，将冷却板11远离晶圆板，不影响真空腔内晶圆板的正常加工，当需要进行冷却
时，将冷却板11靠近晶圆板对晶圆进行快速冷却。
[0024]冷却板11内部开设有冷却液通道1101，冷却液通道1101由多个相互连通的U形结构组成，冷却液通道1101一端与冷却液进口1102连通，另一端与冷却液出口1103连通，冷却液进口1102通过连接管道14与冷却液输入管道16连通，冷却液出口1103通过连接管道14与冷却液输出管道15连通，冷却液输入管道16和冷却液输出管道15均向上延伸至箱体1外部，冷却液输入管道16和冷却液输出管道15与箱体1连接位置处均设置有密封圈，连接管道14采用伸缩的波纹管结构，采用可伸缩结构的波纹管作为连接管14，在冷却板11的升降过程中，由连接管14进行伸缩，保证了冷却液输入管道16和冷却液输出管道15与箱体1之间的密封稳定性，有效的避免了冷却结构对真空腔内部真空工作的影响。
[0025]本技术的使用过程为：首先将待加工的晶圆板置于晶圆托板8上，推入箱体1内部，之后通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卧式晶圆真空腔体结构，其特征在于，包括箱体(1)，所述箱体(1)前侧左侧通过转轴(5)转动连接有腔门(2)，所述腔门(2)上贯穿开设有观察窗(201)，所述观察窗(201)内部固定连接有观察玻璃(4)，所述箱体(1)右侧设置有负压真空接头(3)，所述负压真空接头(3)与箱体(1)内部连通，所述箱体(1)两侧内壁固定连接有沿水平方向延伸的抽拉导轨(7)，所述抽拉导轨(7)上滑动连接有晶圆托板(8)，所述箱体(1)两侧内臂对称设置有沿竖直方向延伸的升降导轨(9)，所述升降导轨(9)上滑动连接有冷却板(11)，所诉箱体(1)内部顶侧固定安装有升降气缸(12)，所述升降气缸(12)输出端通过连接法兰(13)与冷却板(11)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种卧式晶圆真空腔体结构，其特征在于，所述箱体(1)右侧通过扣锁(6)与腔门(2)卡接，所述扣锁(6)包括卡扣(601)和卡槽(602)，所述卡扣(601)固定连接于箱体(1)右侧，所述卡槽(602)固定连接于腔门(2)右侧，所述卡扣(601)和卡槽(602)相互配合。3.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡伟松，
申请(专利权)人：苏州正久满自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：