本发明专利技术提供半导体检测相机模组安装校准装置，包括柔性铰，第一部分固接于第一光路装置，且第一光路装置具有第一坐标系；其第二部分固接于第二光路装置，且第二光路装置具有与待检测样品平台一致的第二坐标系，第二坐标系与第一坐标系之间具有偏差δ，第一部分和第二部分之间设有鱼眼接头连接单元，用于实现偏差δ的精准调节。本发明专利技术还提供半导体检测相机模组安装校准方法以及用途。本发明专利技术可以精确调节安装上的偏差，不仅提高相机与运动台坐标系校准的精度，降低了通过图像识别来进行坐标系偏离误差补偿的难度；同时还大大降低了对整机各模块设计中安装定位精度的要求，从而为晶圆预对准步骤提供了精度保障。对准步骤提供了精度保障。对准步骤提供了精度保障。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体检测相机模组安装校准装置及其校准方法
[0001]本专利技术属于半导体检测设备
，具体设计一种通用的相机角度调整装置。
技术介绍
[0002]现有半导体技术中，需要在调平、光刻工序前，对晶圆进行预对准，尽量缩小晶圆从晶圆盒中由机械手取出再放到精对准工位的位置重复性误差。目前采用的预对准定位方法都采用线性CCD(chargecoupleddevice，电荷耦合器件)传感器检测晶圆边缘及晶圆中心。
[0003]半导体检测设备中，常用的CCD相机光路（透镜镜筒）模组通常通过C接口配合顶丝便捷地进行固定，C接口可以保证光路模组在对接时光路中心重合（即限制了X,Y的位置），但是不能约束转角θ。具体如图1和图2所示。
[0004]在安装时相机视野决定坐标系CORD1与运动台XY轴确定的坐标系CORD2之间必然存在偏差δ，手动调整很难将偏差δ调整至很小，因此本领域迫切需要能够将偏差δ进行精准调节的技术方案。
[0005]基于以上，本申请提供了解决以上技术问题的技术方案。
技术实现思路
[0006]本专利技术的第一目的在于获得一种可以精准调节晶圆预对准偏差的半导体检测相机模组安装校准装置。
[0007]本专利技术的第二目的在于获得一种可以精准调节晶圆预对准偏差的半导体检测相机模组安装校准方法。
[0008]本专利技术的第三目的在于获得一种精准调节晶圆预对准偏差的应用。
[0009]本专利技术的第一方面提供一种半导体检测相机模组安装校准装置，包括柔性铰，所述柔性铰的第一部分固接于所述半导体检测相机模组的第一光路装置，且所述半导体检测相机模组的第一光路装置具有第一坐标系，所述柔性铰的第二部分固接于所述半导体检测相机模组的第二光路装置，且所述半导体检测相机模组的第二光路装置具有与待检测样品平台一致的第二坐标系，所述第二坐标系与所述第一坐标系之间具有偏差δ，所述柔性铰的第一部分和所述柔性铰的第二部分之间设有鱼眼接头连接单元，所述鱼眼接头连接单元用于实现所述偏差δ的精准调节。
[0010]在本专利技术的一个具体实施方式中，所述半导体检测相机为CCD相机。
[0011]在本专利技术的一个具体实施方式中，所述鱼眼接头连接单元中，包括：头部鱼眼结构，所述头部鱼眼结构套接于摇杆，所述摇杆固接于所述柔性铰的第一部分，其中所述摇杆可在所述头部的鱼眼结构中转动一定的角度，且所述摇杆可在所述头部鱼眼结构中滑动一定的距离，从而为所述柔性铰的第一部分提供Z轴上的微调自由度，并由此调节固接在所述柔性铰的第一部分上的第一光路装置在Z轴上的微调自由度；
尾部螺纹结构，所述尾部的螺纹结构与所述柔性铰的第二部分螺纹连接；所述头部鱼眼结构和所述尾部结构中间设有弹性装置。
[0012]在本专利技术的一个具体实施方式中，应用于所述的半导体检测相机模组，其包括如下步骤：在进行对第一坐标系和第二坐标系的偏差δ进行校准时，拧动所述尾部的螺纹结构，使得所述中部的弹性装置，例如弹簧，进行压缩，使得所述摇杆在带动所述柔性铰的第一部分转动一定角度时并在所述头部鱼眼结构中滑动一定距离，从而实现精准调节。
[0013]在本专利技术的一个具体实施方式中，所述半导体检测相机为CCD相机。
[0014]本专利技术的第二方面提供一种半导体检测相机模组安装校准方法，其应用于本专利技术所述的半导体检测相机模组，其包括如下步骤：将所述柔性铰的第一部分固接于所述半导体检测相机模组的第一光路装置，且所述半导体检测相机模组的第一光路装置具有第一坐标系，将所述柔性铰的第二部分固接于所述半导体检测相机模组的第二光路装置，且所述半导体检测相机模组的第二光路装置具有与待检测样品平台一致的第二坐标系，在进行对第一坐标系和第二坐标系的偏差δ进行校准时，通过所述柔性铰的第一部分和所述柔性铰的第二部分之间设有鱼眼接头连接单元，实现所述偏差δ的精准调节。
[0015]本专利技术的第三方面提供一种半导体检测相机模组安装校准装置的用途，其用于晶圆预对准。
[0016]本专利技术能够带来以下至少一种有益效果：不仅提高了相机与运动台坐标系校准的精度，降低了通过图像识别来进行坐标系偏离误差补偿的难度；同时还大大降低了对整机各模块设计中安装定位精度的要求，从而为晶圆预对准步骤提供了精度保障。
附图说明
[0017]下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。
[0018]图1为现有技术的半导体检测相机模组安装校准装置。
[0019]图2为本专利技术的一个半导体检测相机模组安装校准装置的示例。
[0020]图3为图2的一个半导体检测相机模组安装校准装置的俯视图。
具体实施方式
[0021]本专利技术中，专利技术人经过了广泛和深入的试验，为了解决现有技术定位精准不足的问题，发现一种方便可行的方式，不仅提高了相机与运动台坐标系校准的精度，降低了通过图像识别来进行坐标系偏离误差补偿的难度；同时还大大降低了对整机各模块设计中安装定位精度的要求，从而为晶圆预对准步骤提供了精度保障。
[0022]除非另有明确的规定和限定，本专利技术的术语“相连”、“连通”、“连接”应作广义理解，例如，可以使固定连接，也可以是通过中介媒介间相连，可以是两个元件内部的连通或
者两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0023]在此术语例如“顶”、“底”、“上方”、“下方”、“上面”、“下面”等等用来描述如在附图中所示的一个元件、层或区域相对于另一个元件、层或区域的关系。可以理解到，除了在附图中描述的取向之外，这些术语应该也包含装置的其他取向。
[0024]可以理解到，尽管术语“第一”、“第二”等等可以在此用来说明不同的元件，但是这些元件不应被这些术语限制。这些术语仅仅用来将一个元件与另一个元件区分开。因此，第一元件可以被称为第二元件，而不背离本专利技术构思的教导。
[0025]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本专利技术的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。
[0026]还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0027]另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等描述的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体检测相机模组安装校准装置，其特征在于，包括柔性铰，所述柔性铰的第一部分固接于所述半导体检测相机模组的第一光路装置，且所述半导体检测相机模组的第一光路装置具有第一坐标系，所述柔性铰的第二部分固接于所述半导体检测相机模组的第二光路装置，且所述半导体检测相机模组的第二光路装置具有与待检测样品平台一致的第二坐标系，所述第二坐标系与所述第一坐标系之间具有偏差δ，所述柔性铰的第一部分和所述柔性铰的第二部分之间设有鱼眼接头连接单元，所述鱼眼接头连接单元用于实现所述偏差δ的精准调节。2.如权利要求1所述的半导体检测相机模组安装校准装置，其特征在于，所述半导体检测相机为CCD相机。3.如权利要求1所述的半导体检测相机模组安装校准装置，其特征在于，所述鱼眼接头连接单元中，包括：头部鱼眼结构，所述头部鱼眼结构套接于摇杆，所述摇杆固接于所述柔性铰的第一部分，其中所述摇杆可在所述头部鱼眼结构中转动一定的角度，且所述摇杆可在所述头部鱼眼结构中滑动一定的距离，从而为所述柔性铰的第一部分提供Z轴上的微调自由度，并由此调节固接在所述柔性铰的第一部分上的所述第一光路装置在Z轴上的微调自由度；尾部螺纹结构，所述尾部螺纹结构与所述柔性铰的第二部分螺纹连接；所述头部鱼眼结构和所述尾部...
【专利技术属性】
技术研发人员：温任华，
申请(专利权)人：魅杰光电科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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