【技术实现步骤摘要】
一种半导体芯片等离子清洗机的上下料装置
[0001]本技术涉及等离子清洗机设备
,尤其涉及一种半导体芯片等离子清洗机的上下料装置。
技术介绍
[0002]等离子清洗机是通过等离子体放电清洗芯片框架或PCB集板等半导体芯片的装置。现有的等离子清洗机配备有上下料机构,可对应不同宽度的半导体芯片使用,但上下料机构上的大多数部件为单侧调节,如储料装置和传料装置,二者的一侧位置均为为固定,另一侧为可调,以实现放置、输送不同宽度的半导体芯片。
[0003]但这样调节方式需要对应调节其余部件,如用于将储料装置内的未清洗半导体芯片推出至传料装置的第一推爪;用于将传料装置上的未清洗的半导体芯片推出至料盘上以及将料盘上已清洗的半导体芯片推入至传料装置上的第二推爪,以使得第一推爪、第二推爪均与半导体芯片的中心线位置相对应,因此,转换半导体芯片的类型时,需要配合调节多个部件,调节步骤繁琐,耗时长。
技术实现思路
[0004]本技术所要解决的技术问题在于,提供一种半导体芯片等离子清洗机的上下料装置,实现减少调节部件的数量的功能,简化调节步骤,减少耗时。
[0005]为了解决上述技术问题,本技术提供了一种半导体芯片等离子清洗机的上下料装置,包括机座;
[0006]储料装置,包括安装在机座上的第一升降机构、安装在第一升降机构输出端的夹持组件和若干安装在夹持组件上的料盒;
[0007]传料装置,包括平移组一、左侧板、右侧板和输料组件,平移组一安装在机座上,并位于料盒的出料端,若干左侧板和若干右侧 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体芯片等离子清洗机的上下料装置,其特征在于,包括机座(1);储料装置(2),包括安装在机座(1)上的第一升降机构(21)、安装在第一升降机构(21)输出端的夹持组件(22)和若干安装在夹持组件(22)上的料盒(23);传料装置(3),包括平移组一、左侧板(31)、右侧板(32)和输料组件(33),平移组一安装在机座(1)上,并位于料盒(23)的出料端,若干左侧板(31)和若干右侧板(32)分别安装在平移组一的输出端,并在平移组一的驱动下一一对应作相向或远离运动,输料组件(33)安装在左侧板(31)和右侧板(32)上;第一推料装置(4),包括安装在机座(1)上的第三平移机构(41)和若干安装在第三平移机构(41)输送端的第一推爪(42),第三平移机构(41)位于料盒(23)远离传料装置(3)的一侧,第一推爪(42)将料盒(23)内的半导体芯片推出至传料装置(3);料盘组件(5),安装在机座(1)上,用于交替接收传料装置(3)上的半导体芯片;以及第二推料装置(6),包括安装在机座(1)上的第四平移机构(61)、安装在第四平移机构(61)输出端的第二升降机构(62)和若干安装在第二升降机构(62)输出端的第二推爪(63),第二推爪(63)用于将半导体芯片从料盘组件(5)推入传料装置(3)或从传料装置(3)推出料盘组件(5)。2.如权利要求1所述的一种半导体芯片等离子清洗机的上下料装置,其特征在于,所述夹持组件(22)包括安装板(221)、左夹条(222)、右夹条(223)、调位机构(224)和压紧机构(225),所述安装板(221)设置在所述第一升降机构(21)的输出端,所述调位机构(224)和压紧机构(225)均安装在安装板(221)上,若干右夹条(223)安装在调位机构(224)上,若干左夹条(222)安装在压紧机构(225)上,并在压紧机构(225)的作用下与右夹条(223)配合夹紧料盒(23)。3.如权利要求2所述的一种半导体芯片等离子清洗机的上下料装置,其特征在于,所述调位机构(224)包括与安装板(221)滑动连接的第二连接板(2241)与安装板(221)螺纹连接的螺杆一(2242),若干所述右夹条(223)等间距的固定在第二连接板(2241)上,螺杆一(2242)与第二连接板(2241)转动连接,螺杆一(2242)末端固定有便于转动螺杆一(2242)的手轮(2243)。4.如权利要求2所述的一种半导体芯片等离子清洗机的上下料装置,其特征在于,所述压紧机构(225)包括与安装板(221)滑动连接的第一连接板(2251)和安装在安装板(221)上的第一驱动气缸(2252),第一连接板(2251)与第一驱动气缸(2252)的伸出杆末端连接,第一连接板(2251)上设置有若干推板(2253),左夹条(222)与推板(2253)之间设置有弹簧(2254)。5.如权利要求4所述的一种半导体芯片等离子清洗机的上下料装置,其特征在于,所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗杰和,
申请(专利权)人:广东协铖微电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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