电源以及电弧处理方法技术

本申请提供了一种电源以及电弧处理方法，该电源包括发电电路、电弧检测电路和驱动控制电路；电弧检测电路用于基于发电电路的第一输出信号得到电弧检测信号，基于电弧检测信号和发电电路的第二输出信号得到电弧检测功率，其中，电弧检测信号的变化趋势与第一输出信号的变化趋势相反；驱动控制电路用于在电弧检测功率达到目标功率阈值时，控制发电电路停止向负载输出电压和/或电流，以进行灭弧处理。采用本申请，可通过检测功率的大小来判断系统内是否产生电弧，并及时灭弧，提高了灭弧效率与灵敏度，降低了灭弧成本，提高了系统的安全性。提高了系统的安全性。提高了系统的安全性。

【技术实现步骤摘要】
电源以及电弧处理方法


[0001]本申请涉及电子电力
，尤其涉及一种电源以及电弧处理方法。

技术介绍

[0002]射频电源是一种可以产生固定频率(频率通常在特定射频范围(比如300kHz到30GHz))的正弦波电压、且具有一定输出功率的电源。射频电源广泛应用于半导体和光伏制造设备中，射频电源是半导体和光伏制造设备的核心构成，适用于半导体、光伏制造设备(例如镀膜机、光刻机、镀膜系统等)中等离子镀膜的供电。然而，等离子镀膜过程中容易产生等离子电弧，等离子电弧的产生会降低镀膜产品质量，使得镀膜产品的不良率升高，甚至损坏射频电源。因此，如何在射频电源为镀膜机、光刻机、镀膜系统等设备供电的过程中，实时检测设备工作过程中产生的电弧并灭弧，对于镀膜机、光刻机、镀膜系统等设备中电能元件的保护以及电源的保护至关重要。

技术实现思路

[0003]本申请提供了一种电源以及电弧处理方法，可通过检测功率的大小来判断系统内是否产生电弧，并及时灭弧，提高了灭弧效率与灵敏度，降低了灭弧成本，提高了系统的安全性。
[0004]第一方面，本申请提供一种电源，该电源可包括发电电路、电弧检测电路和驱动控制电路，发电电路可通过驱动控制电路连接负载，电弧检测电路可连接发电电路和驱动控制电路。这里的电弧检测电路可用于基于发电电路的第一输出信号得到电弧检测信号，并基于电弧检测信号和发电电路的第二输出信号得到电弧检测功率。这里，电弧检测信号的变化趋势与第一输出信号的变化趋势相反，第一输出信号为输出电压且第二输出信号为输出电流，或者第一输出信号为输出电流且第二输出信号为输出电压。这里的驱动控制电路可用于在电弧检测功率达到目标功率阈值时，控制发电电路停止向负载输出电压和/或电流，以进行灭弧处理。
[0005]在本申请中，电弧检测电路可以获得电弧检测功率，在电弧检测功率达到目标功率阈值时，驱动控制电路可控制发电电路停止向负载输出电压和/或电流，以对电弧进行灭弧处理，从而提高了灭弧效率与灵敏度，降低了灭弧成本，提高了系统的安全性。
[0006]结合第一方面，在第一种可能的实施方式中，电弧检测电路可以包括变压电路和第一功率检测电路。这里，变压电路的一端可作为电弧检测电路的一端连接发电电路，变压电路的另一端可连接第一功率检测电路的一端，第一功率检测电路的另一端可连接驱动控制电路。这里，第一输出信号可为输出电压且第二输出信号为输出电流。这里的变压电路可用于基于发电电路的输出电压得到电弧检测电压以作为电弧检测信号，这里，电弧检测电压的变化趋势与发电电路的输出电压的变化趋势相反。这里的第一功率检测电路可用于基于电弧检测电压和发电电路的输出电流得到电弧检测功率。这里的驱动控制电路还可用于在电弧检测功率大于或等于第一功率阈值时得到电弧检测功率达到目标功率阈值，并控制
发电电路停止向负载输出电压和/或电流。
[0007]在本申请中，当有电弧产生时，发电电路的输出电压与发电电路的输出电流的变化趋势相反，电弧检测电路可以基于发电电路的输出电压得到电弧检测电压，使得电弧检测电压的变化趋势与发电电路的输出电流的变化趋势相同，并基于电弧检测电压和发电电路的输出电流得到电弧检测功率，由此将发电电路的输出电压与发电电路的输出电流的变化放大为电弧检测功率的变化，进而提高电弧检测的灵敏度。可以理解，当电弧检测电路检测到电弧检测功率发生变化(例如，达到目标功率阈值)时，可以判断发电电路的输出电流和/或发电电路的输出电压发生变化，并判断有电弧产生，进而驱动控制电路可控制发电电路停止向负载输出电压和/或电流，以进行灭弧处理，从而提高了灭弧效率与灵敏度，降低了灭弧成本，提高了系统的安全性。
[0008]结合第一方面第一种可能的实施方式，在第二种可能的实施方式中，变压电路可包括第一反相电路，第一功率检测电路可包括第一乘法电路。这里，第一反相电路的一端可作为变压电路的一端连接发电电路，第一反相电路的另一端可连接第一乘法电路的一端，第一乘法电路的另一端可作为第一功率检测电路的另一端连接驱动控制电路。这里的第一反相电路可用于基于发电电路的输出电压进行反相电压变换得到反相电压以作为电弧检测电压。可以理解，这里的第一反相电路可以是反相器，或者其他可以将电压信号(比如发电电路的输出电压)的幅值进行翻转的电路，或其他可以将电压信号(比如发电电路的输出电压)进行反相变换的电路。这里的第一乘法电路可用于基于电弧检测电压和发电电路的输出电流得到电弧检测功率。可以理解，这里的第一乘法电路可以是乘法器，或者其他可以将电压信号(比如反相电压或电弧检测电压)的幅值和电流信号(比如发电电路的输出电流)的幅值进行乘积的电路，或其他可以基于电压信号(比如反相电压或电弧检测电压)和电流信号(比如发电电路的输出电流)得到功率信号(比如电弧检测功率)的电路。
[0009]结合第一方面第二种可能的实施方式，在第三种可能的实施方式中，变压电路还可包括第一运算放大电路和第一加法电路，第一反相电路的另一端可通过第一运算放大电路连接第一加法电路的一端，第一加法电路的另一端可连接第一乘法电路的一端。这里的第一运算放大电路可用于基于反相电压和电压变换参数得到放大后的反相电压。可以理解，这里的第一运算放大电路可以是运算放大器，或者其他可以将电压信号(比如反向电压)的幅值扩大的电路，或其他可以将电压信号(比如反相电压)进行放大变换的电路。这里的第一加法电路可用于基于发电电路的输出电压和电压变换参数得到提升电压，并基于提升电压和放大后的反相电压得到电弧检测电压。可以理解，这里的电压变换参数可以是一个预设的参数，也可以是第一加法电路基于发电电路的输出电压实时获取的参数。这里的第一加法电路可以是加法器，或者其他可以将电压信号(比如放大后的反相电压)的幅值进行提升的电路，或其他可以将电压信号(比如放大后的反相电压)进行升压变换的电路。
[0010]在本申请中，电源中的电弧检测电路的表现方式多样，变压电路和第一功率检测电路的组成方式多样，变压电路和第一功率检测电路的连接方式多样、灵活，可以适配不同的灭弧场景，增强电源的适应性。
[0011]结合第一方面，在第四种可能的实施方式中，电弧检测电路可包括变流电路和第二功率检测电路，变流电路的一端可作为电弧检测电路的一端连接发电电路，变流电路的另一端可连接第二功率检测电路的一端，第二功率检测电路的另一端可连接驱动控制电
路。这里，第一输出信号可为输出电流且第二输出信号为输出电压。这里的变流电路可用于基于发电电路的输出电流得到电弧检测电流以作为电弧检测信号。这里，电弧检测电流的变化趋势与发电电路的输出电流的变化趋势相反。这里的第二功率检测电路可用于基于电弧检测电流和发电电路的输出电压得到电弧检测功率。这里的驱动控制电路还可用于在电弧检测功率小于或等于第二功率阈值时得到电弧检测功率达到目标功率阈值，并控制发电电路停止向负载输出电压和/或电流。这里，第二功率阈值小于第一功率阈值。
[0012]电弧检测电路可以基于发电电路的输出电流得到电弧检测电流，使得电弧检测电流的变化趋本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电源，其特征在于，所述电源包括发电电路、电弧检测电路和驱动控制电路，所述发电电路通过所述驱动控制电路连接负载，所述电弧检测电路连接所述发电电路和所述驱动控制电路；所述电弧检测电路用于基于所述发电电路的第一输出信号得到电弧检测信号，基于所述电弧检测信号和所述发电电路的第二输出信号得到电弧检测功率，其中，所述电弧检测信号的变化趋势与所述第一输出信号的变化趋势相反，所述第一输出信号为输出电压且所述第二输出信号为输出电流，或者所述第一输出信号为输出电流且所述第二输出信号为输出电压；所述驱动控制电路用于在所述电弧检测功率达到目标功率阈值时，控制所述发电电路停止向所述负载输出电压和/或电流，以进行灭弧处理。2.根据权利要求1所述的电源，其特征在于，所述电弧检测电路包括变压电路和第一功率检测电路，所述变压电路的一端作为所述电弧检测电路的一端连接所述发电电路，所述变压电路的另一端连接所述第一功率检测电路的一端，所述第一功率检测电路的另一端连接所述驱动控制电路，所述第一输出信号为输出电压且所述第二输出信号为输出电流；所述变压电路用于基于所述发电电路的输出电压得到电弧检测电压以作为所述电弧检测信号，所述电弧检测电压的变化趋势与所述发电电路的输出电压的变化趋势相反；所述第一功率检测电路用于基于所述电弧检测电压和所述发电电路的输出电流得到所述电弧检测功率；所述驱动控制电路还用于在所述电弧检测功率大于或等于第一功率阈值时得到所述电弧检测功率达到目标功率阈值，并控制所述发电电路停止向所述负载输出电压和/或电流。3.根据权利要求2所述的电源，其特征在于，所述变压电路包括第一反相电路，所述第一功率检测电路包括第一乘法电路；所述第一反相电路的一端作为所述变压电路的一端连接所述发电电路，所述第一反相电路的另一端连接所述第一乘法电路的一端，所述第一乘法电路的另一端作为所述第一功率检测电路的另一端连接所述驱动控制电路；所述第一反相电路用于基于所述发电电路的输出电压进行反相电压变换得到反相电压以作为所述电弧检测电压；所述第一乘法电路用于基于所述电弧检测电压和所述发电电路的输出电流得到所述电弧检测功率。4.根据权利要求3所述的电源，其特征在于，所述变压电路还包括第一运算放大电路和第一加法电路，所述第一反相电路的另一端通过所述第一运算放大电路连接所述第一加法电路的一端，所述第一加法电路的另一端连接所述第一乘法电路的一端；所述第一运算放大电路用于基于所述反相电压和电压变换参数得到放大后的反相电压；所述第一加法电路用于基于所述发电电路的输出电压和所述电压变换参数得到提升电压，并基于所述提升电压和所述放大后的反相电压得到所述电弧检测电压。5.根据权利要求1所述的电源，其特征在于，所述电弧检测电路包括变流电路和第二功率检测电路，所述变流电路的一端作为所述电弧检测电路的一端连接所述发电电路，所述
变流电路的另一端连接所述第二功率检测电路的一端，所述第二功率检测电路的另一端连接所述驱动控制电路，所述第一输出信号为输出电流且所述第二输出信号为输出电压；所述变流电路用于基于所述发电电路的输出电流得到电弧检测电流以作为所述电弧检测信号，所述电弧检测电流的变化趋势与所述发电电路的输出电流的变化趋势相反；所述第二功率检测电路用于基于所述电弧检测电流和所述发电电路的输出电压得到所述电弧检测功率；所述驱动控制电路还用于在所述电弧检测功率小于或等于第二功率阈值时得到所述电弧检测功率达到目标功率阈值，并控制所述发电电路停止向所述负载输出电压和/或电流，其中，所述第二功率阈值小于第一功率阈值。6.根据权利要求5所述的电源，其特征在于，所述变流电路包括第二反相电路，所述第二功率检测电路包括第二乘法电路；所述第二反相电路的一端作为所述变流电路的一端连接所述发电电路，所述第二反相电路的另一端连接所述第二乘法电路的一端，所述第二乘法电路的另一端作为所述第二功率检测电路的另一端连...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈亚梯，赵志浩，王绍煦，罗超，
申请(专利权)人：深圳市瀚强科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：