热电转换元件模块以及热电转换元件模块的制造方法技术

本申请的发明专利技术所涉及的热电转换元件模块具备：第一绝缘基板；第二绝缘基板，设置于第一绝缘基板的上方；n型热电元件，设置于第一绝缘基板与第二绝缘基板之间；p型热电元件，设置于第一绝缘基板与第二绝缘基板之间；第一电极，设置于第二绝缘基板中的与第一绝缘基板对置的面亦即背面，并将n型热电元件的上端侧与p型热电元件的上端侧电连接；第二电极，设置于第一绝缘基板的上表面，并与n型热电元件的下端侧电连接；第三电极，设置于第一绝缘基板的上表面，并与p型热电元件的下端侧电连接；第一金属层，设置于第一绝缘基板之下；第一绝缘层，设置于第一金属层之下；第二金属层，设置于第二绝缘基板之上；以及第二绝缘层，设置于第二金属层之上。属层之上。属层之上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】热电转换元件模块以及热电转换元件模块的制造方法


[0001]本专利技术涉及热电转换元件模块以及热电转换元件模块的制造方法。

技术介绍

[0002]在专利文献1中公开有一种热电模块。热电模块具有相对的第一以及第二陶瓷基板。在第一以及第二陶瓷基板的各内侧面接合有第一以及第二电极。热电元件介于第一以及第二电极之间。热电元件与第一以及第二电极接合。
[0003]专利文献1：日本特开2012
‑
44133号公报
[0004]在专利文献1那样的热电转换元件模块的制造过程中，有时在陶瓷基板产生空隙或裂缝。由此，有时形成将陶瓷基板在厚度方向上贯通的路径。热电转换元件模块在市场中实际运行时，被施加电压。由此，有可能在因空隙或裂缝而产生的路径产生电迁移。此时，有可能陶瓷基板的表背间导通而由热电元件形成的电路经由陶瓷基板与外部电连接。因此，存在热电转换元件模块无法发挥功能的可能性。

技术实现思路

[0005]本专利技术是为了解决上述的问题而做出的，其目的在于得到一种能够防止由热电元件形成的电路经由绝缘基板与外部电连接的热电转换元件模块以及热电转换元件模块的制造方法。
[0006]本申请的专利技术所涉及的热电转换元件模块具备：第一绝缘基板；第二绝缘基板，设置于该第一绝缘基板的上方；n型热电元件，设置于该第一绝缘基板与该第二绝缘基板之间；p型热电元件，设置于该第一绝缘基板与该第二绝缘基板之间；第一电极，设置于该第二绝缘基板中的与该第一绝缘基板对置的面亦即背面，并将该n型热电元件的上端侧与该p型热电元件的上端侧电连接；第二电极，设置于该第一绝缘基板的上表面，并与该n型热电元件的下端侧电连接；第三电极，设置于该第一绝缘基板的该上表面，并与该p型热电元件的下端侧电连接；第一金属层，设置于该第一绝缘基板之下；第一绝缘层，设置于该第一金属层之下；第二金属层，设置于该第二绝缘基板之上；以及第二绝缘层，设置于该第二金属层之上。
[0007]本申请的专利技术所涉及的热电转换元件模块具备：第一绝缘基板；第二绝缘基板，设置于该第一绝缘基板的上方；n型热电元件，设置于该第一绝缘基板与该第二绝缘基板之间；p型热电元件，设置于该第一绝缘基板与该第二绝缘基板之间；第一电极，设置于该第二绝缘基板中的与该第一绝缘基板对置的面亦即背面，并将该n型热电元件的上端侧与该p型热电元件的上端侧电连接；第二电极，设置于该第一绝缘基板的上表面，并与该n型热电元件的下端侧电连接；第三电极，设置于该第一绝缘基板的该上表面，并与该p型热电元件的下端侧电连接；第一绝缘层，设置于该第一绝缘基板之下；以及第二绝缘层，设置于该第二绝缘基板之上，该第一绝缘基板和该第二绝缘基板为陶瓷基板，该第一绝缘层和该第二绝缘层是未烧制的。
[0008]在本申请的专利技术所涉及的热电转换元件模块的制造方法中，在第一绝缘基板与设置于该第一绝缘基板的上方的该第二绝缘基板之间设置n型热电元件和p型热电元件，将该n型热电元件的上端侧与该p型热电元件的上端侧通过设置于该第二绝缘基板中的与该第一绝缘基板对置的面亦即背面的第一电极电连接，将设置于该第一绝缘基板的上表面的第二电极与该n型热电元件的下端侧电连接，并且将设置于该第一绝缘基板的该上表面的第三电极与该p型热电元件的下端侧电连接，在烧制该第一绝缘基板和该第二绝缘基板之后，在该第一绝缘基板之下设置第一绝缘层，并且在该第二绝缘基板之上设置第二绝缘层。
[0009]在本申请的专利技术所涉及的热电转换元件模块以及热电转换元件模块的制造方法中，分别在第一绝缘基板之下以及第二绝缘基板之上设置第一绝缘层和第二绝缘层。通过第一绝缘层和第二绝缘层，能够防止由热电元件形成的电路经由绝缘基板与外部电连接。
附图说明
[0010]图1是实施方式1所涉及的热电转换元件模块的剖视图。
[0011]图2是表示在实施方式1所涉及的热电转换元件模块搭载有半导体装置的状态的剖视图。
[0012]图3是实施方式2所涉及的热电转换元件模块的剖视图。
[0013]图4是实施方式3所涉及的热电转换元件模块的剖视图。
具体实施方式
[0014]参照附图对本专利技术的实施方式所涉及的热电转换元件模块以及热电转换元件模块的制造方法进行说明。对相同的或对应的构成要素标注相同的附图标记，有时省略重复说明。
[0015]实施方式1
[0016]图1是实施方式1所涉及的热电转换元件模块100的剖视图。热电转换元件模块100具有第一绝缘基板10和设置于第一绝缘基板10的上方的第二绝缘基板20。第一绝缘基板10与第二绝缘基板20对置。
[0017]第一绝缘基板10以及第二绝缘基板20例如是通过烧制而形成的陶瓷基板。第一绝缘基板10和第二绝缘基板20例如由生片(green sheet)形成。第一绝缘基板10和第二绝缘基板20也可以分别由层叠的多个生片形成。第一绝缘基板10以及第二绝缘基板20例如由氧化铝质烧结体或氮化铝质烧结体形成。第一绝缘基板10以及第二绝缘基板20的厚度例如为0.15～0.25mm。
[0018]在第一绝缘基板10与第二绝缘基板20之间设置有多个n型热电元件31a～31c和多个p型热电元件32a～32c。第一绝缘基板10与第二绝缘基板20夹持n型热电元件31a～31c和p型热电元件32a～32c。第一绝缘基板10和第二绝缘基板20是n型热电元件31a～31c和p型热电元件32a～32c的支承部件。
[0019]多个n型热电元件31a～31c和多个p型热电元件32a～32c分别与第一绝缘基板10以及第二绝缘基板20垂直地立设。多个n型热电元件31a～31c与多个p型热电元件32a～32c交替排列。设置于热电转换元件模块100的n型热电元件31a～31c和p型热电元件32a～32c的数量分别为一个以上即可。
[0020]在第一绝缘基板10的上表面设置有电极41a～41d。另外，在第二绝缘基板20中的与第一绝缘基板10对置的面亦即背面设置有电极42a～42c。n型热电元件31a～31c和p型热电元件32a～32c设置于电极41a～41d与电极42a～42c之间。
[0021]电极41a与n型热电元件31a的下端侧电连接。电极42a将n型热电元件31a的上端侧与p型热电元件32a的上端侧电连接。电极41b将p型热电元件32a的下端侧与n型热电元件31b的下端侧电连接。电极42b将n型热电元件31b的上端侧与p型热电元件32b的上端侧电连接。电极41c将p型热电元件32b的下端侧与n型热电元件31c的下端侧电连接。电极42c将n型热电元件31c的上端侧与p型热电元件32c的上端侧电连接。电极41d与p型热电元件32c的下端侧电连接。
[0022]电极41a～41d和电极42a～42c将n型热电元件31a～31c与p型热电元件32a～32c交替地串联连接。由此，电极41a～41d、电极42a～42c、n型热电元件31a～31c以及p型热电元件32a～32c形成电路。
[0023]n型热本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种热电转换元件模块，其特征在于，所述热电转换元件模块具备：第一绝缘基板；第二绝缘基板，设置于所述第一绝缘基板的上方；n型热电元件，设置于所述第一绝缘基板与所述第二绝缘基板之间；p型热电元件，设置于所述第一绝缘基板与所述第二绝缘基板之间；第一电极，设置于所述第二绝缘基板中的与所述第一绝缘基板对置的面亦即背面，并将所述n型热电元件的上端侧与所述p型热电元件的上端侧电连接；第二电极，设置于所述第一绝缘基板的上表面，并与所述n型热电元件的下端侧电连接；第三电极，设置于所述第一绝缘基板的所述上表面，并与所述p型热电元件的下端侧电连接；第一金属层，设置于所述第一绝缘基板之下；第一绝缘层，设置于所述第一金属层之下；第二金属层，设置于所述第二绝缘基板之上；以及第二绝缘层，设置于所述第二金属层之上。2.一种热电转换元件模块，其特征在于，所述热电转换元件模块具备：第一绝缘基板；第二绝缘基板，设置于所述第一绝缘基板的上方；n型热电元件，设置于所述第一绝缘基板与所述第二绝缘基板之间；p型热电元件，设置于所述第一绝缘基板与所述第二绝缘基板之间；第一电极，设置于所述第二绝缘基板中的与所述第一绝缘基板对置的面亦即背面，并将所述n型热电元件的上端侧与所述p型热电元件的上端侧电连接；第二电极，设置于所述第一绝缘基板的上表面，并与所述n型热电元件的下端侧电连接；第三电极，设置于所述第一绝缘基板的所述上表面，并与所述p型热电元件的下端侧电连接；第一绝缘层，设置于所述第一绝缘基板之下；以及第二绝缘层，设置于所述第二绝缘基板之上，所述第一绝缘基板和所述第二绝缘基板为陶瓷基板，所述第一绝缘层和所述第二绝缘层是未烧制...

【专利技术属性】
技术研发人员：高平智，黑木公治，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：