保管装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供保管装置。保管装置具备：一对支承部，它们分别沿上下方向延伸，在第一方向分离排列；一对安装部，它们经由具有轴部的固定部件分别安装于一对支承部各自的朝向第一方向的面即侧面；以及载置部，其支承于一对安装部，供物品载置，一对安装部分别具有供轴部插通的孔部，孔部的面积以一对安装部能够沿一对支承部的侧面转动的程度，比轴部的与轴向正交的剖面积大。交的剖面积大。交的剖面积大。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】保管装置


[0001]本公开涉及保管装置。

技术介绍

[0002]以往，公知有一种保管架，将收容半导体基板的容器作为被保管物来保管。例如，专利文献1记载的保管架具备用于形成凹槽部的一对支柱和固定于支柱、载置被保管物的载置部。载置部具有支承被保管物的载置主体部和固定于支柱的一对安装板部。一对安装板部分别被插入支柱的凹槽部而被固定。即，在专利文献1记载的保管架中，载置部通过凹槽部相对于一对支柱定位。
[0003]专利文献1：日本特开2019－038647号公报
[0004]在上述专利文献1记载的保管架中，由于载置部相对于支柱牢固地定位，所以因在载置部载置物品(被保管物)所引起的安装板部的位移、或者支柱的凹槽部以及载置部的加工精度，载置主体部的平面度(平面形体从几何学上正确的平面歪斜的大小)有可能增大，担忧无法稳定地载置物品。另外，在利用专利文献1记载的保管架的情况下，由于需要精度良好地加工支柱的凹槽部以及载置部，所以制造时要求高技能。

技术实现思路

[0005]因此，本公开的目的在于提供能够容易调整载置物品的载置部的平面度的保管装置。
[0006]本公开的一个侧面的保管装置具备：一对支承部，它们分别沿上下方向延伸，在第一方向分离排列；一对安装部，它们经由具有轴部的固定部件分别安装于一对支承部的彼此的朝向第一方向的面即侧面；以及载置部，其支承于一对安装部，供物品载置，一对安装部分别具有供轴部插通的孔部，孔部的面积以一对安装部能够沿一对支承部的侧面转动的程度，比轴部的与轴向正交的剖面积大。
[0007]在该保管装置中，载置部通过一对安装部支承。一对安装部经由在孔部插通的固定部件安装于一对支承部。而且，由于孔部的面积比轴部的与轴向正交的剖面积大，所以一对安装部各自能够沿支承部的侧面转动。通过这样的一对安装部的转动，能够修正支承于一对安装部的载置部的平面度。因此，根据该保管装置，能够容易调整载置物品的载置部的平面度。
[0008]一对安装部彼此也可以具有抵接部，该抵接部与一对支承部的沿第一方向以及上下方向的面中的载置部相对于支承部定位的方向的面即前表面抵接。据此，一对安装部各自能够以抵接部为支点稳定地转动。因此，根据该保管装置，能够以更稳定的状态容易调整载置部的平面度。
[0009]也可以为，多个孔部设置于一对安装部彼此，多个孔部的分别沿一对安装部的转动方向的宽度形成为随着距离抵接部的距离变远而变大。据此，由于孔部中的沿一对安装部的转动方向的宽度随着距离抵接部变远而变大，所以即便在设置有多个孔部的情况下，
也能以抵接部为支点使一对安装部分别转动。另外，由于孔部中的沿一对安装部的转动方向的宽度随着距离抵接部变近而变小，所以难以产生孔部内的固定部件的位置偏移，能够在适当的位置稳定地安装一对安装部。
[0010]本公开的其他侧面的保管装置具备：一对支承部，它们分别沿上下方向延伸，在第一方向排列；一对安装部，它们分别安装于一对支承部；以及载置部，其支承于一对安装部，供物品载置，一对安装部分别具有：支承安装面，其安装于一对支承部；延伸面，其与支承安装面连接，沿载置部相对于一对支承部定位的方向延伸；以及载置安装面，其与延伸面的上端部连接，以从下支承载置部的底面的方式沿底面延伸，使载置安装面相对于延伸面的角度变化所需的力小于使载置部变形所需的力。
[0011]在该保管装置中，载置部通过一对安装部支承。一对安装部经由支承安装面安装于支承部。另外，载置安装面从延伸面的上端部沿载置部的底面延伸。而且，使载置安装面相对于延伸面的角度变化所需的力小于使载置部变形所需的力。因此，例如，在一对载置安装面彼此在载置部安装前相互不平行时(即，在一对载置安装面之间存在偏移时)等情况下，在载置部被安装由此载置部因该偏移变形之前，一对载置安装面会在减小该偏移的方向变化角度。由此，载置部的平面度被维持为较小。因此，根据该保管装置，能够容易调整载置物品的载置部的平面度。
[0012]载置安装面也可以从延伸面的上端部全长的一部分沿载置部的底面延伸。据此，通过将载置安装面仅设置于延伸面的上端部的一部分这一简易结构，使载置安装面相对于延伸面的角度变化所需的力能够小于使载置部变形所需的力。
[0013]一对安装部彼此也可以由比载置部薄的部件构成。据此，通过使一对安装部彼此的厚度比载置部薄这一简易结构，使载置安装面相对于延伸面的角度变化所需的力能够小于使载置部变形所需的力。
[0014]也可以为，物品是能够经由在底部设置的供给孔将气体供给至内部的容器，载置部具有经由供给孔将气体供给至容器内的气体供给部。据此，通过调整载置部的平面度来保持容器的供给孔和气体供给部的紧贴性，因此能够向容器内适当地供给气体。
[0015]【专利技术的效果】
[0016]根据本公开，能够提供能够容易调整载置物品的载置部的平面度的保管装置。
附图说明
[0017]图1是一实施方式的保管装置的立体图。
[0018]图2是一实施方式的保管装置的侧视图。
[0019]图3是图1所示的保管装置的安装部的立体图。
[0020]图4是放大图2所示的保管装置的一部分得到的侧视图。
具体实施方式
[0021]以下，参照附图详细说明本公开的实施方式。此外，对在各图中相同或者相当的部分标注相同的附图标记，并省略重复说明。在以下的说明中，为了便于说明，将三维空间的正交坐标系中的各轴方向称为X方向、Y方向以及Z方向。X方向以及Y方向(第一方向的一例)是沿水平面的方向，Z方向是上下方向(铅垂方向)。
[0022]如图1以及图2所示，一实施方式的保管装置1保管作为物品的一例的容器5。容器5例如是收容一个或多个半导体晶圆等的箱状的壳体(例如FOUP(Front Opening Unified Pod：前开式晶圆传送盒))。容器5将半导体晶圆保持在内部，保护半导体晶圆。在容器5的底部5a设置有连通容器5的内部和容器5的外部的供给孔5b。通过在底部5a形成的供给孔5b向容器5的内部供给吹扫气体(例如氮气)。
[0023]保管装置1具备分别沿Z方向延伸的一对支柱10(支承部的一例)、安装于一对支柱10的一对托架30(安装部的一例)、支承于一对托架30、供容器5载置的架板20(载置部的一例)、和将各托架30固定于各支柱10的多个螺栓40(固定部件的一例)。架板20相对于一对支柱10位于X方向的一侧。以下，将X方向的一侧(即，相对于一对支柱10配置架板20一侧)定义为前方，将X方向的另一侧定义为后方。另外，以下，在Y方向上，将一对支柱10的内侧简单地定义为内侧，将一对支柱10的外侧简单地定义为外侧。
[0024]一对支柱10例如设置为沿Y方向以规定间隔分离排列。各支柱10是从上面观察时呈L字状的部件。具体而言，各支柱10具有：前表面10a，其是朝向前侧的面(沿Y方向以及Z方向的面)；以及侧面10b，其是与前表面10a交叉的面(朝向外侧的面)。前表面10a是后述架板20相对于支柱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种保管装置，其特征在于，具备：一对支承部，它们分别沿上下方向延伸，在第一方向分离排列；一对安装部，它们经由具有轴部的固定部件分别安装于所述一对支承部各自的朝向所述第一方向的面即侧面；以及载置部，其支承于所述一对安装部，供物品载置，所述一对安装部分别具有供所述轴部插通的孔部，所述孔部的面积以所述一对安装部能够沿所述一对支承部的所述侧面转动的程度，比所述轴部的与轴向正交的剖面积大。2.根据权利要求1所述的保管装置，其特征在于，所述一对安装部具有抵接部，所述抵接部与所述一对支承部的沿所述第一方向以及所述上下方向的面中的、所述载置部相对于所述支承部定位的方向的面、即前表面抵接。3.根据权利要求2所述的保管装置，其特征在于，多个所述孔部设置于所述一对安装部彼此，所述多个所述孔部的分别沿所述一对安装部的转动方向的宽度形成为随着距离所述抵接部的距离变远而变大。4.一种保管装置，其特征在于，具备：一对支承部，它们分别沿上下方向延伸，在...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐兴会，大西真司，稻田研，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：