一实施例的打线接合装置包括：夹紧装置，包括一对臂；平台，使所述夹紧装置沿水平方向移动；杆构件；接触检测部，检测所述杆构件与所述夹紧装置的接触；以及控制装置，控制所述一对臂的开闭、以及所述平台的运行，并且取得所述夹紧装置的位置信息。控制装置基于在将一对臂闭合的状态下第一臂的外侧面与杆构件接触时的夹紧装置的位置信息、以及在将一对臂打开的状态下第一臂的外侧面与杆构件接触时的夹紧装置的位置信息，来求出一对臂的打开量。来求出一对臂的打开量。来求出一对臂的打开量。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】打线接合装置、夹紧装置的打开量的测定方法及夹紧装置的校正方法
[0001]本公开涉及一种打线接合装置、夹紧装置的打开量的测定方法及夹紧装置的校正方法。
技术介绍
[0002]已知一种通过金属制的线来将形成于半导体芯片上的电极与形成于电路基板上的电极进行电连接的打线接合装置。例如，下述专利文献1中记载的打线接合装置包括供接合线插通的焊针、与所述焊针连动地移动的第一夹持器、在第一夹持器的上方握持线的第二夹持器、以及控制第一夹持器及第二夹持器的开闭的控制部。
[0003]所述装置在将第一夹持器闭合的状态且将第二夹持器打开的状态下接合线，然后使焊针及第一夹持器上升而切断线。而且，通过在将第一夹持器打开的状态且将第二夹持器闭合的状态下使焊针及第一夹持器上升，而使线自焊针中延伸出。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本专利特开2010
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161176号公报
技术实现思路
[0007]专利技术所要解决的问题
[0008]在如上所述的打线接合装置中，为了进行所需的打线接合，而期望对握持线的夹紧装置的打开量进行高精度的控制。然而，由于夹紧装置的打开量受到打线接合装置的使用环境的影响，故而在使用环境不同的多个打线接合装置上搭载的夹紧装置的打开量有时会产生机械差异。若夹紧装置的打开量存在机械差异，则线的环形状或者尾长度产生不均，成为打线接合装置的可靠性降低的原因。因此，期望以高精度来测定夹紧装置的打开量。
[0009]此外，若为自接合装置中拆除夹紧装置的状态，则能够使用激光位移计等来测定夹紧装置的打开量。然而，由于夹紧装置的打开量也受到打线接合装置的使用时的温度条件的影响，故而要求在组装于接合装置中的状态下测定夹紧装置的打开量。
[0010]解决问题的技术手段
[0011]一实施例的打线接合装置包括：夹紧装置，包括一对臂；平台，使夹紧装置沿水平方向移动；杆构件；接触检测部，检测杆构件与夹紧装置的接触；以及控制装置，控制一对臂的开闭、以及平台的运行，并取得夹紧装置的位置信息，且控制装置执行：第一控制，通过使夹紧装置移动，而在将一对臂闭合的状态下使一对臂中的第一臂的外侧面与杆构件接触，并取得与杆构件接触时的夹紧装置的位置信息；第二控制，通过使夹紧装置移动，而在将一对臂打开的状态下使第一臂的外侧面与杆构件接触，并取得与杆构件接触时的夹紧装置的位置信息；以及第三控制，基于在第一控制及第二控制中取得的夹紧装置的位置信息，来求出一对臂的打开量。
[0012]所述实施例的打线接合装置中，基于在将一对臂闭合的状态下第一臂的外侧面与杆构件接触时的位置信息、以及在将一对臂打开的状态下第一臂的外侧面与杆构件接触时的位置信息，来求出夹紧装置的打开量。因此，可在组装于打线接合装置中的状态下测定夹紧装置的打开量。
[0013]一实施方式中，控制装置还执行：第四控制，通过使夹紧装置移动，而在将一对臂闭合的状态下使一对臂中的第二臂的外侧面与杆构件接触，并取得与杆构件接触时的夹紧装置的位置信息；以及第五控制，通过使夹紧装置移动，而在将一对臂打开的状态下使第二臂的外侧面与杆构件接触，并取得与杆构件接触时的夹紧装置的位置信息，且在第三控制中，还使用在第四控制及第五控制中取得的夹紧装置的位置信息，来求出一对臂的打开量。
[0014]所述实施方式中，通过还使用在将一对臂闭合的状态下第二臂的外侧面与杆构件接触时的位置信息、以及在将一对臂打开的状态下第二臂的外侧面与杆构件接触时的位置信息来求出夹紧装置的打开量，可以更高的精度来测定夹紧装置的打开量。
[0015]一实施方式中，控制装置还可执行在第一控制之前进行的第六控制，所述第六控制通过使夹紧装置移动而使第一臂或第二臂的前端部与杆构件的前端部接触，并取得与杆构件接触时的夹紧装置的位置信息。
[0016]所述实施方式中，由于取得使第一臂或第二臂的前端部与杆构件的前端部接触时的夹紧装置的位置信息，故而可取得杆构件的前端部的位置信息。
[0017]一实施方式中，还可包括使杆构件沿上下方向移动的升降机构。
[0018]所述实施方式中，通过使杆沿上下方向移动，可防止在打线接合时夹紧装置与杆构件接触或者干扰的情况。
[0019]一实施例中，提供一种包括能够开闭的一对臂的夹紧装置的打开量的测定方法。所述测定方法包含：第一工序，通过使夹紧装置移动，而在将一对臂闭合的状态下使一对臂中的第一臂的外侧面与杆构件接触，并取得与杆构件接触时的夹紧装置的位置信息；第二工序，通过使夹紧装置移动，而在将一对臂打开的状态下使第一臂的外侧面与杆构件接触，并取得与杆构件接触时的夹紧装置的位置信息；以及第三工序，基于在第一工序及第二工序中取得的夹紧装置的位置信息，来求出一对臂的打开量。
[0020]如上所述，在所述实施例的夹紧装置的打开量的测定方法中，可在安装于打线接合装置中的状态下测定夹紧装置的打开量。
[0021]一实施方式的测定方法还包含：第四工序，通过使夹紧装置移动，而在将一对臂闭合的状态下使一对臂中的第二臂的外侧面与杆构件接触，并取得与杆构件接触时的夹紧装置的位置信息；以及第五工序，通过使夹紧装置移动，而在将一对臂打开的状态下使第二臂的外侧面与杆构件接触，并取得与杆构件接触时的夹紧装置的位置信息，且在第三工序中，也可还使用在第四工序及第五工序中取得的夹紧装置的位置信息，来求出一对臂的打开量。
[0022]在所述实施方式的测定方法中，可以更高的精度来测定夹紧装置的打开量。
[0023]一实施方式的测定方法还可包含在第一工序之前进行的第六工序，所述第六工序通过使夹紧装置移动而使第一臂或第二臂的前端部与杆构件的前端部接触，并取得与杆构件接触时的夹紧装置的位置信息。
[0024]所述实施方式的测定方法中，可取得杆构件的前端部的位置信息。
[0025]一实施例的夹紧装置的校正方法包含通过所述测定方法来求出夹紧装置的打开量的工序、以及基于夹紧装置的打开量来校正夹紧装置的工序。
[0026]所述校正方法中，可通过校正夹紧装置，来减小由控制信号所指定的夹紧装置的打开量与实际的夹紧装置的打开量的误差。
[0027]专利技术的效果
[0028]根据本专利技术的一实施例及各种实施方式，可在组装于接合装置的状态下测定夹紧装置的打开量。
附图说明
[0029]图1是表示一实施方式的打线接合装置的立体图。
[0030]图2是表示一实施方式的打线接合装置的侧面图。
[0031]图3是示意性地表示夹紧装置的平面图。
[0032]图4是表示一实施方式的夹紧装置的校正方法的流程图。
[0033]图5是表示一实施方式的夹紧装置的打开量的测定方法的流程图。
[0034]图6是示意性地表示夹紧装置的移动的平面图。
[0035]图7是示意性地表示夹紧装置的移动的平面图。
[0036]图8是示意性地表示夹紧装置的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种打线接合装置，其特征在于，包括：夹紧装置，包括一对臂；平台，使所述夹紧装置沿水平方向移动；杆构件；接触检测部，检测所述杆构件与所述夹紧装置的接触；以及控制装置，控制所述一对臂的开闭、以及所述平台的运行，并且取得所述夹紧装置的位置信息，且所述控制装置执行：第一控制，通过使所述夹紧装置移动，而在将所述一对臂闭合的状态下使所述一对臂中的第一臂的外侧面与所述杆构件接触，并取得与所述杆构件接触时的所述夹紧装置的位置信息；第二控制，通过使所述夹紧装置移动，而在将所述一对臂打开的状态下使所述第一臂的外侧面与所述杆构件接触，并取得与所述杆构件接触时的所述夹紧装置的位置信息；以及第三控制，基于在所述第一控制及所述第二控制中取得的所述夹紧装置的位置信息，来求出所述一对臂的打开量。2.根据权利要求1所述的打线接合装置，其特征在于，所述控制装置还执行：第四控制，通过使所述夹紧装置移动，而在将所述一对臂闭合的状态下使所述一对臂中的第二臂的外侧面与所述杆构件接触，并取得与所述杆构件接触时的所述夹紧装置的位置信息；以及第五控制，通过使所述夹紧装置移动，而在将所述一对臂打开的状态下使所述第二臂的外侧面与所述杆构件接触，并取得与所述杆构件接触时的所述夹紧装置的位置信息，且在所述第三控制中，还使用在所述第四控制及所述第五控制中取得的所述夹紧装置的位置信息，来求出所述一对臂的打开量。3.根据权利要求2所述的打线接合装置，其特征在于，所述控制装置还执行在所述第一控制之前进行的第六控制，所述第六控制通过使所述夹紧装置移动而使所述第一臂或所述第二臂的前端部与所述杆构件的前端部接触，并取得与所述杆构件接触时的所述夹紧装置的位置信息。4.根据权利要求1至3中任一项所述的打线接合装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：富山俊彦，
申请(专利权)人：株式会社新川，
类型：发明
国别省市：
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