温控系统技术方案

本发明专利技术涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种温控系统，包括制冷装置、循环装置和废气处理设备，制冷装置包括压缩机、冷凝器的放热通路、第一蒸发器的吸热通路依次连通形成的第一制冷回路，以及压缩机、冷凝器的放热通路、第二蒸发器的吸热通路依次连通形成的第二制冷回路，循环装置包括第一蒸发器的放热通路、水箱、第一泵体和负载依次连通形成的循环液回路，废气处理设备包括喷淋组件和水池，水池、第二蒸发器的放热通路、第二泵体和喷淋组件依次连通。将制冷装置的多余的制冷量充分利用起来，用于废气处理设备的废气的降温，有效的将温控系统的多余的制冷量总和利用起来。温控系统的多余的制冷量总和利用起来。温控系统的多余的制冷量总和利用起来。

【技术实现步骤摘要】
温控系统


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种温控系统。

技术介绍

[0002]在集成电路制造过程中产生的废气，国内外通常采用废气处理设备对废气进行处理，采用燃烧水洗、电加热、等离子体分解等处理方式对废气进行无害化处理，废气经过燃烧、电加热、等离子体分解等方式处理后具有很高的能量，在传统的废气处理设备中，经过处理后的废气直接通过喷淋系统进行降温，然后排出，能量极大的浪费。由于废气处理设备的废气能量巨大，废气的热量可以相当于20kW的加热器产生的热量，传统的半导体专用温控设备采用的加热器通常小于5kW，废气的热量远大于传统温控设备中加热器产生的热量，
[0003]刻蚀工艺的温控设备的制冷量是按刻蚀工艺过程中的最大负载量进行设计的，在集成电路制造的刻蚀工艺制程中，刻蚀的负载是按工艺步骤进行加载，在这个过程中有大量的时间并不是按最大工艺负载进行加载，同时还有部分时间是处于空载转态，在空载及未满负载的条件下，温控设备的制冷系统中的制冷量并未100％利用起来，因而也是一种能量的浪费。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种温控系统，用以解决现有技术中半导体制造过程中，温控设备的制冷系统中的制冷量并未100％利用起来，造成能量极大的浪费的缺陷，实现制冷装置的多余的制冷量充分利用起来，用于废气处理设备的废气的降温，有效的将温控系统的多余的制冷量总和利用起来的效果。
[0005]本专利技术提供一种温控系统，包括制冷装置、循环装置和废气处理设备，所述制冷装置包括压缩机、冷凝器的放热通路、第一蒸发器的吸热通路依次连通形成的第一制冷回路，以及所述压缩机、所述冷凝器的放热通路、第二蒸发器的吸热通路依次连通形成的第二制冷回路，所述循环装置包括所述第一蒸发器的放热通路、水箱、第一泵体和负载依次连通形成的循环液回路，所述废气处理设备包括喷淋组件和水池，所述水池、所述第二蒸发器的放热通路、第二泵体和所述喷淋组件依次连通。
[0006]根据本专利技术提供的一种温控系统，所述废气处理设备包括燃烧腔和喷淋塔，所述喷淋组件设置于所述喷淋塔内所述燃烧腔的出气口通过所述水池与所述喷淋塔的进口连通。
[0007]根据本专利技术提供的一种温控系统，所述冷凝器的放热通路的出口与所述第二蒸发器的吸热通路的进口连通的管路上设有第一阀体。
[0008]根据本专利技术提供的一种温控系统，所述第二泵体与所述喷淋组件连通的管路上设有第二阀体。
[0009]根据本专利技术提供的一种温控系统，所述第二泵体与所述喷淋组件连通的管路上设有第一温度检测件，所述第二阀体与所述第一温度检测件沿液体流向依次设置。
[0010]根据本专利技术提供的一种温控系统，所述冷凝器的放热通路的出口与所述第一蒸发器的吸热通路的进口连通的管路上设有第三阀体。
[0011]根据本专利技术提供的一种温控系统，所述第一泵体与所述负载连通的管路上设有第二温度检测件。
[0012]根据本专利技术提供的一种温控系统，所述负载与所述第一蒸发器的放热通道连通的管路上设有第三温度检测件。
[0013]本专利技术提供的温控系统，实现了温控系统的功能及废气处理设备的功能的基础上，将废气处理设备的废气的热量用于温控设备中对循环液加热，将制冷装置中的多余制冷量用于废气处理设备中对废气的降温喷淋，进一步实现能源的综合利用。将制冷装置的多余的制冷量充分利用起来，用于废气处理设备的废气的降温，有效的将温控系统的多余的制冷量总和利用起来，避免了在温控系统中多余的制冷量在制冷装置中反复循环蒸发、压缩，未能有效的利用的问题。
[0014]除了上面所描述的本专利技术解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本专利技术的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1是本专利技术提供的温控系统的结构示意图之一；
[0017]图2是本专利技术提供的温控系统的结构示意图之二；
[0018]图3是本专利技术提供的温控系统的结构示意图之三；
[0019]图4是本专利技术提供的温控系统的结构示意图之四；
[0020]附图标记：
[0021]100、制冷装置；110、压缩机；120、冷凝器；130、第一蒸发器；140、第三阀体；150、第二蒸发器；160、第二泵体；170、第一阀体；180、第二阀体；190、第一温度检测件；
[0022]200、循环装置；210、水箱；220、第一泵体；230、负载；240、三通阀；250、第二温度检测件；260、第三温度检测件；
[0023]300、加热装置；310、管板换热器；320、废气处理设备；330、第四阀体；340、风机；350、翅片换热器；360、多通道板式换热器；321、燃烧腔；322、喷淋塔；323、水池；324、喷淋组件。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和实施例对本专利技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不能用来限制本专利技术的范围。
[0025]在本专利技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置
关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0026]在本专利技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术实施例中的具体含义。
[0027]在本专利技术实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0028]此外，在本专利技术实施例的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上，“若干本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种温控系统，其特征在于：包括制冷装置、循环装置和废气处理设备，所述制冷装置包括压缩机、冷凝器的放热通路、第一蒸发器的吸热通路依次连通形成的第一制冷回路，以及所述压缩机、所述冷凝器的放热通路、第二蒸发器的吸热通路依次连通形成的第二制冷回路，所述循环装置包括所述第一蒸发器的放热通路、水箱、第一泵体和负载依次连通形成的循环液回路，所述废气处理设备包括喷淋组件和水池，所述水池、所述第二蒸发器的放热通路、第二泵体和所述喷淋组件依次连通。2.根据权利要求1所述的温控系统，其特征在于：所述废气处理设备包括燃烧腔和喷淋塔，所述喷淋组件设置于所述喷淋塔内所述燃烧腔的出气口通过所述水池与所述喷淋塔的进口连通。3.根据权利要求1所述的温控系统，其特征在于：所述冷凝器的放热通路的...

【专利技术属性】
技术研发人员：何茂栋，芮守祯，曹小康，常鑫，李文博，冯涛，董春辉，宋朝阳，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：