一种光束孔调节装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光束孔调节装置，涉及光学或带电粒子束光学领域，包括底座，具有通孔；底座与第一直线驱动源连接以能沿X方向移动；主动模块，固定在底座上；主动模块具有第一柔性形变部，第一柔性形变部与第二直线驱动源连接以能沿Y方向产生形变；和从动模块，固定在底座上；从动模块具有与第一柔性形变部侧边接触的第二柔性形变部，第二柔性形变部上开设有光束孔，且光束孔能够与通孔连通；第一直线驱动源驱使底座运动完成光束孔向X方向移动，第二直线驱动源驱使第一柔性形变部形变以使得第二柔性形变部在Y方向产生形变；通过以上结构设置，减少了传统传动机构带来的误差影响，本方案有效的保障并提高了运动可重复性。方案有效的保障并提高了运动可重复性。方案有效的保障并提高了运动可重复性。

【技术实现步骤摘要】
一种光束孔调节装置


[0001]本专利技术涉及光学或带电粒子束光学领域，具体为一种光束孔调节装置。

技术介绍

[0002]光学设备通常包括光束孔，具有光束孔的部件可称为光阑，光束孔用于改变光束的大小。例如，通过调节光束孔的位置实现光路的连通或隔断，当设置至少两个光束孔时，还可实现光束在不同光束孔的切换。当然这里的光束孔同样在带电粒子束光学设备中也有设置，切换两个光束孔时，同样可实现带电粒子束在不同光束孔的切换；在现有技术中，可以采用手动控制和电动控制两种方式调节光束孔的位置。
[0003]由于手动控制无法准确掌握光束孔位置的调节，而且在一些特殊的应用场景(例如大功率激光光路)，手动控制较为危险、定位精度也不高，因此大多需要采用电动控制的方式；目前提出有一种光束孔调节装置，包括直线驱动源、丝杠传动机构和光阑，通过正交堆叠的直线驱动机构分别调节光束孔在正交的两个方向(X方向和Y方向)上的位移，直线驱动机构包括直线驱动源(例如电机)和丝杠传动机构，直线驱动源通过丝杠传动机构驱动光阑(例如，丝杠传动机构中的滑块上设置有光束孔，滑块作为光阑)运动；但是，由于丝杠传动机构因为存在加工误差等原因使得光阑在进行X方向和Y方向运动时二者存在间隙，导致整体机构(光束孔调节装置)的运动重复性较低，有必要提高运动可重复性。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的问题，本专利技术提出了一种新的技术方案，即提出了一种光束孔调节装置，通过对该装置的结构进行全新的设计，解决目前存在的整体机构运动重复性较低的问题。r/>[0005]本专利技术提出的具体方案如下：
[0006]一种光束孔调节装置，包括
[0007]底座，具有通孔；所述底座与第一直线驱动源连接以能沿X方向移动；
[0008]主动模块，固定在所述底座上；所述主动模块具有第一柔性形变部，所述第一柔性形变部与第二直线驱动源连接以能沿Y方向产生形变；和
[0009]从动模块，固定在所述底座上；所述从动模块具有在Y方向运动时与第一柔性形变部侧边接触的第二柔性形变部，所述第二柔性形变部上开设有光束孔，且所述光束孔能够与所述通孔连通；
[0010]所述第一直线驱动源驱使所述底座运动完成所述光束孔向X方向移动，所述第二直线驱动源驱使所述第一柔性形变部形变以使得所述第二柔性形变部在Y方向产生形变，从而完成所述光束孔向着Y方向移动。
[0011]进一步的，所述第一直线驱动源和所述第二直线驱动源的输出端在所述底座的同侧沿X方向平行设置，所述底座上包括用于与所述第一直线驱动源的固定端连接的安装面。
[0012]进一步的，所述第一柔性形变部被配置为受第二直线驱动源驱使提供预紧力，使
其侧边在初始状态时和进行X方向和Y方向运动时始终接触所述第二柔性形变部。
[0013]进一步的，所述光束孔被配置为在初始状态与所述通孔连通或者隔断，且当初始状态为隔断时，所述光束孔被配置为能沿Y方向移动以与所述通孔连通；所述光束孔的数量为至少两个，所述光束孔被配置为能沿Y方向移动以使得光束能从与通孔连通的一光束孔切换到与通孔连通的另一光束孔。
[0014]进一步的，所述主动模块还包括
[0015]第一固定部，与所述底座固定；和
[0016]运动承接部，与所述第二直线驱动源连接；
[0017]所述第一柔性形变部包括在Y方向两侧对称设置且连接的第一柔性铰链；一侧的所述第一柔性铰链分别与第一固定部和另一侧的第一柔性铰链连接，另一侧的所述第一柔性铰链还与运动承接部连接。
[0018]进一步的，两侧的所述第一柔性铰链之间的连接端形成第一本体，所述第一柔性铰链包括具有柔性铰点的第一连杆，所述第一连杆与X方向形成夹角α以使得所述第一本体向着所述第二柔性形变部方向凸出并彼此接触，其中0
°
＜α≤45
°
。
[0019]进一步的，所述从动模块还包括第二固定部；所述第二固定部设置在所述第二柔性形变部的两侧且分别与所述底座固定，所述第二柔性形变部包括在Y方向两侧对称设置且连接的第二柔性铰链，两侧的所述第二柔性铰链分别与对应的第二固定部连接。
[0020]进一步的，两侧的所述第二柔性铰链之间的连接端形成第二本体，所述第二柔性铰链包括具有柔性铰点的第二连杆，所述第二连杆与X方向形成夹角β以使得所述第二本体向着所述第一柔性形变部方向凸出并彼此接触，其中0
°
≤β≤45
°
。
[0021]进一步的，所述第一柔性形变部和所述第二柔性形变部均相对于所述底座悬空设置。
[0022]进一步的，还包括：滚动件，所述主动模块与所述从动模块在相对的侧面分别设置凹槽，所述凹槽中设置滚动件，以使得所述主动模块与所述从动模块滚动连接。
[0023]采用本技术方案所达到的有益效果为：
[0024]本方案是在第二柔性变形部上设置光束孔(第二柔性变形部作为光阑)，通过第一柔性形变部(作为传动机构)在运动时和第二柔性形变部始终接触来调节光束孔在Y方向的位置，能够有效的杜绝传动机构因为存在加工误差等原因导致在光阑进行Y方向运动时光阑和传动机构之间存在间隙，进而避免整体机构的运动重复性较低的现象，有效的保证了光束孔调节的精度，提高了运动可重复性。
附图说明
[0025]图1为本专利技术一实施例中光束孔调节装置的立体结构图。
[0026]图2为本专利技术一实施例中光束孔调节装置的俯视平面图。
[0027]图3为本专利技术一实施例中主动模块的结构图。
[0028]图4为本专利技术一实施例中主动模块受到第二直线驱动源作用力时产生的形变图。
[0029]图5为本专利技术一实施例中从动模块受到来自主动模块的位移施加时产生的形变图。
[0030]图6为本专利技术一实施例中滚动承接件的布局展示图。
[0031]图7为本专利技术一实施例中V型滑槽的结构图。
[0032]图8为本专利技术一实施例中滚动承接件的具体组成结构图。
[0033]其中：10底座、11通孔、20主动模块、21第一柔性形变部、22第一固定部、23运动承接部、30从动模块、31第二柔性形变部、32第二固定部、40滚动件、41保持架、42滚子、211第一本体、212第一连杆、311第二本体、312第二连杆。
具体实施方式
[0034]以下结合附图对本专利技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本专利技术，并非用于限定本专利技术的范围。
[0035]本实施例提供了一种光束孔调节装置，通过改进该装置的结构设计，实现在进行光束孔调节时，避免传统传动机构带来的误差影响，对于运动可重复性的提高和各个光束孔的精准调整均具有极大的促进作用，使得本装置能够更好地运用在高精细要求的场景中。
[0036]具体的，参见图1－图2，本装置包括底座10、主动模块20和从动模块30，并且为了便于对后文的理解，这里在图示中定义了X方向和Y方向，X方向和Y方向垂直设置代表着本文中提及的正本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光束孔调节装置，其特征在于，包括底座(10)，具有通孔(11)；所述底座(10)与第一直线驱动源连接以能沿X方向移动；主动模块(20)，固定在所述底座(10)上；所述主动模块(20)具有第一柔性形变部(21)，所述第一柔性形变部(21)与第二直线驱动源连接以能沿Y方向产生形变；和从动模块(30)，固定在所述底座(10)上；所述从动模块(30)具有在Y方向运动时与第一柔性形变部(21)侧边接触的第二柔性形变部(31)，所述第二柔性形变部(31)上开设有光束孔，且所述光束孔能够与所述通孔(11)连通；所述第一直线驱动源驱使所述底座(10)运动完成所述光束孔向X方向移动，所述第二直线驱动源驱使所述第一柔性形变部(21)形变以使得所述第二柔性形变部(31)在Y方向产生形变，从而完成所述光束孔向着Y方向移动。2.根据权利要求1所述的一种光束孔调节装置，其特征在于，所述第一直线驱动源和所述第二直线驱动源的输出端在所述底座(10)的同侧沿X方向平行设置，所述底座(10)上包括用于与所述第一直线驱动源的固定端连接的安装面。3.根据权利要求1所述的一种光束孔调节装置，其特征在于，所述第一柔性形变部(21)被配置为受第二直线驱动源驱使提供预紧力，使其侧边在初始状态时和进行X方向和Y方向运动时始终接触所述第二柔性形变部(31)。4.根据权利要求1所述的一种光束孔调节装置，其特征在于，所述光束孔被配置为在初始状态与所述通孔(11)连通或者隔断，且当初始状态为隔断时，所述光束孔被配置为能沿Y方向移动以与所述通孔(11)连通；所述光束孔的数量为至少两个，所述光束孔被配置为能沿Y方向移动以使得光束能从与通孔(11)连通的一光束孔切换到与通孔(11)连通的另一光束孔。5.根据权利要求1所述的一种光束孔调节装置，其特征在于，所述主动模块(20)还包括第一固定部(22)，与所述底座(10)固定；和运动承接部(23)，与所述第二直线驱动源连接；所述第一柔性形变部(21)...

【专利技术属性】
技术研发人员：缪晖华，秦锋，
申请(专利权)人：上海精测半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：