喷头及检测设备制造技术

本申请实施例公开了一种喷头，包括主体和喷嘴，所述主体具有试剂容置槽；所述喷嘴与所述主体连接，所述喷嘴远离所述主体一侧设置为弧形面，所述弧形面背离所述主体凸出设置，所述喷嘴上具有多个出液孔，多个所述出液孔贯穿所述弧形面，且与所述试剂容置槽连通，本申请实施例中，该喷头能够降低待反应物黏附至喷头上的概率，进而提高检测实验的准确性。进而提高检测实验的准确性。进而提高检测实验的准确性。

【技术实现步骤摘要】
喷头及检测设备


[0001]本申请涉及晶圆检测设备领域，尤其涉及一种喷头及检测设备。

技术介绍

[0002]在晶圆的制备过程中，需要对晶圆进行各种检测，在一些检测中，需要使用喷头将检测试剂喷淋到晶圆上，喷头从晶圆的一端以恒定速度沿着晶圆的直径扫描移动到晶圆的另一端，以将检测试剂均匀地喷淋到晶圆上形成检测水膜，使检测试剂与晶元表面的待反应物发生反应，实现对晶圆的检测。

技术实现思路

[0003]本申请实施例提供一种喷头及检测设备，其能够降低待反应物黏附至喷头上的概率，提高检测实验的准确性。
[0004]第一方面，本申请实施例提供了一种喷头，包括：
[0005]主体，所述主体具有试剂容置槽；
[0006]喷嘴，所述喷嘴与所述主体连接，所述喷嘴远离所述主体一侧设置为弧形面，所述弧形面背离所述主体凸出设置，所述喷嘴上具有多个出液孔，多个所述出液孔贯穿所述弧形面，且与所述试剂容置槽连通。
[0007]基于本申请实施例的喷头，该喷头在使用时，喷头与外部设备固定连接，试剂容置槽内盛装有检测试剂，由外部设备对试剂容置槽内的检测试剂施加压力，以使检测试剂通过出液孔流出该喷头；在对晶圆进行检测时，喷头从晶圆的一端以恒定速度沿着晶圆的直径扫描移动至晶圆的另一端，同时，检测试剂通过多个出液孔从喷头内排出，以将检测试剂均匀地喷淋到晶圆上形成检测水膜，检测水膜与晶圆表面的待反应物发生化学反应，以实现对晶圆的检测；但是由于在大流量检测试剂的冲刷下，设置在晶圆表面的待反应物被大量裹挟翻滚而出，这些待反应物会黏附在喷头上，本申请实施例中将喷头远离主体一侧设置为弧形面，也即将喷嘴接近晶圆一侧设置为弧形面，同时，弧形面背离主体凸出设置，则弧形面从最远离主体处至最接近主体处弧形面距晶圆的距离越来越远，减小了在大流量检测试剂的冲刷下晶圆表面的待反应物溅射至弧形面上的概率，同时，溅射至弧形面上的化学试剂以及待反应物可沿弧形面从该喷头上滴落，减小了待反应物黏附至该喷头上的概率，保证了检测结果的准确度。
[0008]在本申请的一些实施例中，所述喷嘴的弧形面的两端延伸至所述主体。
[0009]基于上述实施例，将弧形面的两端延伸至主体，即沿当前弧形面的弧度将弧形面的两端延伸至抵接主体，增大了弧形面的面积，进一步降低了光刻胶的反应物黏附至喷头上的概率，同时，省去了处于弧形面两端和主体之间的喷嘴的表面，省去了弧形面两端与喷嘴表面之间折边，使得喷嘴的表面更加圆滑，便于检测试剂和光刻胶中的反应物溅射至喷嘴后，沿喷嘴的弧形面自动滑落。
[0010]在本申请的一些实施例中，所述出液孔具有出液口，所述出液口设于所述弧形面
距所述主体最远处。
[0011]基于上述实施例，将出液口设于弧形面距主体最远处，也即将出液口设置在弧形面距离晶圆最近处，便于喷头与晶圆之间形成软接触，即便于该喷头将检测试剂喷淋至晶圆的待检测面；其中，软接触指因为液体表面的张力，检测液体流出喷头形成的水流在接触晶圆后，在晶圆和喷头之间形成连续的不断开的水流的现象。
[0012]在本申请的一些实施例中，所述喷嘴和/或所述主体内具有一缓流腔，所述出液孔通过所述缓流腔与所述试剂容置槽连通，所述缓流腔内设有缓流件，所述缓流件外表面与所述缓流腔内壁之间具有间隙。
[0013]基于上述实施例，外部设备对试剂容置槽内的检测试剂施压后，试剂容置槽内的检测试剂流入至缓流腔内，此时，由于缓流腔内的检测试剂受到外部设备的压力而使缓流腔内的缓流件浮起，即检测试剂所具有的动力需要克服缓流件的重力和收到来自缓流件的阻力而减缓了流动速度；同时，在外部设备停止对缓流腔内的检测液体施加压力后，缓流件因自重下沉并封堵缓流腔与出液孔之间的连通，暂停喷头排出检测试剂，实现了该喷头的通断。
[0014]在本申请的一些实施例中，所述缓流腔呈圆柱形空腔设置，所述缓流件呈圆柱形设置，所述缓流件的外径小于所述缓流腔的内径。
[0015]基于上述实施例，将缓流腔设置为圆柱形空腔，对应的将缓流件设置为圆柱形，即缓流腔的内壁和缓流件的周壁均呈弧形设置具有良好的流线性，便于检测试剂在缓流腔内的流动，同时，圆柱形空腔的缓流腔和圆柱形的缓流件便于加工制造，减小了该喷头的加工难度；为使缓流件处于缓流腔内，缓流件的外径必然小于缓流腔的内径。
[0016]在本申请的一些实施例中，所述缓流件为石英缓流件。
[0017]基于上述实施例，由于缓流件在缓流腔内随检测试剂是否受到外部设备的压力而产生沉浮，缓流件与缓流腔内壁之间必然产生接触，为避免造成缓流件的磨损，因此，将缓流件设置为石英缓流件，增加缓流件的耐磨性。
[0018]在本申请的一些实施例中，所述喷嘴或所述主体上设置有集液槽，所述集液槽连通所述缓流腔和所述试剂容置槽，所述集液槽的水平截面的面积小于所述试剂容置槽的最小水平截面的面积。
[0019]基于上述实施例，外部设备对试剂容置槽内的液体试剂施加压力后，液体试剂经集液槽后再进入至缓流腔内，此时，由于沿喷头的高度方向，集液槽的横截面小于试剂容置槽的横截面，集液槽内的显影液受到的压强变大，使显影液的流速加快，即在出液孔相同的出液流速下，减小了外部设备需要施加给试剂容置槽内显影液的压力。
[0020]在本申请的一些实施例中，多个所述出液孔呈线性排列。
[0021]基于上述实施例，将多个出液孔线性排列后，相邻两个出液孔排出的两股水流将相互融合，多个出液孔线性排列后，多股水流将形成水帘，然后再喷淋至晶圆的表面，便于检测液体在晶圆表面形成厚度一致的检测水膜。
[0022]在本申请的一些实施例中，所述主体与所述喷嘴一体设置。
[0023]基于上述实施例，主体与喷嘴一体设置加强了主体与喷嘴之间的密封性。
[0024]第二方面，本申请实施例提供了一种检测设备，包括：
[0025]如上所述的喷头。
[0026]基于本申请实施例的检测设备，由于该检测设备具有上述喷头，因此，通过喷头保证了喷淋至晶圆表面的检测试剂能够形成均匀的检测水膜，也防止了喷头黏附反应物从晶圆表面的光刻胶层拖曳而过形成线性的光刻胶显影缺陷，提高了检测结果的准确度。
[0027]基于本申请实施例的喷头，该喷头在使用时，喷头与外部设备固定连接，试剂容置槽内盛装有检测试剂，由外部设备对试剂容置槽内的检测试剂施加压力，以使检测试剂通过出液孔流出该喷头；在对晶圆进行检测时，喷头从晶圆的一端以恒定速度沿着晶圆的直径扫描移动至晶圆的另一端，同时，检测试剂通过多个出液孔从喷头内排出，以将检测试剂均匀地喷淋到晶圆上形成检测水膜，检测水膜与晶圆表面的反应物发生化学反应，以实现对晶圆的检测；但是由于喷头喷出的检测试剂与晶圆接触后使检测试剂发生溅射，本申请实施例中将喷头远离主体一侧设置为弧形面，也即将喷嘴接近晶圆一侧设置为弧形面，弧形面从最远离主体处至最接近主体处弧形面距晶圆的距离越来越远，减小了化学试剂溅射至弧形面上的概率，同时，溅射至弧形面上的化学试剂可沿弧形面从该喷头本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷头，其特征在于，包括：主体，所述主体具有试剂容置槽；喷嘴，所述喷嘴与所述主体连接，所述喷嘴远离所述主体一侧设置为弧形面，所述弧形面背离所述主体凸出设置，所述喷嘴上具有多个出液孔，多个所述出液孔贯穿所述弧形面，且与所述试剂容置槽连通。2.如权利要求1所述的喷头，其特征在于，所述喷嘴的弧形面的两端延伸至所述主体。3.如权利要求1所述的喷头，其特征在于，所述出液孔具有出液口，所述出液口设于所述弧形面距所述主体最远处。4.如权利要求1所述的喷头，其特征在于，所述喷嘴和/或所述主体内具有一缓流腔，所述出液孔通过所述缓流腔与所述试剂容置槽连通，所述缓流腔内设有缓流件，所述缓流件外表面与所述缓流腔内壁之间具有间隙。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：程志，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：